Раствор для электрохимическоготравления металлов

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОИЖОМУ С СТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

oi 171ОЗ е

+.

Ф у (61) Дополнительное к авт. сеид-ву— б (22) Заявлено 050379. (21) 2735801/22-02 (51)M. Кл.З

С 25 F 3/00 .С 25 F 5/00 с присоединением заявки HP (23) ГосударственныЯ комитет

СССР по делам изобретеннЯ

N открытаЯ

Приоритет

Опубликовеио 3Q9 381. бюллетень ИВ 12 (53) Уд (621.035. .44(088.8) Дата опубликования описания . 300Ж1 (72) Авторы изобретения

В.И.Рунтов к Т.A.Íèêóëàåâà (71) Заявитель Куйбышевский политехнический институт им. В.В.Куйбышева

l (54) РАСТВОР ДЛЯ ЭЛЕКТРОХИИИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ

METAJI JIOB

Изобретение относится к электрохимической обработке металлов, в частности к травлению палладиевых покрытий с целью определения их толщины ка латунных изделиях.

Известен раствор для электрохимического (селективного) травления .тонких слоев палладия и золота .в многослойных металлических покрытиях, содержащий хлоркд калия к тиомочЕВину 17 °

Наиболее близким к изобретению по .

-составу компонентов является раствор f2) для электрохимнческого травления металлов, например медиi I5 содержащий, г/л:

Хлорид аммония 100

Хлорид меди 30 Хлоркд калия 200

Соляная кислота 1 20

Однако известные растворы не могут быть использованы.для определения толщины палладневых покрытий, так как тиомочевина и соляная кис- лота способствуют анодной пассквации палладия и эти раствори не могут обеспечить анодное растворение палладиевых покрытий прк толщине более 3-5 мкм. Кроме того, при, .наличии пор в покрытии присутствие 30

2 соляной кислоты в растворе способствует..химическому растворению подложки (латуни), что искажает конечный результат определения толщи- ны покрйтия.

Цель изобретения — повышение точности определения толщины палладиевых, покрытий без растравливания латунной основы.

Поставленная цель достигается тем, что раствор содержит указанные компоненты при следующем соотновге- . ник, г/лг

Хлорид аммония 85-95

Хлорид меди 120-140

Процесс травления рекомендуют проводить при комнатной температуре (15-30оС) и анодной плотности тока 10 3 A/ммй.

Водные растворы хлорида меди нестойки при хранении, подвергаясь гидролизу, образуют осадки основных солей меди, что приводит к нестабильности состава раствора и ухудшению воспроизводимости результатов при определении толщины палладиевых покрытий. С целью устранения этого нежелательного явления s состав раствора вводят стабилизирую щую добавку в виде хлоркда аммония, 817103

4 найденные значения содержания меди и хлорида аммония в растворе отличаются от расчетных на величину, не превыаающую ошибку анализа (не более 0,1-0,2 г/л) .

Определение толщины палладиевого покрытия приводят анодно-полярографическим или кулонометрическим методом.

В данном растворе растворение подложки не происходит, так как она находится в пассивном состоянии к раствору.

Изобретение проиллюстрировано несколькими примерами, представленными в таблице (определение толщины

З покрытий проводят стандартным методом с использованием электролитической ячейки-датчика с диаметром контакт ного отверстия 0,8 ьви и полярографа

LP-7, толщину покрытия перед испъГ-

30 танием устанавливают весовым методом по привесу). которая обеспечивает практически неограниченную стойкость раствора за счет подавления процесса гидролиэа хлорида меди в водном растворе.

Для приготовления одного литра раствора берут двУхслойную соль хлорида меды в количестве 120-140 г в пе- ресчете на безводную соль, добавляют ,85-95 г хлорйда аьвюония и всю смесь растворяют в дистиллированной воде . в количестве до 1 л. После полноГо растворения солей полученный раствор при необходимости отфильтровывают от механических примесей. Все операции по приготовлению раствора производят при обычной (комнатной ) температуре.

Раствор стабилен в течение длительного времени: раствор подвергали контролю в течение трех месяцев с промежутками через 10 дней на содержание. меди и хлорида аммония, Толщина анодно-полярографическим методом, мкм

Толщина весовым методом мкм

Стандартное. отклонение реднее значение толщиныi мкм

Состав раствора, г/л

1,95 1,95

3,85 4,00

2,10

2,15 2,06

3,95 3,90

7, 10 7,05

2,0

Хлорид

О, 12

2,15 меди 120

6,9

0,08

3,90

3,80

7,00 7,05 7,10

0,05

7,00

Хлорид аммония 85 12, 9

12,90 12, 84 О, 08

18, 30 18 f 23 0,07

12,80 12,75

12,85

18,25

12,90

18,15

1В 0 18,30 18,15

Хпорид меди 130

1,95 2,06 О, 10

2,15

2,10

1,95

2,0 2,15

3,95

3,9 3, 80 Зр75

7,00 7 00

0,11

6,9 7,15 6,95 6,90

7,10

l2, 70 12, 80 12, 85

12,75 12ф81 0,10

l8,20 18, 17 О, 10

18, 30 18 15 18 25

18,ОО . iS,ОО

Хлорид меди 140

2 ° 0210215

3 9 3,66 3 75

6 9 7 20 7 30

1 90

0,09

3,70 Зф69

3,80

3,60

7, 30 7,28

0,06

7,35

7,25, Хлорид аммония 95 12,9

12, 70 12, 80, 13, 00

18, 35 18, 10 18, 19

0,14

18, 30

18,0 18,20 18,00

Хлорид аммония 90 12,9 12,95

3,90 4,00 3,88 0,10

2,20 1,90 2,05 О, 14

12,70 1305 12„85 0,13

817103 формула изобретения

Составитель Н.Сердюк

Редактор A.Ëåæíèíà Техред И.ковдр ева Корректор Л.Иван

Заказ 1253/35 Тираж 704, Подписное .

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035,Москва,Ж - 35, Раушская наб.,д.4/5

Ю «е «е

Филиал "ППП" Патент, r.Óæãîðîä, ул. Проектная, 4

Использование предлагаемого иэоб1 ретения позволяет довольно точно и достоверно определять толщину пок.рытия, что способствует более строгому контролю расхода дорогостоящего металла. Раствор прост по составу, дешев, нетоксичен, стабилен в работе.

Раствор для электрохимического травления металлов, содержащий хлоркды аммония и меди, о т л и ч а— ю шийся тем, что, с целью повышения точности определения толщины палладиевых покрытий без растравливания латунной основы, он содержит укаэанные компоненты при следующем соотношении, г/л:

Хлорид амвюния 85-95 .

Хлорид меди 120-140

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

lO IO 564328,. кл. С 25 P...З/00, опублик.

1977.

2. Патент ФРГ 1 756649, кл. 48а 3/02,опублик. 1951.