Изобретение относится к измерениям Яп или Ag + Sn с большим сопротивлением тепловых потоков излучения и, в частности и одновременно с большим коэффициентом к тепловь!м приемникам излучения, работа- а. а также стабильных во времени. ющимприглубокомохлаждении. Сверхпро- .. Цель изобретения вЂ” повышение вольт-.

- водящий болометр может быть использован 5 ваттной чувствительности болометра, улучдля астрофизических«исследований, в инф-: шение ее стабильности и упрощение ракрасных сйектрометрах для диагностики: технологии изготовления болометра. плазмы и в другой оптической аппаратуре в: -: Поставленная цель достигается тем, что широкой областй спектра. :. . - - .,::::, : вторая пленка. выполнена из сверхпроводИзвестен сверхйроводящйй болометр, 10 ника с температурой перехода ниже, чем у содержащий чувствительный элемент в ви- первой сверхпроводящей пленки. де сверхпроводящей пленки, нанесейной -- ".::::;- На.чертеже показан сверхпровоящий на диэлектрическую подложку.,: - болометр,тде 1 -управляющая сверхпрово: "., - Кедостатком.указанного болометра яв;, - дящая;пленка 2 вЂ”.. термочувствительная ляется низкая стабильность температуры, 15 сврехпроводящая пленка; 3, 4- дИэдлектричто обусловлейо тепловой инерцией на- ческие подложки; 5; 6-. контактные слои.

: гревателя, намотанного на основайие бо-,, -,:. ".:..Работает болометр следующим обрачувствительность; что связано с поглоще-: -.. Измеряемое излуче»ние. падает на упнием излучения самой сверхпроводащей 20 равляющую.пленку1; Зта пленка выполнепленкой,::.-::::;:- .:,::- -:- -:: :...,:, . -..: .. :"на из сверхпроводащегоматериалз и имеет "

:Известен сверхпроводящий болометр, у""., сопротивление на квадрат в йормальном сокоторого на одну сторону диэлектрической ." .. стоянии, близкое к величине, при которой подложки нанесена поглощающая пленка::, обеспечйвается максимальное поглощенйе из нормального"металла, а на другую вЂ”,25 около50ф;Температура сверхпроводящего свврхпроводящая пленка гораздо меньших . ". .перехода у этой пленки выбрана такой, что-" размеров.:. .:: ..:::::,. :,:::. :: . ::;. .:=-:::- := ..:„.бы при рабочей температуре пленка находиленная узостью сверхпроводящего перехо-.,30:.,:;. ;-::::-, Под действием:. поглощенного излуче р

«риостате." ":::.:;-:::::; .-:..: :: .:: . .": -,.::::;-. -.:. - - :": ного элемента, и в том "числе "второй ляется сверхпроводащий.болометр. в кото-" ". бочей температуре находится в" промежу ром чувствительный.-элемент выполнен в З5 точном. - состоании" и „ -,;-: является " виде сверхпроводящей пленки, нанесенной:термочувствительной, то есть при нагреве на диэлектрическую подложку; в централь- . :""йзмен»я«ет свое" со«против«л»енйе," которое ре- ной части с другой стороны сверхпроводя- . гистрируют измерительной схемой. щей пленки установлейа вторая подложка" :-, .Через пленку f,пропускают:ток,"кото- меньшей площади, на которую. нанесена 40 рый создает магнитное поле, влияющее на " пленка из сверхпроводящего материала, но : свврхг,роводящий переход термочувстви-

: с более выСокой температурой перехода; - тельной пленки 2, Управляя током, компен-. падающее излучение поглощает первая "сируют- нестабил«ьностй сопротивления плен«а, которая является термочувстви-: .чувствительного элемента болометра, вытельным элементом; втораа пленка служит.45 званные колебаниями температуры в кри. для магнитного управления рабочей точки остате. первой пленки. -.: :.::: Болометр по сравнению с известными :

Известный болометр имеет следующие имеет следующие преимущества. Термочувнедостатки: ствительная пленка 2 не несет функции по магнитная связь между управляющей и 50 глотителя излучения, поэтому нет термочувствительной пленками недостаточ- необходимости делать ее очень тонкой. Это но сильна, так как для уменьшения по- упрощает технологию и, кроме того, более терь при поглощении падающего толстые пленки имеют гораздо больший излучения болометром управляющую температурный коэффищ ент сопротивлепленку делают узкой в месте пересече- 55 ния, что приводит к увеличению вольт-ватт ниа ее с термочувствтиельной пленкой; ной чувствительности. бопометр имеет малую вольт-Вэттную С другой стороны, для сверхпроводячувств11тельность. щей пленки 1. которая являетса поглощаю3нэчите ть 1ы трудности в технологии щей и управляющей, отпадает требование пол ения тонких сверхпроводящих пленок наличия определенного температурного ко«

L -«

;«..

