Электроннооптическая система

 

ЭЛЕКТРОННООПТИЧЕСКАЯ СИСТЕМА, содержащая источник заряженных частиц, систему электронных линз и устройство изменения апертуры пучка, выполненное в виде пластины с отверстиями, отличающаяс я тем, что, с целью упрощения -• конструкции и повышения оперативное» ти настройки и юстировки, по ходу пучка симметрично относительно плоскости пластины установлены последовательно включенные электромагнит- ,ные отклоняющие системы.

„„SU„„839412

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

Э(Я) Н 01 1 37 04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

H АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 2775750/18-21 (22) 04.06.79 (46) 07.02.83. Бюл. Р 5 (72) К.А.Макаров, О.П.Братов, Л.Ф.Вяль и В.И.Морозов (53) 621.385.833(088.8) (56) 1. Деркач В.П. ч др. Электроннозондовые устройства, Киев, Наукова думка, 1974, с.166-183.

2 ° Пилянкевич А..Н., Климовицкий А,М. Электронные микроскопы, Киев, Техника, 1976, с.79-81 (прототип). (54) (57) ЭЛЕКТРОННООПТИЧЕСКАЯ CWCTEMA, содержащая источник заряженных частиц, систему электронных линз и устройство изменения апертурыпучка, выполненное в виде пластины с отверстиями, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения оперативнос ° ти настройки и юстировки, по ходу пучка симметрично относительно плоскости пластины установлены последовательно включенные электромагнитные отклоняющие системы.

839412

Составитель В.Гаврюшин

Редактор Е.Зубиетова ТехрбдN.Надь КорректорИ.Демчик

Заказ 6290/1 Тираж 701 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к области электронной микроскопии и может быть использовано в различных электроннозондовых устройствах.

Известны электроннооптические системы (ЭОС),. в которых апертура пучка задается с помощью неподвижной пластины-диафрагмы с центральным отверСтием (1 ). Их недостатком является однорежимность по сечению пучка, что заметно снижает функцио- 10 .нальные возможности прибора.

Указанный недостаток устранен в ЭОС снабженных подвижными диафрагмами с рядом различных отверс тий (2 ). Однако использование подвижных диафрагм сопряжено со значительным усложнением конструкции прибора в целом и требует больших затрат времени на настройку и юстировку ЭОС.

Целью изобретения является упрощение конструкции и повышение оперативности настройки и юстировки электроннооптической системы.

Поставленная цель достигается тем, что в электроннооптической системе, содержащей источник заряженных частиц, систему электронных линз и устройство изменения апертуры пучка, выполненное в виде пластины с отверстиями, по ходу пучка, симметрич- 3М но относительно плоскости пластины установлены последовательно включенные электромагнитные отклоняющие системы.

Па приведенном чертеже представ- 35 лена схема электроннооптической системы.

Электроннооптическая система содержит: источник 1 заряженных частиц, например, электронную пуш- 4п ку, одну или несколько предварительных электронных линз 2, устройство для изменения апертуры пучка, которое состоит из пластины 3 с отверстиями, неподвижно установленной относительно оптической оси ЭОС и электромагнитных отклоняющих систем 4,5, установленных симметрично по обе стороны пластины 3 относительно плоскости пластины, конечную формируюшую линзу 6 и исследуемый образец 7.

Электроннооптическая система работает следующим образом.

Пучок заряженных частиц, сформированный электронной пушкой 1, и предварительными линзами 2, попадает в устройство изменения апертуры пучка, где первая электромагнитная отклоняющая система 4 направляет пучок в одно из отверстий плас тины 3, вторая электромагнитная отклоняющая система 5 возвращает пучок на оптическую ось системы, далее пучок, сформированный конечной формирующей линзой 6 попадает на ис следуемый образец 7. Смена и юстировка задающих апертуру пучка отверстий в пластине осуществляется изменением величины тока в отклоняю щих электромагнитных системах, вклю ченных последовательно.

Описанная конструкция электронно оптической системы позволяет сущест венно повысить оперативность настройки и юстировки колонны ЭОС, так как смена задающих апертуру пучка отверстий в пластине осуществляется только переключением тока в отклоняющих электромагнитных системах. Исключение из состава колонны ЭОС системы механизмов перемещения пластины с отверстиями относительно оптической оси позволяет упростить конструкцию системы, "охранить целостность магнитопроводов и не нарушать тем самым симметрию магнитного поля линзы,