II ОТИ ИФТВЙ (53 ) УД3(666.655 (088.8) H. M. Ремова, Э. И. Мамчиц, И. К. Ежовский, П. В. Мирошников и М. В. Сергеева (72) Авторы изобретения (7!) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ

КЕРАМИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ

Изобретение относится к технолагии изготовления пьезоэлектрической керамики.

Известные способы изготовления пьезоэлементов заключаются в формованни из делий из пьезокерамического материала, 5 обжиге, механической обработке для придания пьезоэлементам заданной формы и размеров, металлизацни части поверхностей вжигании электродов, поляризации, состаривании и измерении электрофнзиче .lO ких характеристик j 1) .

Недостатком известных способов является наличие термических микротрещин на поверхности пьезоэлементов, возника IS юших при вжигании электродов и уменьшающих их механическую прочность, и отсутствие операций по их устранению, Hemü изобретения - повышение механической прочности пьезоэлектрических керамических элементов.

Это достигается тем, что при изготовлении пьезоэлектрических керамических элементов, включающем формование и

2 делий, обжиг, механическую обработку, металлязацию части поверхностей, вжигание электродов, поляризацию и состаривание, иеметаллнзированные поверхности дополнительно сошлифовывают на глубину от 0,05 до 3 мм перед илн после поляризации, нли после состаривания.

Пример 1. Из предварительно приготовленного пьезокерамического материала, например методом прессования, формуют заготовки пьезоэлементов необходимой конфигурации с припуском на усадку и механическую обработку. Затем заготовки подвергают обжигу при температуре, например, 1200 С. После обжио га осуществляют механическую обработку заготовок (шлифование, токарную, фрезерование) для снятия припуска и придания заготовкам формы готовых иэделий. Прн этом с поверхностей, подлежащих металлнзацни, снимают весь припуск, а на пс верхностях, не подлежащих металлиэации, оставляют часть прнпуска величиной

0,1 мм. После этого соответствующие

6874 94 4 татами испытаний пьезоэлементов, данные о которых приведены в таблице.

Предлагаемый

Пример 1 .

Пример 2

Пример 3

370

3 поверхности пьезоэлементов металлизируют и затем вжигают электроды при температуре. 600-850 С, зависящей от состава металлосодержащей пасты. После вжигания электродов осуществляют окончательное сошлифовывание неметаллизированных поверхностей на глубину

0;1 мм. Это позволяет устранить с поверхностей микротрещины, образовавшиеся при температурном воздействии на пьезоэлементы в процессе вжигания электродов, и тем самым увеличить механическую прочность пьезоэлементов. Затем пьезоэлементы попяризуют, подвергают старению и проверке параметров. 15

Пример 2. Все операции изго» товления пьезоэлементов осуществляют в той же последовательности, что и в примере 1 до операции поляризации включительно, а окончательное сошлифовывание неметаллизированных поверхностей осуществляют после поляризации. Последующие операции выполняют также, как в примере 1.

Пример 3. Все операции выпол- д няют в той же последовательности, что и в примере 1 до операции старения включительно, а сошлифование неметаллиэированных поверхностей осуществляют после старения. Затем выполняют операцию зо по проверке параметров.

Эффективность предлагаемого способа изготовления пьезоэлементов по сравнению с известным подтверждается реэуль

Формула изобретения

Способ изготовления пьезоэлектрических керамических элементов, включающий формование изделий, обжиг, механическую обработку, металлизацию части поверхности, вжигание электроцов, поляризацию и состаривание, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения механической прочности пьезоэлектрических элементов, неметаллизированные поверхности дополнительно сошлифовывают на глубину от 0,05 до 3 мм, перед или после поляризации, или после состаривания.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1 Окадзаки K. Технология керамических диэлектриков. М., Энергия", 1976.

Составитель Н. Фельдман

Редактор А. Морозова Техред . 3. Фанта Корректор М. Шароши

Заказ 5747/47 Тираж 923 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретенйй и открытий

113035 Москва, Ж35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород,> ул. Проектная, 4

Способ изготовления пьезоэлектрических керамических элементов

Пьезоэлектрическое шаговое устройство для микроперемещения твердого тела // 682973

Вибродвигатель // 681479

Шаговый двигатель для прецизионного перемещения // 674123

Вибродвигатель для электропроигрывающего устройства // 670992

Электропривод // 668033

Устройство для питания пьезоэлектрического вибродвигателя // 668032

Вибродвигатель // 665351

Многофазный вибродвигатель // 664246

Исполнительное устройство // 663337

Пьезоэлектрический кристаллический элемент // 2127484

Изобретение относится к пьезоэлектрическому элементу, содержащему кристалл с по меньшей мере одной, в основном плоской плоскостью для акустического использования поверхностных волн

Способ детекции макромолекул биосенсорным устройством // 2148259

Изобретение относится к микробиологии

Устройство и способ для управления по меньшей мере одним емкостным исполнительным элементом // 2167488

Устройство и способ для управления емкостным исполнительным элементом // 2169424

Способ получения пьезоэлектрических монокристаллов с полидоменной структурой для устройств точного позиционирования // 2233354

Изобретение относится к области получения монокристаллов сегнетоэлектриков с сформированной доменной структурой и может быть использовано при создании и работе приборов точного позиционирования, в частности зондовых микроскопов, а также при юстировке оптических систем

Пьезосканер многофункциональный и способ сканирования в зондовой микроскопии // 2248628

Изобретение относится к сканирующей зондовой микроскопии

Координатный стол // 2254640

Изобретение относится к нанотехнологии, а более конкретно к устройствам, обеспечивающим перемещения объекта по трем координатам (X, Y, Z) и точную повторяемость положений объекта при его переустановке, например для перемещения образцов, держателей образцов, зондов и других элементов в сканирующей зондовой микроскопии

Пьезоэлемент для фокусирующего ультразвукового излучателя // 2333023

Изобретение относится к медицинской технике, в частности для применения в ингаляторах

Ультразвуковая антенная решетка // 2335038

Изобретение относится к области неразрушающего контроля, а именно к средствам дефектоскопии трубопроводов, сварных соединений, корпусов реакторов, железнодорожных рельсов, уложенных в пути, конструкций и сооружений из черных и цветных металлов и сплавов в широком диапазоне толщин при одностороннем доступе, и предназначено для применения в машиностроении, металлургии, в авиастроении, автомобилестроении, энергетике и других отраслях промышленности

Акустоэлектронный модуль на поверхностных акустических волнах // 2352055

Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано в приборостроении и электронной промышленности для корпусирования и герметизации изделий функциональной электроники