Способ изготовления монолитных керамических конденсаторов

 

ОЛ ИСПАНКЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Goes Советских

Социалистических

011 5I9775

Республик

И АВТОР КОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 17.08.73 (21) 1962905/21 (51) М. Кл. Н 016 4/12 с присоединением заявки ¹

Государствеииь и комитет

Совета Министров СССР ло делам изобретений и отвр1итий (23) Приоритет

Опубликовано 30.06.76. Бюллетень № 24

Дата опубликования описания 04.08.76 (5" j УДК 621.396.6-18 i.48 (088.8) (72) Авторы изобретения Н. В. Kàëbìåíc, М. И. Нейман, К. И. Гавл",юшенко., М. Ф. Г1рихсдченко и Б. А. Ротепберг (71) Заявитель (54) С11ОСОВ ИЗ1 ОТОВЛ ЕН ИЯ

МОНОЛИТНЫХ КЕРАМИЧЕСКИХ КОНДЕНСАТОРОВ

Изобретение относится к технологии изготовления иногослойных монолитных керамических конденсаторов и может быть использовано на предприятиях конденсаторостроения.

Известен способ изготовления монолитных керамических конденсаторов, включающий металлизацию керамических пленок, вырубку металлизированных пленок, сборку их в пакет, прессование,пакета пленок, разрезание пакета на отдельные заготовки конденсаторов и их обжи.г.

Колебание расположения электродов прн сборке пакета из вырубленной заранее шаблонки доходит до 600 мкм, а при вырубке шаблонки из фиксируемого приспособления в матрицу штампа или на пуансон до 150 мкм, вследствие чего зазор около э:;åêòðî,äîâ составляет в первом случае 800 мкм, а во втором — 200 мкм.

Однако при известном способе у конденсаторов недостаточно высокая удельная емкость и высокая трудоемкость процесса.

С целью повышения удельных емкостей конденсаторов и снижения трудоемкости процесса по предлагаемому способу сборку пленок в пакет совмещают с их металлизацией путем поочередной укладки керамических пленок в ,приспособление для металлизации и их металлизации в нем, после чего осуществляют в этом же приспособлении подпрессовку полученного пакета металлизированных керамических пленок и затем вырубают этот пакет из приспосоолення для металлизации.

В магазин-кассету на несколько пакетов за5 готовок каждая на группу конденсаторов помещают кегамнческую пленку и прижимают пр c киной I1< 0cH0BBIIHIo 3IaI азина-кассеты.

1-1а пленку накладывают полученную фотолитографией маску, положение которой в ма10 газнне фиксируется штырями. Коваровая маска прижимается K CckIGванню магазина-кассеты при помощи постоянных макетов.

Магазин-кассету с пленкой помещают в вакуум-камеру и на нее через маску напыляют

15 слой палладня. Одновременно напыляют столько магазинов-кассет, околько нх помещается в камере (14 магазинов-кассет на 3 группы по 40 — 400 конденсаторов каждая, т. е. до 16800 конденсаторов одновременно).

20 После напыления электродов магазин-кассету извлекают из вакуум-камеры, маску снимают, на металлизированную пленку накладывают неметаллизированную, а на нее вторую маску со смещенными окнами н вновь произ25 годят напыление в вакууме.

При металлизации каждого слоя в результате разогрева пружин в процессе термического напыления металлизируемая пленка Ilo3, пружи<нами приваривается к нижележащим

ЗЭ слоям, чем предотвращается смещение слоев

519775

Составитель T. Богдалова

Техред Е, Подурушина

Корректор А. Дзесова

Редактор Е. Караулова

Заказ 1779/7 Изд. № 1520 Тираж 963 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 пленки в магазине-кассете и несовпадение электродов.

По завершении набора магазин-кассету прогревают при температуре 370+7 К. Подогретые .пакеты пленок подпрессовывают в открытом объеме магазина-кассеты давлением 20—

40 мн/м, вырубают из магазина-кассеты, помещают в закрытый объем пресс-форм и допрессовывают при давлении 150 мн/м .

Сборка конденсаторов в магазине-кассете для вакуумного напыления и фиксации положения пленок сначала приварками под пружинами, а затем подлрессовкой непосредственно в магазине-кассете полностью исключает возможность смещения электродов, что позволяет уменьшить приэлектродный зазор до

50 мкм и изготовлять конденсаторы с габаритами менее 1 мкм.

Экономическая эффективность спосо ба определяется сокращением расхода палладия более чем на 50 /о и существенным уменьшением трудоемкости операций напыления и сборки в результате массовости производства (одновременно напыляются и собираются до

16800 конденсаторов).

5 Формула изобретения

Способ изготовления монолитных керамических конденсаторов, включающий металлизацию керамических пленок, вырубку металлизированных пленок, сборку их в пакет, прес10 сование пакета пленок, разрезание пакета на отдельные за готовки конденсаторов и их обжиг, отл ич а ю щи и ся тем, что, с целью повышения удельных емкостей конденсаторов и снижения трудоемкости процесса, сборку пле15 нок в пакет совмещают с их металлизацией путем поочередной укладки керамических пленок в приспособление для металлизации и их металлизации в нем, после чего осуществляют в этом же приспособлении подпрессовку полу20 ченного пакета металлизированных керамических пленок и затем вырубают этот пакет из приспособления для металлизации.