Способ нанесения металлических электродов на тонкие оксидные слои

 

Клас; 4>а,16 № 72539

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЙ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ...... .;,".." )", y, — — 1 (, <

М, М. Вудынский

< !

СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ЭЛЕКТРОДОВ

НА ТОНКИЕ ОКСИДНЫЕ СЛОИ.)<)5)вг!ев<) Ч ввгыств )!1-17 г.:i;i X<< 4З, 1 >,) .1 ()З)

ii )rI)!lit(T(l)C1 iH) I1r)OLlbI)l! i()II!<)(Tii Cr<< .!Ci

П р с д м с т и з << (, > c т C H 1 я

CiIoco ) lr:Ii:ccPI!IIs! мстя яличсских электродов ня т<и!кис 0KcII;trlhlc слои для получения сухих электролитичсcKIiK кондснсятс)ров для друп!х целей, о т л и ч à IG гп и и с я тем, ITO li;1 плястп.:-!ку Iëio..:I:HIIH и друго о )кoHI H Й !!TOP hl)1 э 1сктРОдОхl, Я затсы п(РОизводят 11;IP<1шнвЯние Оксн.111()Г() слоя U элс KTp() IIITllческой ванне.

I I p(l. I il l <1стся с loco() н я 11ссен1! я )1(Г1

1. I 1<1 ГI. 1ЯСТИ нк(ЯЛIОТI ННН51 II, I II;Ip) I ol О )l(Гil, 1 I o, с. 1<< Жяи(СГО 11(I)I)hi%i

-лектродом, Hÿit<)cHòcÿ элсктролитн !с=к!)м Iix г; м "o!i. <,й слой окнсll этог() металла, тол!ниной 0,0! — 0,02 микро,!а, 2. 1-I

I (l(.T:)лля. к(г!ОрыЙ доп>ксг! cci()KHTü вт01)ь!.

3. Для почучения трсбус..к)й емкости пс)Г) чсннуio cècic.<, ot)p;l();il яI<,I1()T в электролитичсской ванне.

В процессе этой обработки пр()х(:,!н 1;.Я.lhilcélilc(()K!!с )с:!1!е мстя(!11;1 первого электрода, в результате чего -

0,03 — 0,04 микрона,