Устройство для определения ориентации полупроводниковых элементов

 

О П И С А Н И Е п11 499694

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДНЕЛЬ ТШ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву 388377 (22) Заявлено 22.04.74 (21) 2017593/26-21 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 15.01.76. Бюллетень ¹ 2

Дата опубликования описания 10.06.76 (51) М Кл Н 05К 13/08

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621,374(088.8) (72) Авторы изобретения

В. С. Катин, Ю. С. Бараник, И. А. Стременов, В. Я. Яковлев и В. H. Катериночкин (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОРИЕНТАЦИИ

ПОЛ УП РОВОДН И КО В ЫХ ЭЛ ЕМ ЕНТО В

Изобретение относится к области технологии производства полупроводниковых изделий, а именно к системам автоматической ориентации кристаллов микросхем.

Известно устройство для определения ориентации полупроводниковых элементов по основному авт. св. № 388377.

Однако известное устройство определяет положение полупроводниковых элементов на плоскости и выдает лишь команды в устройство контроля. Но оно не производит требуемой ориентации с сохранением сориентированного положения полупроводникового элемента для проведения в дальнейшем последующих технологических операций, требующих определенной ориентации полупроводниковых элементов (например, измерение параметров полупроводниковых элементов, установка кристалла на подложке, припайка или приварка выводов и т.д,), Для проведения этих технологических операций требуется ориентированная укладка элементов в кассеты, на что уходит достаточно много времени.

Целью изобретения является сокращение времени укладки ориентированных полупроводниковых элементов.

Это достигается тем, что в предлагаемое устройство введены устройство управления исполнительным механизмом и четыре триггера, выходы которых соединены через дополнительно введенную сборку с устройством управления исполнительным механизмом, выходы датчиков которого подключены к первым входам упомянутых триггеров, при этом вто5 рые входы триггеров соединены с выходами элементов сравнения.

На чертеже представлена структурная электрическая схема предлагаемого устройства.

Устройство содержит формирователь команд

1, состоящий из последовательно соединенных генератора импульсов 2, счетчика 3 и дешифратора 4, контактный узел 5, элементы сравнения импульсов 6 — 9, триггеры 10 — 13, сборку — элементы «ИЛИ» 14, устройство управления 15 исполнительным механизмом 16, датч и к и положен и я 17 — 20.

Устройство работает следующим образом.

При подаче сигнала «Ориентация» на счетчик 3 последний запускается, и импульсы с

2о дешифратора 4 проходят через контактный узел и выбранный резистор ориентируемого прибора 21 на схемы сравнения. При совпадении сигналов на соответствующем элементе сравнения импульсов 6 — 9 с выхода его вы25 дается импульс, сигнализирующий о положении орпентируемого прибора.

Указанный импульс запускает один из триггеров 10 — 13, каждый из которых имеет два раздельных входа. При перебрасывании

30 любого из триггеров 10 — 13 срабатывает эле499694

Составитель Е. Ковалева

Тскред М. Семенов

Редактор И. Шубина

Корректоры: Л, Денискина н О. Тюрина

Заказ 1523/13 Изд. М 1047 Тираж 1029 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, K-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 мент «ИЛИ» 14, производя включение устройства управления 15, которое включает исполнительный механизм 16. На валу исполнительного механизма 16 установлен сигнальный элемент 22 — элемент датчика положения, который может быть как контактным, так и бесконтактным. В данном устройстве используется бесконтактный индуктивный датчик положения, срабатывающий при заходе магнитного элемента 22 в индуктивную катушку.

При этом с датчиков положения 17 — 20 выдается сигнал на соответствующий триггер

10 — 13 для сброса его в исходное положение, при котором при помощи элемента «ИЛИ» 14 и устройства управления исполнительным механизмом выключается исполнительный механизм 16 и происходит его остановка в необходимом положении, при котором ориентированный кристалл укладывается в кассету.

Таким образом, в предложенном устройстве полученная информация о положении проверяемого полупроводникового прибора преобразуется в информацию ориентированной укладки.

Формула изобретения

Устройство для определения ориентации полупроводниковых элементов по авт. св.

М 388377, отлича ющееся тем, что, с

10 целью сокращения времени укладки ориентированных полупроводниковых элементов, в него введены устройство управления исполнительным механизмом и четыре триггера, выходы которых соединены через дополни15 тельно введенную сборку с устройством управления исполнительным механизмом, выходы датчиков которого подключены к первым входам упомянутых триггеров, при этом вторые входы триггеров соединены с выходами

20 элементов сравнения.