Устройство для ориентации объектов на плоскости
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВК ВТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик оо780245 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 19.12.77 (21) 2557383/18-21 51) („з с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет—
Н 05 К 13/02
Государствеимый комитет
СССР ио делам изобретений и открытий
Опубликовано 1511..80. Бюллетень № 42
Дата опубликования описания 17.1180 (53) УДК 621. 382. .002(088.8) (72) Авторы изобретения
Р. Э. Курило и К. М. Рагульский (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТАЦИИ ОБЪЕКТОВ
HA ПЛОСКОСТИ
Изобретен ие относится к устройствам для ориентации, преимущественно элементов интегральных схем в технологических установках микроэлектроники и может найти применение в коор- 5 динатных измерительных устройствах, в оптикомеханических инструментах и других устройствах.
Известен линейный шаговый двига.тель, содержащий направляющие, два t0 фиксатора, пьезоэлемент, жестко скрепленный с одним из фиксаторов, который снабжен вторым пьезоэлементом, один торец которого через приводную пленку жестко соединен со вторым торцом 15 первого пьезоэлемента, а другой торец второго пьезоэлемента жестко соединен со вторым фиксаторомКНедостатком известного устройства является небольшие технологические возможности.
Цель изобретенйя — расширение технологических возможностей.
Цель достигается тем, что в устройстве для ориентации объектов на плоскости, содержащем каретку, основание и деформируемые элементы, соединенные с пьезокерамическими преобразователями, деформируемые элементы выполнены в виде ребер, образованных прямоугольным отверстием и параллельными его сторонам пазами, выполненными в основании, причем пьезокерамические преобразователи размещены на боковых сторонах ребер.
На фиг. 1 изображено устройство ,в разрезе, на фиг. 2 - то же, вид сверху (без детали позиции 2) .
Устройство содержит основание 1, каретку 2 и пьезокерамические преоб-. разователи 3, подключенные к генератору при помощи фаэосдвигающих схем (на чертеже не показано). В основании 1 выполнено центральное прямоугольное отверстие 4 и четыре продолговатых отверстия 5, образуя четыре деформируемые; элемента в виде ребер 6, расположенных.в форме прянедостатком этого устройства яв- 2О ляется невозможность осуществления ориентации объекта в плоскости, а лишь линейные перемещения.
Иэ известных технических решений наиболее близким по технической сущности является устройство для ориентации объектов на плоскости, содержащее каретку, основание и деформируе мые элементы соединенные с пьезоI
2 керамическими преобразователями
Каунасский политехнический институт им. Антанаса Снечкуса
780245
Формула изобретения
5 3 3 3
Аг2 моугольника. К ребрам 6 прикреплены пьеэокерамические преобразователи 3,, не менее трех на каждой стороне.
Пьеэокерамические преобразователи 3, прикрепленные на одной стороне реб ра 6, подключены к генератору со сдвигом по фазе на 360 (и — число пьезокерамических преобразователей на одной стороне ребра). Пьезокерамические элементы 3, прикрепленные к противоположным сторонам ребер 6, под« ключены синфаэно. На концах ребер выполнены пазы 7. Каретка 2 фрикционно сопряжена с ребрами 6.
Работа устройства заключается в следующем.
При подключении пьеэокерамических 15 преобразователей 3 к генератору (на чертеже не показано), работающему на частоте продольного резонанса, в реб. ре 6 возникает продольная бегущая ультразвуковая волна, перемещающая Щ каретку 2. Пазы 7 на ребрах служат для гашения отражения волны. Для осуществления перемещения в нужном направлении бегущая волна возбуждается в ребрах 6 параллельных направлению перемещения. Для изменения направления перемещения изменяется направление распространения волны, т.е. на.правление сдвига фазы. Для поворота каретки 2 в противоположных ребрах 6 возбуждаются продольные бегущие волны, распространяющиеся в противоположных направлениях.
Проведенные испытания показали, что устройство хорошо работает при
ВНИИПИ . Заказ 9348/26
Тираж 885 Подписное
Филиал ППП "Патент", r.Óæãîðîä,óë.ÏðîåêTíàÿ,4 размерах основания не менее 1,5 длины ребра, толщине основания »е менее
1/8 длины ребра, толщине ребра не более 0,3 толщины пьезокерамических преобразователей и глубине углублений 0,2 толщины ребра.
Предлагаемое устройство обеспечивает увеличение диапазона перемещений по координатам Х и У до 40-60 мм и поворот по углу на 360б, повышает точность перемещений до 0,02-0,05 мкм и позволяет упростить конструкцию.
Устройство для ориентации объектов на плоскости, содержащее каретку, основание и деформируемые элементы, соединенные с пьезокерамическими преобразователями, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения технологических возможностей, деформируемые элементы выполнены в виде ребер, образованных прямоугольным отверстием и параллельными его сторонам пазами, выполненными в основании, причем пьезокерамические преобразователи размещены на боковых сторонах ребер.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Авторское свидетельство СССР
Р 470030, кл. Н 01 Ч 7/00, 1974.
2. Авторское свидетельство СССР
Р 565004, кл. В 65 Q 27/00, 1975 (прототип).
