Устройство для смены контрольных образцов

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДИИееЬСТВУ

Союз Советских

Социапистииеских

Республик (11) 522149 с„- 3 -ейн» ° б,;т » с »щл » (61) Дополнительное к авт, свнд-ву (22) Заявлено:30.12;74 (21) 2091533/33 (51) М. Кл.е

С 03 С 17/00

G 01 В 11/06

G 02 В 5/28 с присоединением заявки №

Гасударственный комитет

Совета Иинистроа СССР аа делам изобретений и открытий (23) Приоритет (43) Опубликовано 25,07.76Бюллетень № 27 (4S) Дата опубликования описания.13.08.76 (53) УДК 666.1:056:

: 539,234(088.8) (72) Автор изобретения

А, А, Яковлев (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СМЕНЫ КОНТРОЛЬНЫХ ОБРАЗЦОВ

ПРИ НАНЕСЕНИИ В ВАКУУМЕ МНОГОСЛОЙНЫХ ОПТИЧЕСКИХ

ПОКРЫТИЙ

Изобретение относится к оптическому приборостроению, в частности к системам и устроиствам, предназначенным для изготов-. ления миогослойных оптических интерференционных покрытий, получаемых .путем напы- 5 ления веществ в глубоком вакууме.

Известно устройство для смены контрольных образцов при нанесении многослойных оптических покрытий, содержащее кассету, в которую столбиком складываются контроль-lO ные образцы (1.1 и f2j.Подающий кривошипный механизм, управляемый снаружи, ;выдвигает в зону напыления нижний из пачки чистых контрольных образцов. Под действием собственного веса стопа образцов 5 оседает, и место вытолкнутого образца за. нимает следующий за ним. Когда второй об разец поступает в рабочую зону, он вытал кивает первую контрольную подложку в спе» циальный бункер, из которого использованные2О детали вынимают при открытой вакуумной камере,, Укаэанные конструкции устройств для смены контрольных образцов выполнены так, что образец во время напыления на

zего слоев неподвижен. Это приводит к появ-в5 лению неравномерности покрытия по толщине и иногда вызывает значительные ошибки контроля. Такой недостаток отсутствует в конструкциях, в которых обеспечивается вра1 ,шение контрольного образца вокруг оптичес::кой оси,фотометра.

Известно также устройство для смены контрольных образцов при нанесении в ваку- уме многослойных оптических покрытий, со держащее оправу с зубцами для закрепления ! стеклянной пластины, отдельные участки которой служат контрольными образцами, и

1ползун с подпружиненным толкателем, вхсь дяшим в зацепление с зубцами оправы (3), 1 Смена контрольных образцов производится поворотом оправы со стеклянной пластиной.

При етом в зону напыления поступает новый ,участок стеклянной пластины, служащий контрольным образцом, Поворот осуществляет подпружиненный толкатель, который, пере мешаясь по касательной к оправе, толкает оди,:

;из зубцов ее наружного канта, Все устрой ство крепится к столу с деталями, на ко торые наносят требуемые покрытия. Для обеспечения равномерности толщины слоев, >22149 вхoд!!ших в l!Окj(ыт1!е, сто)! В т!роцессе на)пл

1!е!! !!я ира!Пт! ется.

Однако в т.)ком устройстве поворот оп1а))ы производится толчками, которые при»

1 0111! т K т. е !1р Ос к а 11 ь зыв ад ию 110 )ш е1) ци и, б ! !! и roM величина инерционного поворота сток)!!!!!н!)й пластины изменяется в процессе f(((бОты что cHH)K»eT точность конт1)оля пр)! !!»!!ОCO)i!i!! !!ОКРЫТИй, Цель изобретения - повышение точности фиксации пластины в заданном положении, lO

Для этого устройство снабжено подпружипо!Ьчым рейфером и двумя упорами, закре1!1!о!!1!ыл!и н» ползуне и входящими в зацеп:!ение с зубцами опр»вы при повороте пос l(дней, причем зубцы выполнены симмет-

l5 ричной Относительно радиуса оправы формы, !!» фиг, 1 показано предлагаемое уст-! (Ойство, общий вид; на фиг. 2 — то же, вид в плане.

Устройство содержит стеклянную пластину!

