Эталон для градуировки толщиномеров покрытий

 

(, I) 5392-)4

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Со)сз Созетских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 13.06.75 (21) 2144762!28 с присоединением заявки _#_å (23) Приоритет

Опубликовано 15.12,76. Бюллетень М 46

Дата опубликования описания 13.12.7б (51) М. Кл.- 6 01В 7/06

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 531.715.2 (088.8) (72) АвтОр изобретения

Н. С. Акулов (71) Заявитель Отдел физики неразрушающего контроля АН Белорусской ССР (54) ЭТАЛОН ДЛЯ ГРАДУИРОВКИ

ТОЛЩИНОМЕРОВ ПОКРЫТИЙ

Изобретение относится к метрологии и измерительной технике и может быть использовано для градуировки и испытаний толщиномеров покрытий.

Известны образцы толщин покрытий, выполненные из плоскопараллельной пластины в виде круга с покрытием, равномерно нанесенным на поверхности последней.

Недостатком таких образцов толщип покрытий является то, что при градуировке толщиномеров необходимо большое количество их, так как каждый образец имеет строго определенную толщину, а из-за невозможности достичь заданной абсолютной толщины покрытия на пластине эти образцы трудоемки в изготовлении.

Известны и другие образцы толщин покрытий, где пластина имеет вид прямоугольника с нанесенным равномерным гальваническим покрытием прямоугольной формы. Такие образцы являются наиболее близкими к изобретению по технической сущности и достигаемому результату.

Однако эти образцы хотя и позволяют градуировать толщиномеры с достаточной степенью точности, также трудоемки в изготовлении вследствие невозможности достичь заданной абсолютной толщины покрытия на пластине. Кроме того, для градуировки толщиномеров требуется большое количество эталонов, а при пх изготовлении необходимо обеспечить плоскостность и параллельность трех поверхностей, а именно: верхней и нижней поверхностей пластины эталонов п верх5 ней поверхности покрытия, например, гальванического. Но при обеспечешш этих условий возникает ряд технологических трудностей, особенно, если площадь покрытия несколько квадратных сантиметров.

10 Цель изобретения — расширение диапазона градуировки толщиномеров покрытий.

Для этого основание предлагаемого эталона выполнено в виде бруска прямоугольного сечения, а на две противоположные грани ко15 торого нанесены с равными расстояниями один от другого участки покрытия в виде зубцов трапецеидальной формы различной высоты, на две другие грани нанесено покрытие в виде клина, а размер толщин покрытпйуве20 личивается от грани к граш1, с целью фиксации индикатора по центру зубцов, на ребрах участков между зубцами выполнены углубления.

На чертеже изображен предлагаемый эта25 лон, общий вид.

Он содержит брусок 1 прямоугольного ссчеш:я, четыре поверхности Л и Б, В и Г которого являются ба3ами эталоllныx llокрып(и

2 и 3, 4 и 5. II3 поверхностях А II Б брчск(1, 30 участки эталонllого покрьlт11я 11. pQ, Д lотс11 с и

d! 7

4 /

70

/ //

ЦНИИПИ Заказ 2756,6

Изд № 1848 Т!!ра>к 864

11о LIIIICHI>I.

Т!!!!ографи>!, Ifð. С,аllóII<)IIа, 2 участками поверхности 6 11 7, ilc имею!цим!! покрытия. Величш!а эталонных покрытий JI J поверхности Л меняется, например, or 10 до

50 мкм, т. е. величина каждого последующего покрытия возрастает иа 10 мкм, а па поверхиости Б величипа покрытия меняется ст 00 То

IG0 мкм. На поверхностях В и Г бруска панссеиы эталонные покрытия 4 и 5 соотвстствснI1o h;IttIJoBIIQIIoJt формы, т. с. покрытис, Всрхияя поверхность которого наклонена !!од oilредслеииым углом к поверхности бруска, например, иа поверхиости В всличш1а покрытия лииейио изменяется от 100 до 300 мкм, а иа поверхности Г эталонное покрытие лишейио возрастает от 300 до 800 мкм. При этом иа поверхностях В и Г также имеются участки 8 и 9, которые ис имеют покрытия и являются базовыми для опредслеиия величины покрытия.

