Устройство для измерения коэффициента теплопроводности тонких пленок

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Соаетски»

Соцналнстнческнх

Республнк (1 1) 500 f91 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (51) М. Кл. (» 01К 25/18

2 (22) Заявлено03.01. 74 (21)1982781/26-25 о с присоединением заявки №

Гасударственный неюатет

Свавта Мнннстраа СССР

N делан N306p!TINI а еткрытнй (23) Приоритет (43) Опубликовано25.01.76 Бюллетень МЭ (Я) УД1<536(088,8) (45) Дата опубликования описания 12.О5.76

Ю. А. Бойков, Б. М . Гольцман и С. Ф. Синенко (72) Авторы изобретения (71) Заявитель Ордена Ленина фиэикотехническМ институт им. А. ф. Иоффе (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ КОЭФФИБИЕНТА

ТЕПЛОПРОВОДНОСТИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

Изобретение относится к. технике измерения теплофизических свойств тонких пленок, в частности, к измерений коэффициента их теплопроводности.

Известно устройство, состоящее из подложки в виде пленки из диэлектрического материала с нанесенным на нее проводяшила слоем в виде полоски, и электродов, распо ложенных на противоположных концах проводящего слоя. Для измерения тепловых свойств образца через проводящую полоску пропускают импульс электрического тока длительностью 100 мксек и по изменению ее сопротивления, соответствующему изменению температуры поверхности подложки, 15

cyllsT об искомых величинах.

Однако этому устройству свойственна низкая точность при измерениях образцов с малыми толщинами. Вызвано это тем, что о теплопроводности образца судят по зп времени прохождения тепловой волны через поперечное сечение исследуемой пленки, которое для пленок малой толщины (порядка одного микрона) равно 10-8+10-10сек .в зависимости от температуропроводности 25

2 образца. Регистрация и измерение подобньйс процессов представляют собой ж настоящее ,время большие трудности и не могут быть осуществлены с достаточной точностью.

Бель изобретения — повышение точностф измерения коэффициента теплопроводности пленок.

Достигается это тем, что проводящий ,слой выполнен в виде полоски, расположенной в средней части подложки между элект

Э тродами, снабженными теплоотводами, па--

1раллельно последним так, что между проводящим слоем и электродами имеются эат эоры, ширина крторых, как и ширина про- . водящего слоя не менее, чем на порядок меньше длины данного слоя, а контакт осуществлен через перемычки, ширина которыми не меньше ширины проводящего слоя.

Кроме того, в целях упрощения техно-: логии изготовления устройства, проводяшиЯ . слой, slIPKtpOllbl и перемычки выполнены одинаковой толщины, что допускает одно:временное нанесение их на подложку.

Выполнение проводящего слоя в виде ,узкой полоски, расположенной между элек5ОО49 7 (остави ген

TezpeaA.K ìûøHèõîâà Корректор Л.Ep BHQ

Редактор Е.Гончар

Иад. И

3à«3 4916

Тираж 864

Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 113035, Раушская наб., 4

Филиал ППП «Патент», r, Ужгород, ул. Проехтная, 4