692337

° ь, с г

Составитель

Редактор Н.Колоскова Техред М,Моргентал Корректор М.Максимишинец

Тираж - Подписное

НПО "Поиск" .Роспатента

Заказ 3239

113035, Москва; Ж-35, Ра шская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 эффициента, так как она находится полно- В устройстве достигается более сильная стью в сверхпроводящем состоянии. Важ- магнитная связь между управляющей и тер,:io, чтобы пленка имела сопротивление на мочувствительной пленками из-за более выквадрат в нормальном состоянии, близкое к . годного соотношения площадей, Благодаря

188 Ом/см2. В дгайном случае появляются 5 этому достигают более высокой точности большие возможности при выборе сврехп-, стабилизации рабочей точки болометра. рьоводящегО материала, из которого можно получать стабильные и прочные тонкйе (56) Авторское свидетельство СССР пленки, .В частности, если термочувстви- . hb 266272, кл. G 01 J 7/22, 1970. тельную плейку йзготовить йз Ag+Sn c 10. Яесопб International conference and

Т, 2К, то в качестве материала для управ-: winter school on:subrriillimeter waves агпб ляющей пленки можно использовать тан- their applications..Puerto Rico. 1976, Richards тал, которйй имеет температуру перехода Р.L; Clarke l., Hoffer 6.1;. N. shloke N.S., 4,4 К. -Пленки из тантала имеют исключи- _#_eady D,Р. тельно стабильные характеристики, их ши- 15 Авторское свидетельство СССР роко применяют в микроэлектронике;: ... . М 453488; кл. 6 01 J 5/20, 1974, Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я .: ..:...:: - второи пленкой из. сверхпроводника, отлиорму, .чающийся тем,"что;.с. целью повышения

„- -::. :ПЛЕНОЧНЫд СВ РХПРОВОДЯЩИЙ. 20 вольт-ваттйой чувствительности:боломет-„„„"" „",ожкуг и нанесенную на ее повер--.., :ния технологйи, изготовления болометра, сверхпроводящую пленку, на,.- -,.вторая пленка выполнена из сверхпровод-

„ - ой установлена вторая подложка: . ника с температурой перехода ниже;,чем у :- " -у

Устройство для замера температуры кусковых материалов // 549691

Бесконтактный способ измерения температур // 474699

Устройство для измерения температуры // 463873

Способ измерения температур // 463003

Устройство для измерения температуры потока сыпучего материала // 315053

Пироэлектрический термоэлемент // 309255

Устройство для измерения интегральных коэффициентов черноты материалов // 251866

Селективный тепловой приемник излучения // 243951

Патент 202551 // 202551

Способ измерения энергии лазерного излучения болометрическими решетками // 2178876

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано в проходных измерителях энергии излучения мощных импульсных лазеров

Устройство для обнаружения и преобразования мощности источника излучения (варианты) // 2194955

Изобретение относится к устройствам для обнаружения и преобразования мощности излучения, а именно к оптико-акустическим приемникам, предназначенным для преобразования инфракрасной радиации от исследуемого объекта или источника в спектральном диапазоне от 0,3 до 2000 мкм в постоянное напряжение электрического тока, и может быть использовано в фотометрах

Устройство для определения температуры // 2217715

Изобретение относится к термометрии и может быть использовано для дистанционного технологического контроля температурных режимов прокатного стана

Система формирования изображения, действующая в субмиллиметровом диапазоне // 2218560

Тепловой приемник излучения // 2227905

Изобретение относится к области оптоэлектроники, к конструкциям тепловых многоэлементных приемников, предназначенных для регистрации пространственно-энергетических характеристик импульсного и непрерывного излучения

Детектор ик-излучения и способ его изготовления // 2240516

Болометрический резистивный элемент // 2258207

Изобретение относится к технике измерений

Многоэлементный неохлаждаемый микроболометрический приемник // 2260875

Изобретение относится к области оптико-электронных приборов и может быть использовано как приемник инфракрасного излучения в тепловизионных приборах, теплопеленгаторах, приборах ориентации и экологического мониторинга

Неохлаждаемый металлический болометр // 2325729

Изобретение относится к тепловым фотоприемникам для обнаружения монохроматического излучения дальнего инфракрасного (ИК) диапазона и определения угла прихода этого излучения

Болометрический детектор, устройство для обнаружения инфракрасного излучения с использованием такого болометрического детектора и способ для изготовления этого детектора // 2356017

Изобретение относится к устройствам для обнаружения инфракрасного излучения и может быть использовано для формирования инфракрасных изображений