Центрифуга для нанесения фоторезиста на пластины
751439 кольцевой экран 7, выполнснньш в шще гоф
)ированной сетки, закрепленной при помоди кольца 8. Вращающаяся оправка 3 ус.Яновлена в подшипниках 9, укреплсннь|х в орпусс 1на чертежах не показан}.
Центрифуга работает следующим обра! \ x f
11; астину 4 укладывают на поднятую в ..раннее верхнее положен 1е оправку 8 и
:одключaloT канал 5 к вак,умной сети. Пла Ги:!"; 4 фl1ксирустся На Оправке д, после его Оправ;(а ) оп"c!(BQTcH в крайнее ниж. сс 1...), ожсние. Затем на пластину 4 нано;-т Озу:GTорсзспста в виде капли и вклю:гют = Tc:;.pîrrðHBoä 6. Под дси=твис: цспробстных сил, возника)ощих прп праще
:ип справки 8 с большой скоростью, фото сзист pa теl(acTcH IIB попер lrости и IacTI!
IL Сбрасываемые с НоасрхНосТН обрабаты .Вс.;0v пластины под действием центробеж !
hIx спл излишки фото;езсиста Ilîãëîùàþòñÿ ,.;ря,ом 7. Так как экран 7 выполнен из
î !l)1 l)0!lBH!lo!1 сстк), то IBGTHI;ы фотор— ист; при прохождении через отверстия стк:l тср",þò скорость и осел:.ют на стс1,— (ях сборникя 1 фоторезистя, Откудя Отго;ятся )ерсз штуцер 2 в спс11пальную::.м
:ость на -.сртежах не показано). Если 0Т:.Срстия сетки в месте попа )BH!151 частицы .,юторсзпста окажутся засоренными. то ст)ЯЖСННЬIС ЧЯСТПЦЫ ПОГЛОЩЯЕОТСЯ СОССДНИМ О!1) pr;p0ï :!1! 1ы !i(участком сетки. тя к как трa— ктории пс)ле, :; сбрасываемых с пластины астиц фоторсз) ста 1«1.0лага)отс)! По кассельпой к цилиндрической поверхности .борника 1 фоторсзиста. По ii«T;.сниц оп,еделенного времени электропривод б от.;лючастся, оправка > отключается от вя куумной сети и пластина 4 передается на сл-дующую операцию. Цикл повторяется.
1ь) мсрс засорения отверстий в сеTI(0 кольпс;юго экрана 7 фоторезистом, он вместе с
i:0.H HGì 8 извлекается из сборника 1 фото: аиста и промывается.
Предлагаемая конструкция центрифуги, ля:;!:Cc=-ния фоторсзиста на пласт: ны
1«оп!остью искл!очяет попадание на обрабя
10 сь!,! и .и Т10 пл 11 тину Отраженных От стенок сс)срнпка фоторезиста капель, в то время кяк при нанссснпи фоторез)1ста на центрифуге, принятой за прототип, до 10 /О пласгпи ухо,.ят в бр :к вел -;IGTB: 1 пх 1овсрхность отраженных капель фоторс з:.IcTB. За счет исключения брака Ilo этой причине при 10:lîâîé программе 3 000 000 ";!«THH эконом!1я 0Т использования Одной Прс:lла !!C. ilOr! HC!1Ã;).11) !;i COCTBI)HÒ 01(0 10 20 1 ..1 0 " 1 . в .го;1. ()ормула изобретения Цс:птрифуга для нанесения фоторсзиста 2З::а яс,ины, содержащая сборник фотор«з::cTB, установленную внутри него враП1аю пуюся оправку для закрепления пластины с каналом для подвода вакуума и привоя. î"ëè÷àþùàÿñÿ тем,,что, с целью улучшения качества покрытия, в сборнике фоторсзиста концентрично оправке установлс .-:,:(pair, выполненный в виде гофрирован»;;ii сетки. Источник информации, принятый во внимание при экспертизе: 1. Авторское св)идетльство СССР Мо 358019, кл. В 04 В 5 00, 1970. 751439 фиг.1 =.=и г., Сос-: ави —. е.",в С. Ка:ваганова Редактор H. Спиридонова Те."."ед A. 1ы.винникова Корректор И. Осиновская Заказ 831/1019 11зд,,", . 2 Тираж 673 Подписное ЧПО <Поиск» Государе-венного::о:.: —.:-:;, С".C по зе.чам изобоетен ий и открытий ° Г з-.еит> T;:и.
