Фильтр для очистки газовых потоков

 

е! е.вне л ж теи мг i е 1с м1 свая

О П И СA рл 764703

Союз Советскик

Социалистических

Республик

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. саид-ву - (22) Заявлено 16. 10. 78 (21) 2673490/23-26 (51)М. Кл.3 с присоединением заявки Но

В 01 0 39/14

Государственный комитет

С С С Р. но делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 23.0980, Бюллетень 89 35 (53) УДК66.067.16 (088.8) Дата опубликования описания 260980

B.Ô .Êîðço, !О.М.Рысев и Т.A.Êîëîãðèâîâà (72) Авторы изобретения

Московский авиационный технологический институт им. К.Э. Циолковского (71) 3а яв ит ель (54 ) ФИЛЬТР ДЛЯ ОЧИСТКИ ГАЗОВЫХ ПОТОКОВ

Изобретение относится к конструированию и технологии изготовления компонентов аппаратуры для очистки и легирования газовык потоков с повышенной химической активностью и мо- 5 жет быть использованО в технике для получения материалов из газовой фазы и в технологии газовой очистки.

Известно устройство, в котором очистка паров реагента осуществляет- 1Р ся посредством газовой мелконористой форсунки, в которой одновременно происходит смешение потоков и приготовление рабочего состава реагента |11 .

Недостатком устройства этого типа 15 является отсутствие возможности легирования паров реагента H низкое качество фильтрации паров реагента.

Известен фильтр, состоящий из металлической пористой среды, выпол- 2р ненный в зиле никелевой ленты. Пары реагента пропускают сквозь ленту и фильтруют до требуемой степени очистки (2).

Однако в этом устройстве отсутст- 25 вует возможность одновременного насыщения фильтруемых паров легирующей примесью, а также возможность фильтрации химически активных реагентов из-за газовой коррозии металла фильт-3р

2 г ра и низка степень очистки активных газов, например водорода, из-эа на сыщения газа парами металла фильтра.

Цель изобретения — обеспечение фильтрации и одновременного легирования химически активных газовых потоков

Указанная цель достигается тем, что фильтр для очистки газовых нотоков, содержай1ий пористую металлическую основу и держатель, снабжен слоем из мелкопористого прозрачного диэлек- трика с легирующим покрытием, а дер- жатель выполнен в виде кольца из хи-. мически стойкого материала..

На чертеже схематически изображен фильтр для очистки газовых потоков.

Устройство представляет собой составной фильтр, который выполнен из металлической крупнопористой и диэлектрической мелкопористой орели, и состоит из металлической основы 1, толстого слоя пористого диэлектрика

2 с нанесенным на стенки его пор слоем легирующей примеси 3, а также из установочного керамического кольца

4 с резьбой для закрепления в сечении газового реактора. Стрелками показано направление газового потока при работе фильтра.

-,96 4 7.0 3- "

Формула изобретения

Составитель И, Андросова

Редактор А.Маковская Техред K. Шуфрич Корректор И.йуска

Заказ 6 63/2 Тираж 809 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раущская наб., д.4/5

Филиал ППП"Патент", r.Óæãîpîä,óë.ÏpoåêTíàÿ, Устройство работает следующим образом..

Металлическое кольцо с фильтром герметично устанавливается по сечению газового потока, затем рабочую магистраль нагревают для обеэгаживания и выводят на заданный тепловой режим. Пары. газа-носителя или рабочего реагента.проходят через мелкопористую диэлектрическую среду и насыщаются парами легирующего вещества, например бором. Степень газовой очиСтки и скорость потока определяются размерами пор в диэлектрике, стен-, кй которого покрыты легирующим веществом, и величиной относительной пористости среды. Далее пары проходят через металлическую основу, толщина которой выбирается значитель-, но меньще, чем толщина диэлектрика, и обволакйвают .стенки пор металла, предохраняя его тем самым от газовой коррозии. На стенках пор металла обычно высаживается тонкий слой легирующего вещества, так как из-эа повышенной активности вещества в порах оно возгоняется при нагреве в первую очередь. Этим обеспечивается химйческая защита стенок металлической основы фильтра от газовой коррозии. После этого пары рабочей смеси направляются в реактор, где происходит легирование изделий.

Металлическая пористая основа технологически необходима при изготовлении фильтра, так как она служит механической основой для нанесения более хрупкого диэлектрического мелкопористого слоя фильтра и "без нее невозможно крепление и установка фильтров в оправке. Требования к прозрачности диэлектрика связаны с необходимостью оптической активации диэлектрика с легирующей примесью облучением УФ-излучением для проведения дозированного легирования, так как при УФ-облучении стенок капилляров происходит интенсивная возгонка примеси и резкое увеличение концентрации примесных атомов в газовом поФоке.

Предлагаемое устройство обладает рядом существенных преимуществ по сравнению с известным и может быть использовано в промыаленных установках для легирования в паровой фазе с одновременной фильтрацией газовых

15 потоков рабочей смесИ.

gg Фильтр для очистки газовых потоков, содержащий пористую металлическую основу и держатель, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью фильтрации и одновременного легирования химически активных газовых потоков, фильтр снабжен слоем мелкопористого прозрачного диэлектрика с легирующим покрытием, а держатель выполнен в виде кольца из химиЧески стойкого материала.

ЗО

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Патент Франции Р 2098256, кл. С 22 В 5/00, 1972., 35 2.Морохов И.Д. и др. Дисперсионные методы соединения материалов.Обзоры по электронной технике, вып.3, ЦНИИЭлектроника. М., 1977, с.108-110.