1, отдельные участки которой служат кон-! !)О(!и!Ыл!и образцами. Пластина 1 расположена в оправе 2, у которой по наружному канту имеются зубцы 3, выполненные в виде упорного профиля с двух сторон. 11ластину в оправе удерживает пружинное кольцо 4, Оправа устанавливается в отверстие стола

5. Участок 6 пластины, который служит контрольным образцом и на который Оса)к» да(: тт я вещество, образующее контролируемую

II1IåI!ку, огра ичен диафр»гмой 7, предохра» няю1цей нерабочую часть пластины 1 от налета во!цества, На стопе 5 расположен,ползун 8 с пазом, в который входят штифты 9, К ползуну крепятся подпружиненные пружин(>й 10 толкатель 11 и грейфер 12. На ползун< закреплены также упоры 13 и 14, выполненные в виде штифтов. Во время напьь ленин т)о)!Оу)! удерживается! в рабочем полож< иии пружиной 15. еО

Y: . стройство работает следую!цим образом.

И вакуумной камере одновременно. на де-, тали 1(>, JM которые наносится изготавливаемое покрытие 17, и на контрольный образец 0 напыляк)т вещества, образующие коытрольиую пленку 18. В процессе напыления контролируют толщину пленки с помощью закрепленного на камере фотометра, оптичес к»я ось которого проходит через центр кон трольно! о Образца 6, О толщине пленки 18 судят по известной зависимости коэффициента пропускания контрольного образца 6 or оптической толшипы.

Для обеспечения равномерности толщин пленок, Образующих покрытие, стол 5 вместе с дет»1!ил)и 16 и контрольным образцом 6 враш(!) )Тся параллельно плоскости, в которой расположен испаритель напыляемых веществ, Ось вращения проходит через центр образ- 4© с

4 ца 6. Пос:!е того, как пленка 18 (или несколько пленок.) н»пылен», производит смену контрольных образцов, Для этого с помо)цью привода {на чертеже не т!Оказан), в, качестве которого можно использовать электромагнит или рыча)геную систему, производят поворот оправы 2 вместе со стеклянной пластиной 1, Для поворота оправы привод перемешает, ползун 8 по направлению стрелки А.

Г1ри этом грейфер 12 тянет оправу 2 эа юдин из зубцов до тех пор, пока вращение оправы не остановит упор 13, в который она упирается одним иэ расположенных слева зубцов. Прямой ход ползуна на этом заканчивается — оправа совершила половину, оборота, необходимого для смены контрольного образца.

Обратный;ход полэуна производится под действием пружины 15, Когда ползун движется в сторону:, противоподожную стрелке о

А, толкатель 11 давит в один из расположенных слева зубцов и оправа продолжает по»ворот до тех пор, пока один иэ правых зуб»цов.не упрется в упор 14, а грейфер 12 под действием пружины 10 зацепится за зубец (см, фиг, 2). Г1осле окончания поворота оправа оказывается строго зафиксированной грейфером 12 и упором 14. !

То, что поворот оправы осуществляется в два приема (при прямом и обратном ходеползуна) позволяет менять контрольный об( раэец при однократном воздействии привода перемещения полэуна, Оправа показанная на чертеже, рассчитана на работу с шестью контрольными образцами, Если необходимо вести контроль по образцу, на который уже наносились пленки, можно, считая число поворотов оправы 2, установитЬ пластину 1 в требуемом положении.

Наличие, наряду с толкателем подпружиненного грейфера и выполнение зубцов с упорным профилем с двух сторон, а также введение упоров позволяет поворачивать стеклянную пластину, отдельные участки которой служат контрольным образцом, на строго определенный угол и надежно фиксировать ее и заданном положении, 3. (; формула изобретения

Устройство для смень!. кбнтрольных образцов при нанесений в вакууме многослойных оптичэскйх покрытий, содержащее оправу с эу!)цами для закрепления стеклянной пластины, отдельные участки которой слу жат контрольными образцами, и ползун с подпружиненным толкателел», входящим в зацепление с зубцами оправы, о т л и ч а къ522149

Составитель Ю. Лямин

Редактор А. Морозова Техред М, Ликович Корректор Н, Бабур1а

Заиаа 66Ф/317, Тираж 575 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская набаа д. 4/5

4илиал ЛПП Патент, r. Ужгород, .ула Проектная, 4 щ е е с я тем, что, с целью повышении точности фиксации пластины в заданном положении, устройство снабжено подпружиненным грейфером и двумя упорами, закрепленными на ползуне и входящими в зацепление с зубцами оправы рри повороте последней, причем зубцы выполнены симметричной от носительно радиусе, оправы формы.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1, Патент Чехословакии ¹ 117078 М, Кл, 42 tl 34/06, опубл. 1965 r, 5 2, Патент Чехословакии №117113,,М, Кл, 42 В 12/06, опубл. 1965r, 3, Оптикомеханическая йромышленность

1961, ¹ 10, стр. 13 (прототип),