Способ измерения толщины слоев многослойных изделий

 

! «3 . ;,:",) ен -ге,.:.pr ч

1.

", ?.чисто лв.

О П И СА Н И Еi)777404

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Соииапистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 26.12.78 (2!) 2704413/25-28 (51) М.Кл. 6 01 В 7/06 с присоединентлем заявки— (23) Приоритет— (43) Опубликовано 07.11.80. Бюллетень ¹ 41 (45) Дата опубликования описания 04.12.80

Государственный комитет по делам изобретений и открытий (53) УДК 531.717.11:

:620.179.14. (088 8) (72) Авторы изобретения

В. Г. Брандорф, Ю. Н. Кизилов, М, К. Урумов и В. Э. Мазинг (71) Заявитель

Львовский лесотехнический институт (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ СЛОЕВ

МНОГОСЛОЙНЫХ ИЗДЕЛИЙ

Изобретение относится к средствам неразрушающего, контроля и может найти применение при измерении толщины слоев многослойных изделий.

Известен способ измерения толщины стенок полых изделий из немагнитно o MBтериала, заключающийся в том, что на измеряемую стенку изделия помещают преобразователь, а по другую сторону стенки помещают источник магнитного поля, в качестве которого используют магнитный порошок (11.

Однако таким способом мо?кно прогерять лишь однослойные изделия при двустороннем доступе.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является способ измерения толщины слоев многослойных изделий, заклю ".BICIIlIIHcH в том, что при изготовлении изделия между его слоями размещают межслойные элементы, располагают преобразователь на од1лойл нз поверхностей изделия над межслойным элементом и по величине сигнала этого преобразователя судят об измеряемом параметре j21. В качестве межслойных элементов в известном способе используют систему линейных проводников, через которые пропускают переменный ток.

Недостатком известного способа является невысокая точность измерения, вызванная тем, что напряженность магнитного поля в точке наблюдения над линейным про5 водчнком с током определяется не только полем участка этого проводника непосредствсн::о под точкой наблюдения, но и является суммой полей, наведенных соседними участками всего кснтура. Чем ближе этп участки от точки наблюдения, тем суп:,ественней их влияние на величину поля в

=-той точке. В связи с тем, что напряжен ос-.ü поля в рассматриваемой точке над гро."..одниксм является не только функцией расстояния ее от проводника, -.. е. толщины слоя, "o и функцией от конфигурации этого проводника, т е. формы изделия, то это пр водит к существенной погрешности при измерении толщины слоев изделий, о."обенно изделий со сложной простра лстгеннсй конфигурацией, например гребсп.атой, так как градуировочная характеспристика устройства, реализующего указанный способ, различна для разных участков

25 контура при одной и той же толщине слоя.

Целью изобретения является повышение

-.счнссти измерения.

Указанная цель достигается тем, что межслойные элементы выполняют точечнызО ми из ферромагнитного материала, кото777404

Формула изобретения ч; оо

Составитель А. Матвеев

Текред И. Заболотнова Корректор И. Осиновская

Редактор Г. Бельская

Заказ 1470/1477 Изд. № 545 Тираж 810 Подписное

НПО сПоиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

1!3035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент> рые поочередно намагничивают перед измерением и размагничивают по окончании его.

На чертеже показано многослойное изделие, разрез, толщину слоев которого измеряют предлагаемым способом.

Между слоями 1 многослойного изделия размещены точечные межслойные элементы 2 из ферромагнитного материала. Нкладной преобразователь 8 содержит пз меритель 4 параметра поля и источник 5 намагничивающего и размагничивающего поля.

Расположение межслойных элементов 2 и их количество определяются принятой для данной технологии изготовления сеткой допускового контроля толщины.

Способ осуществляется следующим образом.

Накладывают преобразователь 8 на поверхность контролируемого изделия над одним нз ферромагнитных межслойных элементов 2, намагничивают до насыщения данный элемент источником 5 намагничивающе-о поля (например, источником аксиального поля), после чего измеряют измерителем 4 избранный параметр и по величине этого параметра судят о толщине слоя Т,. По окончании измерения элемент размагничивают, например, с помощью того же источника 5.

При соблюдении условий R 7 „;Ъ (Я (R и б — соответственно радиус и толщина ферромагнитного межслойного элемента) величина поля в точке над элементом 2 бу-. дет зависеть только от расстояния между данным элементом и преобразователем 8, то есть от толщины слоя 1.

Поскольку все окружающие элементы 2 находятся в размагниченном состоянии, их влиянием на результат измерения в данной точке можно пренебречь.

Таким образом, положительный эффект заключается в том, что предложенный способ дает возможность измерять толщину слоев многослойных объектов, особенно в случаях, когда эти объекты имеют малые габариты и очень сложную пространственную конфигурацию, например гребенчатую с маль|ми размерами выступов и впадин, 10 а также повысить точность измерения путем устранения влияния рядом располо.кснных межслойных элементов на результаты контроля.

Кроме тото, возможен контроль толщины слоев изделий из цветных металлов в л|обых сочетаниях с диэлектриками

Способ измерения толщины слоев многослойных изделий, заключающийся в том, что при изготовлении изделия между его слоями размещают межслойные элементы, располагают накладной преобразо 25 ватель на однои из поверхностей изделия над межслойным элементом и по величине сигнала этого преобразователя судят об измеряемом параметре, отличающийся тем, что, с целью повышения точности из30 мерения, межслойные элементы выполняют точечными из фер1аомагнитного материала, которые поочередно намагничивают перед пзмерснпем и размагничивают по окончании его.

Источники информации, принятые во внпмани- при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР

¹ 223375,:кл. G 01 В 7/06, 1966.

2, Авторское свидетельство СССР № 619783, кл. G 01 В 7/06, 1977 (прототип).

Способ измерения толщины слоев многослойных изделий Способ измерения толщины слоев многослойных изделий 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области неразрушающего контроля

Изобретение относится к измерительной технике и может найти широкое применение в системах неразрушающего контроля и измерений толщины пленочных покрытий

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля толщины металлических покрытий в процессе их образования, например, на металлических деталях, в частности, при нанесении покрытий из паровой фазы пиролитическим способом

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений в поверхностном слое изделий из металлов и сплавов с различными электромагнитными свойствами

Изобретение относится к неразрушающим методам контроля качества и геометрических размеров изделий и может быть использовано для измерения толщины проводящих покрытий
Изобретение относится к электронной технике и электротехнике и может быть использовано, в частности, в качестве датчиков магнитного поля или тензодатчиков

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины различных покрытий на цилиндрических металлических основах

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно к методам и техническим средствам для контроля толщины твердых и полутвердых защитных покрытий, изоляционных слоев, жировых отложений, смазочных и лакокрасочных пленок на электропроводящей, в частности, металлической основе
Наверх