Форвакуумная криогенная ловушка

 

(i i)659792

Воиз Овввтсвии

Социалистических

Республик

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву 398762 (22) Заявлено 06.12.77 (21) 2550971/25-06 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.04.79, Бюллетень ¹ 16 (45) Дата опубликования описания 30.04.79 (5!) М. Кл. -

F 04F 9/06

Государстеенный комитет (53) УДК 621 527.8 (088.8) по делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

В. Г. Мартыненко и В. A. Коваленко (71) Заявитель (54) ФОРВАКУУМНАЯ КРИОГЕННАЯ ЛОВУШКА

Изобретение относится к области вакуумной техники.

Из основного авт. св. № 398762 известна форвакуумная криогенная ловушка, содержащая сосуд Дьюара и трубу для прохода откачивасмого газа, при этом труба для прохода откачиваемого газа установлена по оси сосуда Дьюара, а ее выступающие из сосуда концы герметично соединены со стенками сосуда (1).

Известная ловушка не улавливает легкие углеродосодержащие газы, поступающие из насоса.

Целью изобретения является улучшение защитных свойств ловушки.

Указанная цель достигается тем, что в трубе размещен испаритель геттера, спираль которого расположена от горловины сосуда Дьюара и его днища на расстояниях, составляющих не менее одного диа- 20 метра трубы.

На чертеже изображена ловушка, продольный разрез, Форвакуумная криогенная ловушка со- 25 держит сосуд 1 Дьюара и трубу 2 для прохода откачива ем ого газа, установленную по оси сосуда 1. Выступающие из сосуда 1 концы трубы 2 герметично соединены со стенками сосуда. 30

В трубе 2 размещен испаритель геттера

3, спираль 4 которого расположена от горловины 5 сосуда 1 Дьюара и его днища 6 на расстояниях 1 и /е, составляющих не менее одного диаметра D трубы 2.

Ловушка работает следующим образом.

Ловушку устанавливают в вакуумную линию, соединяющую реципцент с форвакуумным насосом (нс показан) . Перед включением форвакуумного насоса в ловушку заливают хладагент, например, жидкий азот, и включают пспарптель геттера 3.

Пары масла пз форвакуумного насоса и легкие углеродосодержащие газы конденспруются на холодных поверхностях ловушки, эффективность улавливания обеспечивается пленкой напыленного металла.

Происходит улавливание холодными стенками ловушки и пленкой напыленного металла легких углеродосодержащих газов, паров воды и откачка основных компонентов воздуха О, Л е, а также и Н, а инертные газы откачиваются форвакуумным насосом. Продолжительность и периодичность работы испарителя гсттера 3 зависит от его технической характеристики и конкретных условий вакуумной системы — сорта откачиваемого газа и его количества.

Таким образом, ловушка по данному техническому решению практически полностью .5 . ;, j к, к г i (3: — — тС

1 !!

| г ..„-5 i! г1 г — =г1

jl 1;! |!!Ц

Х! :;,1

Ij-jl ) и !! !,, /, (, г,.г, j;:j!!1 LI?iСг 4 (!

/ г" г! И г! !! г! (! с, г li f

ij !! !! ..! (! ! !! (4! !! !! j ! ( () !! !! eJ р!!

° ! и

f" (

5!! Й,

Jt JI!

i (;л

;7.

/г

Редактор Л. Гольдина Составитель О. Тишина Корректор T. Добровольская

3 « к;! ç 560, 9 I а -,j,o ? г 9 Тир!!5к 779 "lO;:,;:I1Ñ: -, ! ггПО Госмдарствеи "ого ко..!итета ГГСР по делa51 иаоб! етеии:" и откоыти:i

Т1:потрафия. пр. Сапунова, 2

33!ПитЦяеот О-:К;IпlтВЯО)!hi!i Об !.О 1;:) .1!. 3 )Б Р ЯЗ."О:!СЯ г1113 . Я О,.! Я .

С ) j) i) тг,,! и

Ф;!РВЯ1с.! пп3". hDI.oi о!!1!Яп;!О! .тл1!!ЯЯ I:О

3BT. CB. A2 39сг г !1 ". О Т г I Я го П; 0 l (!, О t О ПК т, Л 1! C!i:. И 3311г11 г и Ы); CВОII. В ,(i3,lI! 1:, В Т ), ЛC j) 33,1"!!1.",i О.!гбг ) ll 3;ih Т: т-! 1 1 Я, «!III",) Я . h ЕОТОООГО !!) ЯО!1г)ЛО5 ЯН Я IIT

J ,;„3,:I.II Ст)ОУ.!Я .",.-.1ОЯг)Я i. ОРО,ЯИ1!ЩЯ 113 г!)ЯС, тО,1!1Ц51„, i тЯг., I!i li;11: ii IC,! Е ",I C

1;я, г т!)я! Ill Ы