Устройство для напуска среды

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАПУСКА СРЕДЫ, в корпусе' которого установлен поворотный шпиндель, взаимодействующий с уплотнительным диском, контактирующим с седлом, на торцовых поверн хностях которых выполнены каналы,.сое общенные с каналом подвода или отвода среды, отличающеес я тем, что, с целью повышения точности регулирования потока, на торце поворотного уплотнительного диска вьтолнен соединенный с каналом, выходящим к источнику подвода (или отвода) среды, радиальный паз, а на торце седла выполнен спиральный паз, пересекающийся с радиальным пазом и сое« диненный с каналом, выходящим в систему 'отвода (или соответственно подвода) среды.(О(ЛО) 01еласN5Ф^/е /

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ÄÄSUÄÄ 655182

1(5И F 16 К 11/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCMOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (24) 2480334/25-08 (22) 29.04.77 (46) 07.06.84. Бюл. Р 21 (72) В.К. Лилье, Б.Р. Льнов и A.È. Шиков (71) Московский институт электронного машиностроения (53) 621.646(088,8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

Р 16966, кл. F 16 К 3/26, 1930.

2. Авторское свидетельство СССР

Р 281973, кл. F 16 К 11/00, 1970 (прототип). (54)(57) УСТРОЙСТВО )1ЛЯ НАПУСКА СРЕД), в корпусе которого устаноннен поворотный шпиндель, взаимодействующий с уплотнительным диском, контактирующим с седлом, на торцовых повер хностях которых выполнены каналы, со опущенные с каналом подвода или отвода среды, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности регулирования потока, на торце поворотного уплотнительного диска выполнен соединенный с каналом, выходящим к источнику подвода (или отвода) среды, радиальный паз, а на торце седла выполнен спиральный паз, пересекающийся с радиальным па зом и сое диненный с каналом, выходящим в систему отвода (или соответственно подвода) среды.

655182

Техред Л. Мартяшова Корректор

Редактор Л. Утехина

Заказ 3949/1 Тираж 913 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул.Проектная, 4

Изобретение относится к устройствам, создающим необходимый дозированный поток газа в вакуумную систему.

Известно устройство с поворотным уплотнительным диском, соединенным со шпинделем и прижимающимся пружинами к седлу (1).

Известно также устройство, в котоpQM доэирОванный напуск обеспечивается изменением кольцевого зазора (2) 10

В таких устройствах изменение,проводимости обеспечивается изменением площади проходного канала и в связи с существенной зависимостью проводи мости от площади сечения невозможно 15 обеспечить тонкое регулирование газового потока.

Белью изобретения является обеспечение заданного закона напуска среды и повышение точности регулироээ20 вания потока газа.

Для этого в предлагаемом устройстве на торце поворотного уплотнительного диска выполнен соединенный с каналом, выходящим к источнику подвсев да (или отвода) среды, радиальный паз, а на торце седла выполнен спиральный паз, пересекающийея с радиальным пазом и соединенный с каналом, выходящим в систему отвода (или соот- 30 ветственно подвода) среды.

На фиг. 1 показано предлагаемое устройство для напуска среды, раз- реэ; на фиг. 2 — разрез A-A фиг.1; на фиг. 3 — разрез Б-Б фиг.2.

В корпусе 1 на опорах корпуса ввода движения в герметизированный объем 2 расположен шпиндель 3, сое». ненный с уплотнительным диском 4, имеющим радиальный паэ а. Радиаль-. ный паз а соединен с отверстием, выходящим к источнику подвода (или отвода) среды, подаваемой в герметиэированный объем через штуцер 5. Диск 4 поджимается пружинами б через прок» ладки 7 и контактирует с седлом 8, Иы олненным из фторопласта и расположенным в расточке корпуса 1. Седло 8 имеет спиральный паз б, соединенный с отверстием; выходящим в вакуумную систему, и пересекающий радиальный паэ а.. )

При вращении шпинделя 3, например, от электромеханического привода, диск 4 поворачивается. При этом радиальный паз а пересекает спиральный паз б седла 8, и длина его канала от отверстия, соединенного сиисточником газа, до пересечения со спиральным пазом б изменяется в соответствии с законом спирали. Сечение радиального паза а постоянно, и вследствие этого проводимость канала зависит от скорости изменения его длины, что обеспечивает тонкое регулирование потока газа. Усилие уплотнения обеспечивается пружинами б и прокладками 7.