Магниторазрядный насос

 

О П И С -А"Н. И"Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ (i i! 73 l 493

Союз Советских

Социалистических

Реслублик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (51) М. Кл.-

Н 01J 41/06 (22) Заявлено 31 10.78 (21) 2679921/18-25 с присоединением заявки . че

Государственный комитет (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.04.80. Бюллетень № 16 (53) УДК 621.521 (088.8) йо делам изобретений и открытий (45) Дата опубликования описания 30.04.80 (72) Авторы изобретения

М. Е. Слуцкий и М. Л. Либман (71) Заявитель

Специальное конструкторское бюро аналитического приборостроения научно-технического объединения AH СССР (54) МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к электровакуумной технике, а более конкретно — к высоковакуумным магниторазрядным насосам, предназначенным для вакуумирования объемов в электровакуумных и радиоэлектронных системах, в масс-спектрометрической аппаратуре, при измерении высокого вакуума, в космической технике и технике электрофизических исследований.

Известно устройство магниторазрядного насоса, где подачу высокого напряжения на электрод обеспечивает высоковольтный ввод (1).

Известен магниторазрядный насос, содержащий герметичный корпус, систему электродов, по крайней мере один электроввод и магнит с магнитопроводом (2).

Распыление материала катода, происходящее в процессе работы магниторазрядного насоса, может приводить к образованию проводящих пленок на поверхности изоляторов, что существенно снижает электрическую прочность последних.

Сохранение электрической прочности изоляторов электровводов достигается с помощью системы экранов, предотвращающих прямое попадание распыляемого материала на поверхность изоляторов.

Однако, так как электроввод находится в магнитном поле рассеяния, то в области его расположения может возникать разряд, способствующий напылению проводящего

5 слоя на изолятор.

Данное обстоятельство особенно критпчпо для малогабаритных насосов, так как попытки выноса электровводов нз активной зоны разряда приводят к значительному

10 увеличению размеров и массы насоса.

Целью изобретения является исключение электрических пробоев и утечек по поверхности изолятора электроввода.

Поставленная цель достигается тем, что

15 стенка магнптопровода выполнена с отвсрстием, в котором размещен электроввод.

На фиг. 1 представлен продольный разрез насоса; на фпг 2 — продольный разрез электроввода; на фиг. 3 — поперечный разор рез насоса.

В герметичном корпусе 1 (фиг. 1) смонтирована система электродов 2, закрепленная на высоковольтных электровводах 3.

Изоляторы 4 (фиг. 2) электровводов защищены от прямого попадания распыленного титана пз активной зоны электродов экранами 5 лабиринтной конструкции. Корпус насоса помещен в магнитное поле магнита, состоящего из диполей б (фиг. 3) (N и S), 731493

Формула изобретения

5 фиа.2

Фив.з

Составитель В. Минаков

Техред В. Серякова

Редактор Н. Коляда

Корректоры: Л. Корогод и P. Беркович

Заказ 762/10 Изд. ¹ 290 Тираж 857 Подписное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 изготовленных из магнитотвердого материала и магнитопровода 7, изготовленного из магнитомягкого материала.

Предлагаемое устройство представляет собой магниторазрядный насос, у которого зона размещения изоляторов высоковольтных вводов пересекается стенками магнитопровода, для чего в них имеются отверстия.

При такой конструкции магнитное поле 10 замыкается через стенку магнитопровода.

Таким образом, ликвидируется магнитное поле в зоне изолятора и поэтому не возникает разряд в области изоляторов вводов и соответственно исключается возможность электрических утечек и пробоев из-за отсутствия напыления.

Предлагаемое устройство позволяет повысить надежность и ресурс работы магниторазрядного насоса. 20

Магниторазрядный насос, содержащий герметичный корпус, систему электродов, по крайней мере один электроввод, и магнит с магнитопроводом, отличающийся тем, что, с целью исключения электрических пробоев и утечек по поверхности изолятора электроввода, стенка магнитопровода выполнена с отверстием, в котором размещен электроввод.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Васильев Г. А. Магниторазрядные насосы. М., «Энергия», 1970, с. 81.

2. Конструкторская документация на масс-спектрометр МХ 6202, чертеж

1Г2.969.000 по ТУ 113 394.000 завод электронных микроскопов r. Сумы, 1971 (прототип) .