Резистивный нагреватель

 

Союз Советских

Социалистическии

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 05.07.71 (21) 1678462/24-7 с присоединением заявки ¹

Государствеииый коми гет

Приоритет

Совета Министров СССР по делам изобретений Опубликовано 30.04.75. Бюллетень № 16 (51) М. Кл. Н 05Ь 1/02

Н 05Ь 3/24

G 05 23/08 (о3) УДК 621.3.036:662. .9(088,8) и открытий

Дата опубликования описания 14.11.75 (72) Авторы изобретения

Ь. М. Ьулах, Г. С. Пекарь и Г. A. Купченко

Институт полупроводников AH Украинской ССР,:.:

f, (71) Заявитель (54) РЕЗИСТИВНЫЙ НАГРЕВАТЕЛЬ

Изобретение относится к электротермии и может использоваться в технологической аппаратуре, в частности для выращивания монокристаллов, наращивания эпитаксиальных слоев.

Известны резистивные нагреватели, выполненные в виде последовательно соединенных проводников из различных материалов, ооразующих термометры сопротивления, посредством которых осуществляется контроль за нагревом.

Однако область применения таких резистивных нагревателей ограничена (500 †7 С).

С целью использования нагревателя в качестве источника термоэлектродвижущей силы и расширения температурной области применения предлагаемые проводники выполнены из термопарных материалов, спай между которымн находится в зоне нагрева, а их концы выведены за пределы этой зоны.

1-1а чертеже приведена схема работы предлагаемого нагревателя.

Нагреватель 1 выполнен из сваренных в точке 2 термопарных проводников, подключаемых попеременно через переключатель 3 к регистрирующему тормо-э.д.с. прибору 4 и источнику напряжения 5. Переключатель может быть механическим, либо электронным, регистрирующий термо-э.д.с, прибор может быть выполнен, например, в виде электронного потенциометра постоянного тока. Частота переключений подбирается эксперименталь5 но (25 — 40 Гц).

В качестве проводников могут быть использованы любые материалы, образующие достаточно эффективную термопару (платина-платинародий, хромель — алюмель и другие).

1.0 Применение таких нагревателей в герметизированных технологических устройствах дает возможность ограничиться двумя герметизированными уплотнениями для электрических выводов из рабочего объема, что значительно

15 упрощает конструкцию технологической аппаратурыы.

Предмет изобретения

Резистивный нагреватель, содернсащий по20 следовательно соединенные проводники из различных материалов, отличающийся тем, что, с целью использования его в качестве источника термоэлектродвижущей силы и расширения температурной области применения, проводники выполнены из термопарных материалов, спай между которыми находится в зоне нагрева, а их концы выведены за пределы этой зоны.

469219

L) 1

1 1

Составитель Е. Чубаров

Техред Л. Казачкова

Редактор Е. Караулова

Корректор T. Гревцов".

Заказ 2819,!18 Изд. ¹ 1406 Тираж 869 Г1одписное ь11-1ИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, гК-35, Раушская наб., д. 4,5

Типография, пр. Сапунова, 2