Способ нанесения покрытия из вольфрама

 

Союз Советскин .

Социалистимескин

Республик (6I) Дополнительное к авт. свиа-ву (22) Заявлено 02.03.73(21) 18919)0/18 21 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет

Опубликовано 15.04.79.Бюллетень №14

2 (51) М. Кл.

С 23 С 11/00

Государственный комитет

СССР оо делам изобретений н открмтнй (53) УДК 669.056. .9:669.276 (088.8) Дата опубликования описания 17.04.79 (72) Авторы изобретения

А. А. Бабад-Захряпин и Л. Т. Лысенко (71) Заявитель (54) СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ ИЗ ВОЛЬФРЛИЛ

Изобретение относится к способам получения покрытий из тугоплавких металлов и может быть использовано в электр» ронной и электротехнической промышленности.

Известен способ получения покрытий вольфрама с аксиальной текстурой (1 1 О) путем термического разложения гексахловида вольфрама в тлеющем разо ряде при 1300-1600 С, плотности тока

50-80 мА/см и напряжении разряда т©

1000-1300 В 1 ).

Недостаток известного способа заключается в том, что поверхность образующегося покрытия шероховатая и требует дополнительной обработки.

I1åëûî изобретения является уменьшение шероховатости покры; цй для исключения последующей обработки.

Поставленная цель достигается испольЮ зованием в качестве паро-газовой среды, в которой зажигается тлеющий разряд, смеси гексахлорида вольфрама и газа, содержащего элемент внедрения.

Атомное отношение элемента внедрения и вольфрама в рабочей паро-газовой смеси должно быть в пределах от 1/1000 до 1/10. Если это соотношение более 1/10, то образуется вольфрамовое покрытие с иной,чем (110) текстурой. Если же оно меньше 1/1000, то возникает значительная поверхностная шероховатость.

Данный способ нанесения покрытия из вольфрама с текстурой (110) заключается в том, что между образцом (катодом), на который наносят покрытие, и вспомогательным электродом (анодом) зажигают тлеющий разряд в среде,.состоящей из паров гексахлорида вольфрама и какога-либо соединения, содержащего элемент внедрения, например углерод.

Режимы процесса: температура под о ложки — 1300-1600 С, плотность тока

10-80 мА/см, давление в рабочей каме2 ре — 0,05-2 мм рт.ст. 11еобходимый состав парогазовой смеси получают, пропуская с определенной скоростью газообразное соединение, содержащее элемент

65 7085

yk .-Э в .с, ° внедрения, нап) имер, метан, через нагретый до 130-200 С испаритель с гекса. хлоридом вольфрама.

П р и м г р. Вольфрамовое покрытие наносится на молибденовый цилиндричес- 3 кий образец с глухим торцом. Параметры процесса-состав рабочей смеси: гексахлорид вольфрама + метан, атомное соотношение углерода и вольфрама в смеси

1/20, температура подложки - 1450оС. N плотность тока тлеющего разряда 17 мА/см, 2 напряжение горения — 1250 В, давление в рабочей камере - 0,2-0,3 мм рт.ст.

При этом скорость образования покрытия составляет 3,9 мкмlмин. 3$.Образованное таким образом вольфрамовое покрытие с текстурой (110) обладает ровной и гладкой поверхностью (максимальная высота профиля волы ра- мового покрытия 0,6 мкм). Микротвердость покрытий составляет 800llOO кг/мм2 и прочность на разрыв

11 кг/мм .

Использование предлагаемого способа нанесения покрытия позволяет получать покрытие с шероховатостью поверхности, составляющей несколько микрон, что дает воэможность отказаться от последующей механической обработки пЬкрытий.

Формула изобретения

Способ нанесения покрытия из вольфрама с аксиадьной текстурой (110) разложением гексахлорида вольфрама о в тлеющем разряде при 1300-1600 С, плотности тока до 80 мА/см и напряже2 нии разряда ао 2000 В, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью уменьшения шероховатости покрытия, в состав рабочей среды дополнительно вводят гаэ, содержащий элемент внедрения, причем

«томное соотношение элемента внедрения и вольфрама в рабочей среде составляет от 1/1000 до 1/10.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1, Авторское свидетельство СССР

И. 449116, кл. С 23 С 11/00, 1969.

Составитель А. Калюжная

Редактор И. Коган Техред М. Петко, Корректор С. Шекмар

Заказ 1738/29 Тираж 1129 Подписное

ПН1!ИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, )K-35, .Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4