Устройство для контроля полированных асферических поверхностей второго порядка

 

вс (п1 45870 5

ОПИС Е

Союз Советских

Социалистических

Рвслчблин

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 05.02.68 (21) 1215873/26-25 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 30.01.75. Бюллетень № 4

Дата опубликования описания 18.03.75 (51) М. Кл. G 01Ь 9, 02

Государственный комитет

Совета Министров СССР (53) УДК 535.411(088.8) оо долам изобретений и открмтнй (72) Авторы изобретения

Н. М. Александров, В. Е. Зубарев, А. В. Подобрянский и М. Н. Семибратов (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПОЛИРОВАННЫХ

АСФЕРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ВТОРОГО

ПОРЯДКА

Изобретение отнооится к области оптических устройств для контроля поверхностей второго порядка.

В известных устройствах точность контроля невыпуклых асферических поверхностей оценивается по величине диаметра пятна рассеивания. При этом невозможно судить о знаке и величине ошибки, что снижает точность контроля.

Предлагаемое устройство снабжено эталонной параболической и,вспомогательной плоской отражающими поверхностями, расположенными на оптической оси контролируемой поверхности так, что точки фокуса первой и послед ней совмещены, и дополнительными пентапризмами, расположенньвми по ходу пучка симметрично относительно той же оси.

Это позволяет повысить точность контроля поверхностей.

На чертеже изображена функциональная оптическая схема предлагаемого устройства.

Параллельный пучок лучей коллиматора 1, входя в две входные пентапризмы 2, проектируется на две расположенные симметрично оптической оои площадки кольцевой зоны радиуса Y вспомогательной поверхности 3, отражаясь от которой, направляется на контролируемую поверхность 4 и, вторично отразившись от двух симметричных площадок кольцевой зоны У, направляется на две выходные пентапризмы 5, из которых далее в отсчетную зрительную трубу 6.

Отступление профиля обрабатываемой по5 верхности от идеального, рассматриваемое как симметричный поворот двух зеркал в контроли руемых зонах У, вызывает отклонение отраженного луча от своего нормального направления на некоторый угол сс, величина и

10 направление которого зависят от величины и характера ошибки. Проходя через две входные гентапризмы 2, лучи коллиматора 1 дважды отражаются от площадок одной и той же кольцевой зоны обрабатываемой поверхности и отI5 клоняются на угол 2а, величина которого превышает в четыре раза величину угла поворота нормали в указанной зоне Y от ее положения для идеальной поверхности.

Зрительная труба 6 используется для отсче20 та значений 2а в различных зонах Y при перемещении пентапризм по направлению, перпендикулярному оптической оси вспомогательной и контролируемой поверхностей.

25 Предмет изобретения

Устройство для контроля полированных асферических,поверхностей второго порядка, содержащее колл иматор, перемещающуюся пен458705

Составитель А. Медведев

Техред T. Миронова

Корректор А. Дзесова

Редактор Е. Караулова

Заказ 571,10 Изд. № 1082 Тираж 782 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, %-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр, Сапунова, 2 тапризму, отличающееся тем, что, с целью повышения чувствительности, точности контроля вогнутых и выпуклых параболоидов, гиперболоидов, а также вогнутых эллипсоидов, оно снабжено эталонной параболической и вспомогательной плоской отражающими поверхностями, расположенными на оптической оси контролируемой поверхности так, что точки фокуса этих поверхностей совмещены, и дополнительными пентапр|измами, расположенными 110

5 ходу пучка симметрично относительно той же оси.