Ультразвуковой способ контролякачества многослойных изделий
ОП ИCÀÍÈЕ 842567
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советскик
Социалистических республик
К АВТОРСК©МУ СВ Н ЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное Ic авт. саид-ву (22) Заявлено 280479 (23) 2760391/25-28 Р1)М. Кл. с присоединением заявки Йо(23) приоритет
G 01 N 29/04
Государственный комитет
СССР по делам изобретений и открытн и (53) 3ГДК 620.179. . 16 (088,8) Опубликовано 3006,81. Бюллетень Й9 24
Дата опубликования описания 30р6,81
/ (72) Авторы изобретения, 1
В.М. Колешко и A.Â. Гулай
Институт электроники AH Белорусской ССР
/ (71) Заявитель (54) .УЛЬТРАЗВУКОВОЙ СПОСОБ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА многослойных изДелиИ
Изобретение относится к неразрушающим испытаниям и может быть использовано для контроля качес ва полупроводниковых приборов и интегральных 5 микросхем.
Известен способ контроля шероховатости поверхности изделий, заключающийся в том, что на контролируемую поверхность устанавливают преобразо- О .ватель, возбуждают его радноимпульсами и определяют резонансную частоту преобразователя до получения максимального значения амплитуды их .огибающей f11.
Недостатком известного. способа . является низкая точность контроля, так как контроль ведут на низких резонансных частотах.
Наиболее близкий к предлагаемому ультразвуковой способ контроля ка- 2© чества многослойных изделий заключается в том что в изделии возбуж« .дают поверхностные волны различных частот, принимают прошедшие через, изделие колебания, измеряют информативный их параметр и по его производной судят о качестве изделий (2), Недостатком данного способа также является низкая точность контроля,,так как на точность определения 30 минимального значения производной амплитудно-частотной характеристики .поверхностных волн оказывает влияние. невоспроизводимость качества акустических контактов между поверхностью образца и преобразователями. цель изобретения — повышение точности контроля.
Поставленная цель достигается тем, что за информативный параметр принимают коэффициент нелинейных .искажений поверхностных волн.
На фнг.,l представлена блок-схема устройства, реализующего способ; ,на фиг. 2 — график зависимости коэффициента от частоты.
Устройство содержит генератор 1 электрических колебаний, модулятор 2, излучающий преобразователь 3; приемный преобразователь 4, усилитель
5,. измеритель 6 нелинейных искажений, индикатор 7 и дифференцирующий блок 8.
Способ осуществляется следующим
;образом.
С помощью генератора 1 электрических колебаний возбуждают в образце поверхностные волны различных частот, С помощью приемного преобразова, теля 4 осуществляют прием этих волн.
842567
Формула изобретения к
Kg
Ф
К
94и 1
Составитель Л. Лущенко
Техред Е.Гаврилешко . КорректоР Ю. Макаренко
Редактор A. Маковская.Тираж 907 Подписное
ВИИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Заказ 5070/48
Филиал OHG Патент, г. Ужгдрод, ул. Проектная, 4
Электрические колебания с выхода преобразователя поступают через усилитель 5 на измеритель 6 нелинейных искажений.
Используемый в качестве информативного параметра коэффициент нелинейных искажений поверхностных волн вычисляется по формуле
Ъ
Ц ЙА к
16
А„ где А<- амплитудное значение первой гармоники поверхностной волны
А. - амплитудное значение 1 гармоники.
15 ..Сигнал, пропорциональный коэффициенту К, подается на один вход индикатора 7, на другой вход которого поступает сигнал, пропорциональный
К с выхода дифференцирующего блока Я
8, где К - производная коэффициента нелинейных искажений .
С помощью модулятора 2 осуществляется изменение частоты выходного напряжения генератора 1. 25
Предлагаемый способ позволяет повысить точность контроля многослойных изделий.
Ультразвуковой способ контроля качества многослойных изделий, заключающийся в том, что в иэделии возбуждают поверхностные волны различных частот, принимают прошедшие через изделие колебания, измеряют информативный их параметр и по его производной судят О качестве иэделий отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, за информативный параметр. принимают коэффициент нелинейных искажений поверхностных волн.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1.,Авторское свидетельство СССР, Р 418791, кл. а 01 М 29/04, 1973.
2. Авторское свидетельство СССР
Р 658468 кл. G 01 N 29/04, 1977 (прототип)-;
