Устройство для регулирования давления в вакумной камере

 

(t tt 484506

ОЛИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

CoN3 левитские

Свцыапистическыв

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 19.04.73 (21) 1923152, 18-24 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 15.09.75. Бюллетень № 34

Дата опубликования описания 23.12.75 (51) М. Кл. G 05d 16, 20

Государственный комитет

Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (53) УДК 621.646,4 (088.8) (72) Автор изобретения

Б. А. Александров (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГУЛИРОВАНИЯ

ДАВЛЕНИЯ В ВАКУУМНОЙ КАМЕРЕ

Изобретение относится к области автоматики, а более конкретно — к устройствам регулирования давления в вакуумных камерах.

Известны устройства для регулирования давления в вакуумных камерах, содержащие разрядную камеру с установленными в ней катодом и анодом, соединенными с источником напряжения, и регулирующий вентиль с исполнительным механизмом, соединенный с разрядной камерой и магистралью подвода газа.

Однако такие устройства не обеспечивают высокой точности регулирования давления.

Цель изобретения — повысить точность регулирования давления.

Это достигается тем, что предлагаемое устройство снабжено блоком сравнения, который соединен с источником опорного напряжения и исполнительным механизмом регулирующего вентиля, а в разрядной камере между анодом и катодом установлен плавающий электрод, соединенный с блоком сравнения, причем разрядная камера установлена между вакуумной камерой и регулирующим вентилем.

На фиг. 1 изображена принципиальная схема устройства.

Устройство содержит разрядную камеру 1, установленную между вакуумной камерой 2 и регулирующим вентилем 3. В разрядной камере имеются электроды: анод 4 и катод 5, соединенные с источником напряжения. Между анодом и катодом расположен плавающий электрод 6, соединенный с блоком сравнения 7.

Блок сравнения соединен с источником опорно5 го напряжения 8 и исполнительным механизмом 9 регулирующего вентиля. Для расширения диапазона регулирования давления в разрядной камере установлен вспомогательный электрод 10, соединенный с источником пере10 менного напряжения.

Устройство работает следующим образом.

В вакуумной камере 2 создают давление порядка 1.10 — - — 8 10 — мм рт. ст. В разрядной камере 1 давление автоматически устанавли15 вается близким к давлению в вакуумной камере. Между анодом 4 и катодом 5 прикладывают потенциал 4000 В, на вспомогательный электрод 10 подают 200 В переменного напря?кения. Ме?кду катодом и анодом за?кпгается

20 тлеющий разряд, в котором существуют пространственные области с различным падением потенциала. При изменении давления в вакуумной камере 2 изменяется давление в разрядной камере 1. При этом пространственные

25 области разряда изменяют свое расположение относительно плавающего электрода 6, потенциаl которого изменяется в зависимости от изменения давления в камере. Потешшал плавающего электрода подается на блок срав30 нения 7, куда от источника опорного напря484506.- б жения 8 подается потенциал, соответствующ.tA заданной величине давления в камере, полученный экспериментально. Разница потенциалов плавающего электрода и опорного напряжения поступает на исполнительный механизм 9 регулирующего вентиля.

На фиг. 2 приведена кривая изменения потенциала плавающего электрода в функции от изменения давления в вакуумной камере.

По оси абсцисс отложено давление в вакуумной камере в мм рт. ст., а по оси ордипат отло>кен потенциал плавающего электрода, в вольтах.

Предмет изобретения

Устройство для регулирования давления в вакуумной камере, содержащее разрядную камеру с катодом и анодом, соединенными с источником опорного напряжения, и регулирующий вентиль с исполнительным механизмом, соединенный с разрядной камерой и ь магистралью подвода газа, отличающеес я тем, что, с целью повышения точности регулирования, устройство снабжено блоком сравнения, который соединен с источником опорного напряжения и исполнительным ме 0 ханпзмом регулирующего вентиля, а в разрядной камере между анодом и катодом установлен плавающий электрод, соединенный с блоком сравнения, причем разрядная камера установлена между вакуумной камерой и ре15 гулирующим вентилем.

484506

+ эО

4.т0

1,0 5

Π— 50 00

- 150

- 200 о

- 250

- 00

0 — 350

g -М 0

- X0

-ыа

- Б00

-700

-800

300 с 2

Составитель Б. Александров

Техред Л. Казачкова

Корректор О. Тюрина

Редактор Б. Нанкина

Заказ 3398/6 Изд. № 1801 Тираж 869 Подписное

Ц1-1И1ЛПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2