Кассета для полупроводниковых кристаллов

 

«»546045

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Свита Советских

Соыиалистических

Республик (б1) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 17.11,75 (21) 2189628/25 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (43) Опубликовано 05.02.77. Бюллетень № 5 (45) Дата опубликования описания 23.03.77 (51) М.Кл. Н 01 L 21/68

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.382 (088.8) (72) Авторы .изобретения Ю. П. Огер, В. А. Зенькович, Г. М. Иванушко и В. А. Зайцев (71) Заявитель (54) КАССЕТА ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ

КРИСТАЛЛОВ

Изобретение относится:к производству полупроводниковых приборов, а именно к сборочным процессам, и может найти применение в качестве скзозных,межоперационных накопителей, в епропзводстве интегральных схем.

Известна кассета, содержащая рамку гнездами для размещения кристаллов, которая свободно установлена на рабочей плоскости основания и поджимается к одной сторопе плоскими, пружинами (1).

Эта кассета обеспечивает укладку, выборку, визуальный осмотр, но не обеспечивает очистку тср исталлов.

Наиболее близким техническим решением является кассета для полупроводниковых кристаллов, содержащая крышку в виде рамки с натянутыми проволоками и осиование с ячейками, несущими сквозные отверстия, образованные также перекрестно нагянутыми .проволоками (2).

Данная кассета обеспеч|ивает очистку кристаллов, но ненадежна в работе, так как затрудняет операции ориентированной укладки, выборки и визуального осмотра ееристаллов. Это объясняется тем, что при смыкании основной и накладной рамок и в л роцессе укладки и .выборки кристаллов происходит;изменение,координат расположения ячеек относительно установочных баз вследствие трения между:проволоками; стенки ячеек для кристаллов имеют разную высоту; возможна вибрация проволочек, приводящая к нарушению ориентации ранее уложенных иристаллов; отсутствуют базы, обеапечиваюющие устойчивое положение кристаллов при снятой крышке, Таким образом, известные кассеты удовлетворяют условиям выполнения отдельных операций с кристаллами и не могут быть использованы в качестве межоперационных с квозных накопителей.

Цель изобретения —:,расширение технологических возможностей кассеты.

lб Эта цель достигается тем, что в дне ячеек основания выполнены крестооскр азно расположенные выступы в виде клиньев, причем полости, образованные выступами, переходят в сквозное отверстие в центре ячейки.

Благодаря этому кристалл базируется по жестким выступам, находясь в ячейке-углублении, и имеет минимальный контакт с поверхностью кассеты, в результате чего обвспеч изается доступ для очистки по всей поверхности кристалла.

На фиг. 1 и 2 изображена предлагаемая кассе та в двух п роекциях; на фиг. 3 — узел

1 на фиг. 1; на фиг. 4 — разрез по А — А на ф„,546045

Кассета содержит основание 1, на раоочей поверхности которого, имеются ячейк иуглубления 2 для кристаллов, и крышку 8, представляющую собой,рамочку 4 с натянутым и проволоками б. Дно ячеек углублений имеет,крестообразно рас положенные угловые выступы б, !KQTo!pble образуют лолости 7, переходящие в сквозное .отверстие 8 в центре ячейки 2.

Кассета работает следующим образом.

При подаче кассеты для укладки кристал, лов снимается крышка 8 и кристаллы укладываются в ячейки-углубления 2 на четыре высту(па б, обеспечивающие устойчивое положен не кристаллов. При этом не лроисходит нарушения ориентации ранее уложенных кристаллов, так как погрешность кристалла в ячейке 2 оп ределяется только гарантированным зазором между ним и поверхностью ячейки. г 20

После запол нения ячеек 2 кассеты основание 1 закрывается крышкой 8 проволоки б которой, прилегая к поверхности основания, удерживают .кристаллы от выладан|ия, и кассета передается на операцию очистки.

Кассета !помещается:в промывочную жидкость,:,и при ее колебании жидкость проходит через центральное отверстие 8 полости

7, смывает кристалл и выходит в свободные пространства между про!волоками б или со- ЗО вершает обратное движение.

Затем кассета передается на операцию визуального контроля, снимается крьци <а 8, После этого кассета передается на операцию,выборками и монтажа кристаллов, при этом, перед выбор кой,кристаллы сох|раняют свое положение, определяемое только размерами ячеек. После око нчания:выборки кассету возвращают на операцию укладки. Цикл повторяется, Формула изобретения

Кассета для,полупроводниковых кристаллов, содержащая крышку в виде .рамки с натянутыми лpoiBQJIоками и основ ание с ячейками, несущими сквозные отверстия, о тл ич а ю щ а я с я тем, что, с целью расширения ее технолотических возможностей, в дпе ячеек основания вылолнены крестообразно расположенные выступы в виде клиньев, причем полости, образованные выступами, переходят в сивозные отверстия в центре ячейки.

Источники информации, принятые во внимание .при экспертизе .изобретения: свидетельство СССР

01 1 7/68, 1969. свидетельство СССР

Н 01 1 7,68, 1972 — про1. Автo!pcKoe № 1314254, кл. Н 2. AIIropicxoe № 1802878/25, кл. тот и и. производится осмотр;кристаллов, выоорка негодных и дозаполнение ячеек 2 очищенными годными кристаллами.

546045

А-Д

Составитель Ю. Цветков

Техред Н. Сметанина

Редактор С. Титова

Корректор В. Гутман

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент»

Заказ 73/149 Изд. № 415 Тираж 1019 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5