Радиометрический манометр

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союа Советских

Соцналистичвских

Реслублнк

К АВТОРСКОМУ СВИ ИТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву Р 537276 (22) Заявлено 100180 (21) 2867012/18-10 с присоединением заявки М (51)М. Кл З

G 01 L 2 1/26

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 070981, Бюллетень М 33

Дата опубликования описания 070981 (53) УДК 531. 788 (088. 8) (72) Авторы изобретения

В, H. Войцов, B. B. Иванов, i0. Э

:и.:.В. B. Румянцев

Московский ордена Трудового Крас институт химического машиностроения (71) Заявитель (54) РАДИОМЕТРИЧЕСКИЙ МАНОМЕТР

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности, к вакуумной метрологии, может быть использовано для измерения степени разрежения газа и является усовершенствованием известного радиометрического манометра, описанного в авт.св.

Р 537276.

В основном изобретении по авт.св.

9 537276 описан радиометрический манометр, содержащий корпус со штенгелем и ловушкой, по оси которого в полусферическом подпятнике на игольчатой опоре установлена вертушка с многослойными приводными лопастямиз при этом одна из наружных поверхностей лопастей покрыта слоем ферромагнитного материала, а другая слоем немагнитного. В ловушке, заполненной жидким азотом, размещен индуктор токов высокой частоты, связанный с генератором(1).

При нагреве токами высокой частоты ферромагнитных слоев приводных лопастей из-за возникновения радиометрических сил вертушка начинает ,вращаться, и число ее оборотов, яв.ляющееся функцией от количества молекул остаточного газа в объеме корпуса, характеризуют уровень вакуума в объеме, соединенном штенге- лем с корпусом манометра.

При высокой чувствительности и точности известного манометра на его показания влияют дефекты, возникающие в процессе эксплуатации (износ подшипниковой пары, возникновение микротрещин, загрязнение мест контакта опоры и подпятника).

Цель изобретения — устранение ука- занного недостатка, Эта цель достигается тем, что манометр по авт.св. Р 537276 снабжен дополнительной вертушкой с игольча15 той опорой, установленной на подпятнике основной вертушки соосно над ней, пои этом число приводных лопастей дополнительной вертушки меньше, чем у основной.

20 На чертеже схематично изображен продольный разрез описываемого мансжетра.

Радиометрический манометр содержит стеклянный корпус 1 со штенгелем 2 для присоединения к откачивае мому объему и ловушкой 3, заливаемой жидким азотом. По оси корпуса 1 на игольчатой опоре 4 размещен подпятник 5 вертушки 6 с мнргослойныли

30 приводными лопастями. В ловушке 3

862008 дельно допустимые границы, зафиксирует выход манометра иэ строя.

При измерениях предложенным радиометрическим манометром предварительно контролируют коэФфициент рассогласования и, убедившись в его соот. ветствии с тарировочной величиной, производят измерение вакуума путем измерения числа оборотов основной вертушки и пересчета полученного результата по тарировочной кривой зависимости числа оборотов от уровня ва« куума.

Такое выполнение манометра позволит исключить снятие ложных пока- заний, вызванное эксплуатационньэаи

15 дефектами.

При наличии в корпусе 1 вакуума, после заливки в ловушку 3 жидкого азота и включении генератора 9, индук-. тор 7, нагревая ферромагнитные слои

" приводных лопастей вертушек 6 и 11, благодаря радиомвтрическому эФфекту приводит последние во вращение.

При этом из-эа различного числа приводных лопастей и деФектов, обусловленных неидентичностью изготовления опор и подпятников, геометричес- ;щ кими факторами и т,п., вертушка 6 при одном и том же уровне вакуума вращается с большим числом оборотов, чем вертушка 11.

Отношение К = о", определяемое т о K как коэффициент рассогласования, не зависит от уровня вакуума и является величиной, постоянной для данного ма» нометра и зависящей от точности изготовления вертушек и опор.

При возникновении деФектов, вы- ЗО званных длительной эксплуатацией, перегревом, механическнми поврежпениями, коэффициент рассогласования изменит свое значение и, перейдя эа преФормула изобретения расположен индуктор 7, связанный приводами 8 с генератором 9 токов

Высокой частоты. В верхней части подпятника 5 на игольчатой опоре 10 установлена дополнительная вертушка

11, у которой число приводных лопастей меньше, чем у основной вертушки 6.

Манометр работает следующим образом.

Радиометрический манбметр по авт.св. В 537276, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью обеспечения возможности фиксации выхода манометра нз строя, он снабжен до полнительной вертушкой с игольчатой опорой, установленной на подпятнике основной вертушки соосно над ней, при этом число приводных лопастей дополнительной вертушки меньше, чем у основной.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 537276, кл. 4 01 L 21/26, 1975 (прототип).

ВНИИПИ Заказ 6533/37

Тираж 907 Подписное

Филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная, 4