Способ изготовления биморфного элемента

Авторы патента:

H03H3/02 - для изготовления пьезоэлектрических и электрострикционных резонаторов или цепей (схем) (H03H 3/08 имеет преимущество)

CoIo3 Соеетских

Сецмаяистичесмих

Республик (ii 641630 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) ЗВЯВлено 05.08,77 (Я) 2410458/18--2 1 с присоединением заявки ¹ (23) ПриоритетвЂ”

2 (51) М. Кл. н оз н залог

Опубликовано05,01.79Х)юллетень Ь2 1

Дата опубликования описания 06„01.79 (53) УДК 621.372.

412 621 791 .з (088.8) (7?) Авторы изобретения

В. Н. Христсфоров и В. Н. Банков (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ Б )МОРФКОГО ЗЛЕNЕHTA

Изобретение относится к технологии микроэлектронных и пьезоэлектрических устройств, предназначено для использования при изготовлении биморфных колеблющихся элементов.

Известен способ изготовления. биморфного элемента, включающий полировку, металлизацию, склеивание, сдавливание и натрев кристаллических пластин (1I.

Недостатками этого способа являются большие разбросы электрических параметров биморфных элементов н резкое снижение добротности после склейки, что объясняется дестабилизирующим и демпфирующим влиянием клеевой массы между двумя колеблющимися кристаллическими пластинам: . Указанные недостатки в известной степени устраняются при переходе от склейки к спаиванию.

Известен способ изготовления бнморфного элемента, включающий металлизацию неполнрованных кристаллических пластин, облуживание одной из их поверхностей мягким прн поем, наложение кристаллических пластин друг на друга облуженными поверх2 постями, сдавлпвание нх с помощью груза

H нагРеВ (2J.

Однако этот способ <е позволяет достичь высокой механн-lecKAA прочности в расчете на эксплуатацию биморфных элементов в современной специальной аппаратуре; биморфные элементы, изгоговленные таким способом, облака к т неудовлетворительными электрическими параметрами вЂ” большим

ТКЧ, низ.ой добротностью. Разбросы значений электрических f.а раметроВ В одной flap

16 тин бимсрфных элементов значительны. Кроме того, экстремум температурно-частотной характеристики в таких биморфных элементах не удается установить выше + l0 С.

Цель изобретения вЂ” улучшение электрических параметров бнморфного элемента.

Поставленная цель достигается тем, что при изготовлении биморфного элемента способом, Включаюгцнм металлнзацию кристаллических пластин, аблуживание одной из поверхностей каждой пластины мягким припоем, соединение пластин облуженными поверхностями, сдавливание их с помощью груза и нагрев, перед облужнванием металлизированные поверхности пластин полиру

Похожие патенты:

Пьезоэлектрический резонатор // 640419

Способ настройки акустический связанных резонаторов монолитных фильтров и устройство для его осуществления // 635595

Способ усиления поверхностных акустических волн // 627557

Способ изготовления кварцевых резонаторов // 587601

Устройство для поляризации пьзокерамических элементов // 577641

Пьезоэлектрический резонатор крутильных колебаний // 569003

Пьезоэлектрический резонатор // 527813

Пьезоэлектрический резонатор // 523511

Кварцевый резонатор // 513471

Пьезоэлектрический резонатор // 510775

Способ изготовления кварцевых кристаллических элементов ат- среза // 2117382

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для изготовления тонких кристаллических элементов (КЭ) высокочастотных пьезоэлектрических приборов, например, кварцевых резонаторов и монолитных фильтров

Способ изготовления кристаллических элементов // 2150172

Изобретение относится к пьезотехнике и может быть использовано на предварительных этапах обработки кварцевых пластин при изготовлении высокочастотных кварцевых резонаторов и монолитных фильтров

Способ изготовления пьезоэлектрических резонаторов и фильтров // 2154894

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в производстве монолитных пьезоэлектрических фильтров и резонаторов

Способ изготовления кристаллических элементов с линзообразными профилями и устройство для его осуществления // 2169985

Изобретение относится к пьезотехнике и может быть использовано для изготовления кристаллических элементов с выпуклым профилем, близким к линзообразному, для резонаторов и монолитных фильтров

Способ изготовления кварцевых резонаторов бт-среза // 2169986

Изобретение относится к пьезоэлектронике и может быть использовано для изготовления высокочастотных резонаторов и монолитных фильтров

Способ изготовления высокочастотного кварцевого резонатора с улучшенной линейностью // 2174736

Изобретение относится к области пьезотехники и может быть использовано при изготовлении высокочастотных кварцевых резонаторов и монолитных кварцевых фильтров

Способ изготовления микрорезонаторов крутильных колебаний // 2193274

Изобретение относится к электротехнике, к технологии изготовления пьезоэлектрических резонаторов и может быть использовано при изготовлении микрорезонаторов крутильных колебаний, применяющихся в различных радиоэлектронных устройствах и бытовой электронике

Способ изготовления фильтровых кварцевых резонаторов с улучшенной моночастотностью // 2197058

Изобретение относится к пьезотехнике и может быть использовано для изготовления высокочастотных кварцевых резонаторов

Способ изготовления кристаллических элементов и устройство для его осуществления // 2296417

Изобретение относится к области электротехники, в частности к пьезотехнике, и может быть использовано для изготовления кристаллических элементов (КЭ) высокочастотных резонаторов, включая и прецизионные

Способ изготовления кварцевых кристаллических элементов для пьезоустройств с пьезовибраторами срезов yx1/+45° и yx1/-45° // 2397605

Изобретение относится к области радиотехники, в частности к пьезотехнике, и может быть использовано при разработке кварцевых резонаторов, используемых в высокостабильных кварцевых генераторах, применяемых в связной аппаратуре и навигационной аппаратуре