Способ контроля однородности удельного сопротивления пластин

 

Союз Советских

Соцналнстнческнх

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ

<1ц792126 (61) Дополнительное к авт. саид-ву— (22) Заявлено 19.12.78 (21) 2701783/25-25 с присоединением заявки No (23) ПриоритетОпубликовано 30.12.80. Бюллетень HB 48

Дата опубликования описания 301280 (51)M, Кл.3

G N 27/82

Государствеммый комитет

СССР

llo делам изобретеиий и открытий (53) УДК 621. 382. (088.8) (72) Авторы изобретения

Ф.В. Лисовский, Е.Г. Мансветова и В.И. Шаповалов

Ордена Трудового Красного Знамени институт радиотехники и электроники АН СССР (71) Заявитель (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ОДНОР

СОПРОТИВЛЕН

Изобретение относится к области исследования материалов с помощью электрических и магнитных средств и может быть использовано при контроле однородности удельного сопротивления проводящих пластин, используемых, например, в качестве подложек полупроводниковых приборов.

Известен способ контроля однородности удельного сопротивления полупроводников и диэлектриков (13, основанный на измерении удельного сопротивления с помощью перемещающегося по поверхности пластины зонда, сиг- 15 нал с которого записывается на магнитную пленку.

Недостатком этого способа является низкое, качество контроля однородности удельного сопротивления, обус- 2р ловленное тем, что сигнал, снимаемый с зонда, зависит от качества и однородности поверхности исследуемых пластин.

Известен также способ контроля од- 25 нородности удельного сопротивления пластин f23 основанный на пропускании через пластину электрического тока и сравнении наблюдаемого изображения с эталонным.

ОДНОСТИ УДЕЛЬНОГО

ИЯ ПЛАСТИН !

1 1(;J

1)

2...........

В этом спОсобе изображение создается инфракрасным излучением, появляющимся при нагревании пластины во время прохождения по ней электрического тока. При этом участки с более высоким удельным сопротивлением нагреваются до более высокой температуры и интенсивнее излучают.

Недостатком этого способа является низкое качество контроля, обусловленное низкой разрешающей способностью из-за сглаживания профиля температуры благодаря высокой теплопроводности проводящих пластин.

Целью изобретения является повышение качества контроля.

Поставленная цель достигается тем, что прикладывают к поверхности пластины с.зазором, обеспечивающим электрическую изоляцию, однородную магнитную пленку, выращенную на прозрачной подложке, помещают пластину и магнитную пленку в однородное магнитное поле, ocBBL$2J3T магнитную пленку через подложку пог:яризованным светом, фиксиру:от о клонения положения и формы границы монодоменной области от эталонных при изменении величины однородного магнитного поля и

79? 12 6

Формула изобретения

ИИПИ Заказ 9431/42 раж 1019 Подписное по oTê»oн" нияM судят оГ> сднородности удельного сопротивления пластины.

На чертеже приведена схема устройства для реализации способа.

Оио содержит исследуемую пластину

1, контакты 2, источник импульсного электрического тока 3, магнитную пленку 4, устройство для создания постоянного магнитного пол- (соленоид) 5, источник постоянного тока 6, для питания соленоида, источник света 7, поляризатор 8, полупрозрачное зеркало 9, поляризационный микроскоп

10.

Пример . Исследовалась неоднородность удельного сопротивления пластин ZnSb толщиной 100 мкм размером 5х10 мм2. Использовалась магнитная пленка граната состава(УСдУЬВi)3 (ГеА1) 0 толщиной 10 мкм, выращенная на подложке из падолиний-паллиевого граната с ориентацией (111)тол- Я шиной 700 мкм. Размер доменов составлял около 5 мкм.

Напряженность постоянного магнитного поля изменялась около величины 100 э. Напряженность магнитного поля возникающего при пропускании импульсов тока длительностью 5 мксек с частотой 1 кГц через исследуемую пластину составляла 10 э. В микроскоп наблюдалась граница монодоменной области, положение и форму которой сравнивали с изображением, полученным на эталонной пластине.

Способ поз воля ет обнаружить н еоднородности, имеющие площадь 1 мкм

Способ контроля однородности удельного сопротивленйя пластин,основанный на пропускании через пластину электрического тока и сравнении наблюдаемого изображения с эталонныМ, отличающийся тем, что, с целью повышения качества контроля, прикладывают к поверхности пластины с зазором, обеспечивающим электрическую изоляцию, однородную магнитную пленку, выращенную на прозрачной подложке, помещают пластину и магнитную пленку в однородное магнитное поле, освещают магнитную пленку через подложку поляризованным светом, фиксируют отклонения положения и формы границы монодоменной области от эталонных при изменении величины однородного магнитного поля и по отклонениям судят об однородности удельного сопротивленияопластины.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 230967, кл. G 01 R 31/26, 1968.

2. Данилин H.Ñ. "Неразрушающий контроль качества продукции радиоэлектрики" Изд-во стандартов, М., 1976, с. 44.

Филиал ППП Патент, r, Ужгород, ул, Проектная, 4