Проекционный объектив

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

tI l 6

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 10.05.78 (21) 2613507/18-10 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.10.79. Бюллетень № 40 (45) Дата опубликования описания 30.10.79 (51) М. Кл. G 02В 13 24

Государственный комитет (53) УДК 778.22 (088.8) по делам кзабретений и сткрытик (72) Лвторы изобретения

Э. С. Гуревич, И, Е. Басалаева и Л. Н. Казаченок (71) Заявитель (54) ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ

Изобретение относится к оптическим системам и может найти применение в микроэлектронике в проекционных установках экспонирования.

Известен объектив, который работает с увеличением 0,1х, апертурой 0,3 и с линейным полем зрения 60 мм (1). Недостатком объектива является малое поле зрения.

Наиболее близок к изобретению — проекционный объектив, содержащий шесть компонентов, из которых первый — положительная одиночная линза, второй — одиночный отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, третий — двухсклеенный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, четвертый — положительная двояковыпуклая линза, пятый — мениск и шестой — отрицательный мениск, обращенные выпуклостью к плоскости предмета (2).

Недостатком этого объектива является также малое поле зрения.

Цель изобретения — увеличение линейного поля зрения.

Поставленная цель достигается тем, что проекционный объектив, содержащий шесть компонентов, из которых первый — положительная одиночная линза, второй — одиночный отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, третий — двухсклеснный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, четвертый — положптельная двояковыпуклая линза, пятый — мениск и шестой — отрпца5 тельный мениск, обращенные выпуклостью к плоскости предмета, снабжен установленным за третьим компонентом положительным мениском, обращенным вогнутостыо к плоскости предмета, при этом пятый ком10 понент выполнен в виде трехсклеенной отрицательной линзы, а расстояние между вторым и третьим компонентами составляет

0,15 — 0,3 фокусного расстояния всего объектива.

15 На чертеже приведена оптическая схема объектива.

Объектив состоит нз семи компонентов

1 — 7. Компонент 1 представляет собой положительную двояковыпуклую линзу, вы20 полненпую из сверхтяжелого крона с соотношением радиусов 1:2. Компонент 2 — отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета н выполвснный из тяжелого флинта, компонент 3 — отри25 цатсльный мениск. склеенный пз двух линз

8 н 9, обращенный ноги тостью к плоскости предмета, выполнепный нз тяжелого флинта и сверхтяжелого крона, соответственно разность коэффицнентоз дисперсии

30 которых равна 24, а соотношение радиусов

694826

77 i 3 7 > (!

Я 4

Ы( /

1 2

С.ост(»иит(.!7 М, Лебедев

Корр(ктор 3. Тарасова

Техреп Л. 1Самвип!»икова

1>e :(ктор Т. Р(абааова

".,àêàç 25177 10 11»л . > а I!28 Тирах(591 1!о,:,и" :.>с

I Ii1(Ç . Г1мск» Росу.!арствеписг!7 ко)аитета СССР ..n;(с.(ам ..зобретени1 .* и от.> >и« и, 1!3035, Москвa, jI(-3,i, Раугискаа !la(7, !. -1 5

1 и(и>г()а(1)и!(, 77р. C.(7:,; иова, 2

1:2 и находится на расстоянии от компонента 2, равном 0,15 — 0,3 фокуса вссгo объектива.

Компонент 4 — полож!Пгсльный»е!! !С«, ооращенный вогиутостьк) к п,!ос«ости прс,тмета, выполненный из свсрхтяжсло! î «р(и!а с соотношением радиусов 1:0,26. Kol(II!OI!cllт

5 — положите;!ьн lя двоя!совып1 к. I(i!1 I IIIIBB, выполненная пз сисрхтяжслогo крона.

Компо !епт 6 — отрпцатслы!ый мениск, склеенный из трех линз 10, 11, 12, Bbliio;Iпенных из сверхтяжслого крона, тя:кслого флинта и крона соответственно. Разность показателей для свсрхтяжслогo крона и тяжелого флинта не превышает 0,001, разность коэффициентов дисперсии равна 22, а для пары стекол тяжелый флинт: «рон равна 33, соотношсiliic крайних га,(цугов равно 1, 0,25.

Компонент 7 — положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, склеенный из двух линз 13 и 14, выполненных из баритового крона и свсрхтяжелого крона соответственно, разность коэффициентов,«ICIIepcliv которых равна 11.

Применение объектива, увеличение которого составляет 0,1х, дает возмсжность увеличить поле изображения, что позволяет значительно повысить производительность труда за счет увеличения площади экспонирования, топологического рисунка в 3 раза.

Обз>с«тп!» !!а1!дет 1!p!ui(! ICIII!с при изгс)т()1:,,.!с(!и! сверхбольп(п. и: тсграль:ь!>(i с.,cì, ч то (7 0 е с I! с 1: I т и О в ы и 1 C i 1 i C ф> и к ц О I! а. ы l о й! сложное г.i ш тс: ра ib!ii i ..:П«росхсм, 7

Формул а зобрстсния

Проскцпо!шьш об) с«т.. в, со !сржащий

Ш CTL 1СО>11!01:ЕПТОВ, li3 К(Г! ОРЫХ !!ЕРВЫЙ положительна;! Одш:очная лииза. второй—

1О одиночный о.-рицатсгп>пый мениск, обращенный выну«лость:О и )! j!(7cêocTè предмета, третий — двухс«.1есп(ь1!1::сниск, обращсппыи ВО IiyTocTI к п..ос!<Ости прсдмста, 1ст1)сртый — по loiKIIтслыlая двояковыпуlс15;aÿ линза, пятый —;ICIII!cI(и шестой отрицательный мспгс«, o()pBIIICI;IIûc выпук;IocTI>Eo к п1oc«ocTII прсд,ipTB, 0 T:1 и (а !ОliI П !! ТСМ, IT(), С ILC,I!>IO УВС(1иисlliIH ПОЛЯ зрсп!!я, сис снабици! устBI. oBj!C!IIIBIM за

20 третьим «са!попсптом положит ;IBIII>.ì меписком, с)бращспны воп!утостыо к плоскости предмета, при этом пятый компонент выполнен в виде трс хе«леси»п)й отрицатсгппой Ill!i;»bi, и DBccT0HIIIIc между вторым и

25 T p CT b H M к O Vi I1 O I I C I I T I ) I! I C OCT B B, 51 С Т О, 1 5—

0.3 фокусного расс ояния всего Ооъсктива. источи)!ки 1!П(1)орм асти и принятые во впи;,!ание при экспертизе

1. * ABTopcKoe свидетельство СССР

3(I № 333525, кл, G 02В 9/64, 1971, 2. Лвторскос свидетельство СССР

М 486298, кл. G 0213 9 64 1973.