Устройство для контроля оптических поверхностей деталей

 

ОПИСАНИ1

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ т

<и> 664О22

Союз Советскик

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. сеид-ву— (22) Заявлено230178 (21) 2576835/25-28 (51)М. Кл..2

G 01 В 11/24 с присоединением заявки ¹â€”

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет (53) УДК531.715.27 (088. 8) Опубликоваио250579. Бюллетень №19

Дата опубликования описания 30.05.79 (72) Автор изобретения

С, И. Прытков (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ОПТИЧЕСКИХ

ПОВЕРХНОСТЕЙ ДЕТАЛЕЙ

Изобретение относится. к контрольноизмерительной технике и может быть использовано, в частности, для контро- . ля деталей больших габаритных размеров (сферических и асферических поверхностей любого радиуса кривизны) .

Известно устройство для контроля оптических поверхностей деталей, содержащее крупногабаритные высокоточные оптические элементы или измерительную базу, равную радиусу кривизны Кон- тролируемой детали (1). Наличие круп». ногабаритных высокоточных оптических элементов сильно удорожает измерительные устройства, а большая измеритель- ная база принодит к.возрастающему вли-, -янию внешних возмущений (вибраций и воздушных потоков).

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является устройство для контроля оптических поверхностей деталей, содержащее последовательно 1засположенные источник света, конденсатор,рассеиватель,устанавливаемый перед контролируемой по=. верхностью на расстоянии, меньшем, чем ее фокусное расстояние, пространственный модулятор излучения и опорный канал (2).

Однако наличие опорного канала, необходимого для записи голограммы, фаза излучения, которая должна оставаться постоянной по отношению к фазе излучения, распространяющегося от рассеинателя, делают устройство чувствительным к вибрациям и воздушным потокам.

Для повыШения помехоустойчивости устройстна предлагаемое устройство снабжено оптической системой, расположенной между рассеивателем и пространственным модулятором излучения, а последний расположен в плоскости, оптически сопряженной с поверхностью рассеивателя. На чертеже дана принципиальная схема предлагаемого устройстна.

Оно содержит последовательно расположенные источник 1.. света, конденсор 2, рассеиватель 3, оптическую систему 4 (например, объектив), которая оптически сопрягает поверхность рассеивателя 3 и приемную поверхность пространственного модулятора 5 излучения, в качестве которого может служить фотопластинка, фототермопластик и другие материалы. Индексом 6 обозначена контролируемая деталь 6, которая расположена эа рассеинателем 3 на рас664022

3 стоянии, меньшем, чем фокусное расстояние контролируемой оптической поверхности. Поверхность рассеивателя

3 полностью перекрывает контролируемую поверхность детали 6., Устройство работает следующим образом.

Излучение от источника 1 света через конденсатор 2 освещает рассеиватель 3 и через него контролируемую деталь б. Рассеянное рассеивателем 3 излучение через оптическую систему 4 попадает на пространственный модулятор 5 излучения, где формируется изображение поверхности рассеивателя 3.

Экспонированный пространственный модулятор 5 излучения обрабатывают для получения на нем изображения рассеивателя 3 и возвращают на место экспозиции. Затем разворачивают деталь б вокруг центра кривизны контролируемой оптической поверхности и наблюдают. локализованную на пространственном модуляторе 5 излучения интерференционную картину. По виду этой интерфе-: ренционной картины можно оценивать качество коитролируемой поверхности методами сдвиговой интерферометрии.

Интерференционная картина на пространственном модуляторе излучения образуется следующим образом.

Излучение, распространяющееся от рассеивателя 3 в направлении оптической системы, имеет две составляющие:

Формула изобретения

Составитель Л. Лобзова

Техред Э. Чужи к Корректор В.Синицкая

Тираж 865 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул, Проектная, 4

Редактор Т; Шагова

И:-." : -ма . е-.:.w

Заказ 2978/38

4 рассеянное назад излучение источника 1 света и рассеянное вперед излучение, отраженное от контролируемой поверхности детали б. Изменяя фазу между этими волнами, например изменяя положение оптической поверх5 ности, можно наблюдать на поверхности пространственного модулятора излучения интерференционную картину.

Устройство для контроля оптических поверхностей деталей, содержащее последовательно расположенные источник света, конденсор, рассеиватель, устанавливаемый перед контролируемой поверхностью на расстоянии, меньшем чем ее фокусное расстояние, и пространственный модулятор излучения, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения помехоустойчивости устройства, оно снабжено оптической системой, расположенной между рассеивателем и пространственным модулятором изл чения, а последний расположен в плоскости, оптически сопряженной с поверхностью рассеивателя, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Духопела И, И. и др. Устройства для контроля оптических поверхностей

Журнал ОМП, 1975, 9 5, с. 64.

2. Авторское свидетельство СССР

М 593070, кл. G 01 В 11/24, 1977.