Устройство для измерения удельногосопротивления по сопротивлению pacte-кания
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к ввт. сеид-ву— (22) Заявлено 040179 (21) 2705617/18-21 с присоединением заявки Й9(23) Приоритет—
Опубликовано 15.07.81.Бюллетень Ì9 26
Дата опубликования описания 1507.81 (Я)М. КЛ
Н 01 Ь 21/00
Государственный комитет
СССР но делам изобретений и открытий (53) УДК 621. 385. ,002. 54 (088. 8) (72) Авторы изобретения
П.И.Кутовый,Е.A.Âoëêoâ,Í.È.Ñìåíîâ и Ю.Н.Б ри (71) Заявитель (54) УCTPOACTBO ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО
СОПРОТИВЛЕНИЯ ПО СОПРОТИВЛЕНИЮ
РАСТЕКАНИЯ
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля распределения легирующей примеси по поверхности и глубине полупроводниковых структур.
Наиболее близким к предлагаемому является устройство для измерения, содержащее держатель зондовых голо - вок, механизм перемещения зондов, микроскоп и предметный столик с механизмом юстировки (1).
Однако известное устройство не обеспечивает высокой точности измерения.
Пель изобретения — повышение точности измерения.
Укаэанная цель достигается тем, что в устройстве для измерения удельного сопротивления по сопротивлению растекания, преимущественно для изме- 2О рения профиля распределения удель-: ного сопротивления по сферическому или цилиндрическому шлифу полупроводниковых структур, содержащем держатель головки, механизм перемещения зондов, микроскоп и предметный столик с механизмоМ юстировки, последний снабжен вогнутой цилиндрической опорой с подвижно установленным на нем выпуклым цилиндрическим i ЗО сегментом, с возможностью угловых перемещений перпендикулярно плоскости, проходящей через точки контактирования зондов со сферической или цилиндрической поверхностью шлифа измеряемой, структуры и совмещенной с оптической осью микроскопа.
На чертеже схематически изображено устройство для измерения удельного сопротивления, общий вид.
Измерительный зонд 1 закреплен в держателе зондовой головки 2, шарнирно установленной на механизме 3 пере- мещения зонда. Образец 4 со сферичес.ким или цилиндрическим шлифом 5 установлен на.площадке клинообразного компенсатора б, имеющего возможность перемещаться по наклонной направляющей выпуклого цилиндрического сегмента 7,опирающегося на вогнутую цилиндрическую поверхность опры 8, установленной на основанги 9 предметного столика. Перемещения компенсатора б, сегмента 7, опоры 8 осуществляются соответственно посредством приводов
10, 11, 12. Над зондом установлен микроскоп 13, имеющий в поле зрения перекрестке.
Снятие профиля распределения удельного сопротивления по глубине полупро847403
Формул а изобретения
ВНИИПИ Заказ 5512/80 Тирам 784 Подписное
Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4 водниковой пластины производится следующим образом.
Площадка клинообразного компенсатора б высталяется в горизонтальное положение. На площадку устанавливают образец 4 со шлифом 5. Приводами 10, 11, 12 регулируется положение рабочей поверхности столика до совмещения центра симметрии шлифа в плане с оптической осью микроскопа 13 (центром перекрестия) и установки изображения низшей точки шлифа, с которой контак- ( тирует зонд, на максимальную резкость, при этом обеспечивается совмещение центра сферической или оси цилиндрической поверхности шлифа с геометрической поверхности выпуклого сегмен- 5 та 7.
Использование предлагаемой установки для измерения удельного сопротивления по сопротивлению растекания обеспечивает по сравнению с известны- щ( ми установками по данным метрологоческих исследований повышение точности измерений.
Погрешность измерения составляет
+ ЗОВ при доверительной вероятности
5,95 при нагрузке на зонд 4 r (для сверхтонких слоев) °
Устройство для измерения удельного сопротивления по сопротивлению растекания, преимущественно для измерения профиля распределения удельного сопротивления по сферическому или цилиндрическому шлифу полупроводниковых структур, содержащее держатель зондовых головок, механизм перемещения зондов, микроскоп и предметный столик с механизмом юстировки, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерения, механизм юстировки снабжен вогнутой цилиндрической опорой с подвижно установленным на нем выпуклым цилиндрическим сегментом с возможностью угловых перемещений перпендикулярно плоскости, проходящей через точки контактирования зондов со сферической или цилиндрической поверхностью шлифа измеряемой структуры и совмещенной с оптической осью микроскопа.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Инструментальный микроскоп
VEB CarI 3eiss JENA.ÎïèñàHHå конструкции, 1975.