Эталон представляет совокупность метрологических пар, состоящих 113 исболыиого участка покрыгия 2 или 3, граничащего по крайией мере с двумя участками б или 7, свободными от покрытия и локациониого приспособления, позволяющего ставить конец индикатора в центр участка покрытия. Это приспособление имеет углубление или пропил 10 на границе двух метрологических пар в форме клипа, иаправлсииого острием к поверхпости покрытия. При этом индикатор снабжается пластиной в форме «ласточк1и!а хвс!ста», который при установке иа эталон входит в пропил. Таким образом, достигается фиксация положения ипдикатора,в двух горизонтальных паправлсииях и по вертикали.

Преимуществом даш!ого эталона является то, что при наличии небольшой площади покрытия зиачитсльпо уменьшаются трсбо!заиия к плоскостиости и плоскопараллельности, достаточно обеспечить отсутствие сравнительно мелких бугров и впадип. На верхисй и ии>кисй плоскостях эталона (Л и Б), которые имеют наименьшую ширину, а потому и меньшее отклонение от плоскостиости, иаиосятся так>ке покрытия, например 0- -50 мкм,, образуюtrtJtc метрологические пары (т. е. сосед! ис покрытия и непокрытые участки) с cooTJioпением их длины L It ширины S, близкими по их порядку к един!ще и в то же время столь

5 л1а Ibiivrtt, ITQ QHI пр Iближа1отся тическому значению, меныне которых примс11ять нельзя (по особеииостям кotrcTpylitIJI;t толщииомера). В отличие от этого плоскости

В ii Г содержат покрытия зиач;ггельио боль16 ttieJI толщины (например, от 200 до 800 мкм), вследствие чего отклоиеиия от илоскостt îñòil, возникающие из-за неизбежных дефсктов технологии изготовлеш1я пластины, создают ошибки градуировки значительно меньшие в

15 процентном отношении, чем в случае топки., покрытий. Однако иа плоскостях Л и 15 отклоиеиие от плоскостности о!иоситсльш! меиьшс из-за снижения ишрииы этих пластин по сравнению с поверхностями В и Г.

20 Результаты метрологических IJ311cpcIIJJ ti толщины иокрьггий наносятся иа плоск!!стях эталона (участки 11, 12) .

Применение эталона позволяст зиачитсльио сократить число образцов покрытий, входя25 !цих в комплект к толщииомсру, а также удешевить себестоимость образцов покрытия.

Формула изобретения

1. Эталои для градуировки тол1цииомсров зп ItoKpbITIIH, содсржаlи1ий мс 1 а1л. !ичсс! :ос осиоваиие с иаиессииым иа него покрытисл1, о т— л и ч а ю III и и с я тем, что, с целью расширения диапазона градуировки, основание выполнено в виде бруска прямоугольного сече35 ния, иа две противоположиыс грани которого иаиесеиы с равными расстояниями один от другого участки покрытия в виде зубцов траиецсидальиой формы различной высоты, иа

;Inc другие грани нанесено покрытие в виде

46 кл1ша, а размер толщип покрытий увеличивается от грани к грани.

2. Эталон по п. 1, отличающийся тем, что, с целью фиксации ш!дикатора по центру зл/бцов, на ребрах участков между зубпами

45 шяполиены углуб Ictrtrii.

Эталон для градуировки толщиномеров покрытий Эталон для градуировки толщиномеров покрытий 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и может найти широкое применение в системах неразрушающего контроля и измерений толщины пленочных покрытий

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля толщины металлических покрытий в процессе их образования, например, на металлических деталях, в частности, при нанесении покрытий из паровой фазы пиролитическим способом

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений в поверхностном слое изделий из металлов и сплавов с различными электромагнитными свойствами

Изобретение относится к неразрушающим методам контроля качества и геометрических размеров изделий и может быть использовано для измерения толщины проводящих покрытий
Изобретение относится к электронной технике и электротехнике и может быть использовано, в частности, в качестве датчиков магнитного поля или тензодатчиков

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины различных покрытий на цилиндрических металлических основах

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно к методам и техническим средствам для контроля толщины твердых и полутвердых защитных покрытий, изоляционных слоев, жировых отложений, смазочных и лакокрасочных пленок на электропроводящей, в частности, металлической основе
Наверх