Стекло
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 24.07.75 (21) 2159959/33 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 05,03.77. Бюллетень № 9 (45) Дата опубликования описания 25.05.77
Союз Советских
Социалистических
Республик (1 Ц 5494 35 (51) М. Кла
С 03 С 3/IO
Государственный комитет
Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК
666.112.4 (088.8) (72) Авторы изобРетения Б.В. Тарасов, Э.Н. Каплина, Г, И. Артамонова и B.H. Нырчеов (71) Заявитель Государственный научно-исследовательский институт стекла (54) СТЕКЛО
Изобретение относится к составам легкоплавких стекол, которые могут быть использованы в качестве изолирующих покрытий в полупроводниковой и радиоэлектронной промышленности.
Известен состав стекла применяемый в полупроводниковой промышленности, включающий
РвО, SiO> ВгОз, А1гОз, ZnO, MgO (11.
Указанное стекло имеет сравнительно высокую температуру плавления (640 С) и коэффициент термического расширения не более 60.10 7 1/ С, lp вследствие чего невозможно его нанесение на керамическую подложку с намыленным алюминиевым рисунком. Оно также нестойко к растворам кислот при нормальной температуре.
Наиболее близким к изобретению по техничес- 15 кой сущности и достигаемому результату является стекло, включающее РвО, S10г, В Оз, А)г p„
Rz0(2).
Недостатком указанного стекла является сравнительно высокий коэффициент термического рас- го ширения (90 — 100) ° 10 1/ C;
Целью изобретения является создание стекла со следующими свойствами: — температурой плавления не более 600оС; хб — коэффициентом термического расширения порядка (70 — 80).10 1/ C, — диэлектрической проницаемостью 8 — 10.
Эта цель достигается тем, что, в стекло,включающее РвО, SiOz, Вг Оз, А1гОз, йагО, КгО,допол. нительно введены ZnO, CuO при следующем соотношении указанных компонентов (в вес. %):
SiOг 27 — 31
Вг Оз 5 — 10
А г Оз 2 — 7
1Чаг О 1 — 5
КгО 1 — 5
Zn0 1 — 6
Си О 1 — 5
PbO Остальное.
Стекло указанного состава обеспечивает изолирующее покрытие толщиной 5 — 40 мм с пределом прочности стекла с подложкой 100кг/см .
Стеклянное покрытие химически устойчиво к травителю алюминия — смеси СНз СООН, HNOq Нз Р04 кислот.
В качестве сырьевых материалов для варки стекла используются: окись свинца, борная кислота, фтористый алюминий, азотнокислый натрий, 549435 марки "4" или "х4". Конкретные составы стекол приведены в таблице.
Состав стекла, вес. %
Компоненты
57
48
59
31
27
29
$iог
8,5
Вг Оз
Д г - з
ZnO
1,5
Nag 0
1,5
КгО i,5
Си О понижения коэффициента термического расширения, оно дополнительно содержит ZnO и СиО при следующем соотношении ингредиентов (в вес. %):
Источники информации, прчнятые во внимание при экспертизе:
1, Автор жое свидетельство У 231762, кл С 03 С 3/10, 1967.
2, Авторское свидетельство по заявке
N 2138037, кл. С 03 С 3/10, 1975 /прототип) .
Составитель Г. Буровцева
Техред М. Левицкая
Корректор И. Гоксич
Редактор И. Квачадзе
Заказ 352/118
Тираж 592 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж вЂ” 35, Рмушская наб., д, 4/5
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 азотнокислый калий, гель кремневой кислоты, окись цинка, окись меди. Сырьевые материалы
Указанные стекла имеют следуюп1ие характерисТемпература варки, С 1000 — 1100
Температура плавления, С 580--600 30
KTP (20 — 300) (70 — 80) ° 10 7 1/град
Химстойкость (кипячение 5мм в смеси кислот), мг/дмг 0,2 диэлектрическая проницаемость 8 — 10 3S
Указанные стекла относятся к типу изолирующих и могут применяться в радио - и электронной промышленности, Формула изобретенчя
Стекло, включающее РвО, $10г, ВгОз, AI 03, 1чагО, КгО, отличающее ся тем, что, с целью
$iOz
Вг Оз
А40з аг О
Кго
ZnO
СиО
РЬО
27-32
7 — 10
2 — 7
1 — 5
1 — 5
1 — 6
1 — 5
Остальное.
