Вакуумметр

 

Союз Советских

Социалистинеских

Республик

О П И С А Н И Е <п>55зют

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. санд-ву— (22) Заявлено 22.12.75 (21) 2303487/10 с присоединением заявки № (23) Приоритет— (43) Опубликовано 05.04.77. Бюллетень №13

Ф (45) Дата опубликования описания 28.06.77 (51) М, Кл.>

6 01 1 21/24

Государственный номитет

Соввта Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК

531.788 (088.8) П. Е. Молотов, А. П. Елисеев и В. Г, Сенькевич

\ (72) Авторы изобретения

Куйбышевский ордена Трудового Красного Знамени авиационный институт им. С. П. Королева (71) Заявитель (54) ВАКУУММЕТР

E„N /н„

Р=к о

Изобретение относится к вакуумной технике, предназначено для точного измерения давления в интервале от 10 до 10 мм рт. ст. и может быть использовано для тарир31)ки вакуумметров других типов в качестве образцового.

Известны вакуумметры с вращающимися элементами, в которых используется зависимость коэффициента вязкости разреженного газа от давления (1(.

Использование вакуумметров такого типа ограничено наличием трения в подвесе, так как при уменьшении давления момент трения вращающегося тела о газ уменьшается и становится соизмеримым с моментом трения в подвесе.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является poTOp«l>IH вакуумметр с магнитным поднесом (2(, котс рыи имеет ротор сферической формы, под«еще«я Й «магнитном поле соленоида внутри вакуумной камеры и разогнанный до опречеленной скорости вращения, По уменыпению скорости свободного «р;пчения определяе1ся давление н вакуумной ка и ре где Мо, об/сек — скорое.ь вращения в момент времени to й, об/сек — скорость вращения в момент времени t;

К вЂ” коэффициент.зависящий от инерцион1 ных свойств ротора, а также от температуры н молекулярного веса газа.

Взаимодействие индуктивных токов, возникающих при движении ротора в магнитном поле подве10 са, с этим полем приводит к возникновению тормозящего момента, что ограничивает нижний предел измеряемого вакуумметром давления величиной

--)о порядка 10 мм рт.ст. и п)иводнт к значительным погрешностям измерения при механических ко15 лебаниях вакуумметра, вызванных различного рода вибрациями.

Целью изобретения является повышение точности и расширение диапазона измерения в сторону низких да«лент«).

20 Указанная цель достигается тем, по н роторном вакуумметрс, имеющем сферический ротор. инлуктор электромагнитной раскрутки fl ус ройсе«о измерения угло«ой скорости «ращения )lo fop3, на внутреннюю сферическую пчнерхпость корпуса, вы25 полненного из прозра пнп 1 лили.ктрпчеек и и мате553507

Формула изобретения

Составитель О. Палев

Редактор Н. Вирко ТехРед C. 1 еда Корректор и. Гокснл

Тираж 1101 Подписное

11НИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Рау1нская наб., д. 4/5

Заказ 1)0/38

Финна ill ill "Патент", г. Ужиород, ул. Проектная, 4 риала, нанесены токопроводящие электроды, снабженные герметичными токоподводами, подключенными к источнику постоянного напряжения, На чертеже изображен роторный вакууметр на электростатическом подвесе, общий вид. б

Вакуумметр имеет сферический ротор 1, заключенный в стеклянный корпус 2 с металлическим фланцем 3, силовой 4 и боковые 5 электроды подвеса, герметичные токоподводы 6 и электромагнитный индуктор 7.

При работе вакуумметра сферический ротор 1 подвешивается силами электростатического поля, наведенного подачей управляемого высокого потенциала через токоподводы 6, на электроды 4 и 5, нанесенные на внутреннюю поверхность стеклянного @ корпуса 2, Силовой электрод 4 компенсирует вес сферического ротора 1, а четыре боковых электрода 5 обеспечивают боковую устойчивость ротора 1.

Раскрутка ротора 1 производится вращающимся электромагнитным полем индуктора 7. Измерение скорости вращения ротора 1 производится оптическим устройством через прозрачный корпус 2.

В силу того, что электростатические силы нор. мальны к поверхности и не имеют касательных составляющих, трение электростатического пОдвеса на два порядка и более меньше, чем магнитного подвеса. Это значительно повышает точность измерений, расширяет предел измерения давления до

) p - а мм рт.ст.

Вакуумметр, содержащий корпус, в котором свободно подвешен сферический ротор, индуктор электромагнитной раскрутки ротора и устройство измерения скорости вращения ротора, о т ли ч аю шийся тем, что, с целью повышения точности и расширения диапазона измерения в сторону низких давлений, s нем на внутреннюю сферическую поверхность корпуса, вь1полненного из прозрачного диэлектрического материала, нанесены токопрово å электроды, снабженные герметичными токоподводами, подключенными к источнику постоянного напряжения.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. С.Дэшман "Научные основы вакуумной техники", М. 1964, изц. "1чир", стр, 219 — 231.

2. Журнал "Приборы для научных исследований", т, 33, У 2,1962, стр. 3-7 (прототип) .