Устройство для передачи поступательного движения в вакуумную камеру
Союз Советских Социалист ммеских Респубпмк (6l),Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заявлено 23.09.77 (21) 2525389/25 — 08 с присоединением заявки № (23) Приоритет г (51) М. Кл. F 16 К 31/50 Государстеехный хекетет СССР аа делам ееобретеией и открытая Опубликовано 25.05.79. Бюллетеиь № 19 Дата опубликования описания 25.05.79 (53) УДК 621,646 (088.8) (72) Авторы изобретения Д,В. Бушенин, Е.А. Деулин, В.А. Марусов, В.В. Морозов, В.Е, Степанов и Ю.А. Хруничев (71) Заявитель Владимирский политехнический институт (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕДАЧИ ПОСТУПАТЕЛЬНОГО ДВИЖЕНИЯ В ВАКУУМНУЮ КАМЕРУ Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к конструкции устройств для передачи поступательного движения в герметизированное пространство. Известны цельнометаллические сильфонные вводы поступательного движения, имеющие в % вакуумной части подшипники качения (1). Подобные устройства ненадежны из-эа заклинивания подшипников. Известно устройство для передачи поступательного движения в герметизированное пространство на базе планетарной резьбовой передачи, в котором подшипники качения, являющиеся опорами качения для гайки, вынесены иэ герметизированной полости 12). Однако три ступени подшипников качения, установленные одна в другой, снижают кинематическую точность и надежность устройства в работе. Цель изобретения — повышение точности и упрощение конструкции устройства. 26 Для этого промежуточный узел выполнен в виде опоры качения, а шток со стороны противоположной камеры герметиэирован сильфоном и снабжен втулками, установленными внутри сильфонов. На чертеже изображено описываемое устройство, разрез. В корпусе 1 устройства на подшипниках 2 качения расположена зксцентриковая обойма 3. Внутри обоймы 3 на опорах 4 качения размещена гайка 5, к которой жестко приварены сильфоны 6, герметизирующие шток 7 относительно фланцев. Гайка 5 находится в зацеплении с резьбовой частью штока 7. Реэьбовой шток 7 установлен в корпусе в направляющих втулках 8, расположенных внутри сильфонов. На обойму 3, имеющую зубчатый венец, передается вращение от внешнего привода. Эксцентричная обойма, установленная в корпусе 1 на подшипниках 2 качения, имеет внутреннюю расточку, ось которой смещена относительно наружного диаметра на величину эксцентриси- . тета е, поэтому гайка 5, установленная в обойме 3 с помощью опор 4 качения, при вращении обоймы 3 будет совершать плоскопараллельное колебательное движение. Вращение эксцентрич-,. ной обоймы 3 преобразуется в плоскопараллель66.ИЗ8 Составитель И. Шевелько Техред С. Мигай Корректор О. Ковинская Редактор В.Дибобес Тираж 1138 Подписное IlHHHIIH Государственного комитета СССР но делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж--35, 1 ауглская наб., д. 4/5 Заказ 2965/33 Филиал ППП Патент", г/.Ужгород, ул Про«кзная,4 3 нос колебательное движение гайки 5, что приводит к поступательному перемещению штока 7. Формула изобретения Устройство для передачи поступательного движения в вакуумную камеру с зксцентриковой обоймой, которая через опору качения связана с корпусом и через промежуточный узел— с гайкой, выполненной с кольцевой нарезкой на внутренней поверхности, взаимодействующей с резьбовым участком возвратно-перемещаемого штока, герметиэированного сильфоном со стороны камеры, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения точности работы, промежуточный узел выполнен в виде опоры качения, а шток со стороны противоположной камеры герметизирован дополнительно сильфоном и снабжен направляющими втулками, установленными внутри сильфонов. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1о 1. Медников М.И. Вводы движения в вакуум, М., 1975, с. 95, 2. Авторское свидетельство СССР No 569783, кл, F 1б К 31/50, 1975.
