Позитивный фотокопировальный лак
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советсмма
Соцмалмстмчесима
Республми
<»>86210? (6l ) Дополнительное к авт. свил-ву— (22) Заявлено 11.10.73 (21) 1964202/23-04 (23) Приоритет .. (32) 19.06.73 (31) WPC090/171848 (33) ГДР
Р1) М. Кл.
G 03 С 1/52
Ркударстинньй камнтет
СССР
IIo A@IBM нза4ретеинй н открытий
Опубликовано 07.09.81. Бюллетень № 33
Дата опубликования описания 07.09.81 (53) УЙК 771,5 (088.8) (72) Автор изобретения
Иностранец
Герлинд фон Левис оф М (ГДР) Иностранное предпри
"ФЕБ Фотохемише Верке Ье (ГДР) (7l) Заявитель (54) ПОЗИТИВНЫЙ ФОТОКОПИРОВАЛЬНЫЙ
ЛАК
СН (»p т ма
30gNe
" -" Ск
"ЫО
СН3
ФО
Изобретение относится к позитивным фотокопировальным лакам, которые используются в фотолитографических процессах изгоТовления печатных плат и полупроводниковых изделий в радиотехнической и электронной промышленностях.
Известен позитивный фотокопировальный лак, включающий продукт осаждения сульфированного новолака или полистиролсульфокислоты и соли диазония, м-креэолформальдегидный новолак, пластификаторт краситель и растворитель (1).
Недостатками этого фотокопировального лака являются низкая стойкость нри хранении и малая адгезия к подложкам. ld
Целью изобретения является повышение стойкости лака при хранении и повышение адгезии лака к подложке.
Поставленная цель достигается тем, что известный позитивный фотокопировальный лак, включающий продукт осаждения сульфированного новолака или полистиролсульфокислоты и соли диазония, м-крезолформальдегидный новолак, пластификатор, краситель и растворнтель, дополнительно содержит одно из соединений общих формул (1) или (11) или (111):
З1 (ЗО,Н) 2 У (x) где В и R> - водород, оксн- или аминогруапв;
Н вЂ” алкильный остаток с С,т-С, m — 1или 2;
n — т-4, 862107
10 — 15
0,3-0,5
0,1 — 0,5 10
40 причем компоненты лака взяты в следуюп1ем соотношении, вес.ч.:
Продукт осаждения сульфиро. ванного новолака или полистиролсульфокислоты и 5 соли диазония 4 м-Креэолформальдегидный новолак
Пластификатор
Краситель
Соединение формулы (I) или (П) или (Г11) 0,04-0,1 расти оритель 85-90
В качестве соединений (I), (11), (III)
15 предложенный лак может содержать следующие соединения:
1;аминонафтол-2-сульфокислота-5;
1-аьанонафтол-2-сульфокислота-6;
1-аминонафтол-2-сульфокислота-7;
1-аминонафтол-2-сульфокислота-8;
1-аминонафтол-4-сульфокислота-5,6 — 7-8;
2-аминонафтол-1-сульфокислота-5,6, 7 8;
Ю
2-аминонафтол- 1-днсульфокислота-5, 7;
1-аминоиафталинсульфокислота-5;
4-аминонафталинсульфокислота-5;
2-аминонафталинсульфокислота-5;
2-аминонафталинсульфокислота-6, 8;
Продукты конденсации из 1-н-бутилнафталинсульфокислоты-4 и формальдегида:
30 м-креэол (м- крезосульфофталеин) пурпурный; и-ксиленол (п-ксиленолсульфофталеин) синим, бромхлорфенол (дибромдихлорфенолсульфофталени) синий; бромкреэол (3, 3, 5, 5 -тетрабром-m-кре- золсульфофталеин) зеленый; хлорфенол (днхлорфенолсульфофталеин) красный; бромфенол (дибромфенолсульфофталеин) красный; бромкрезол (5, 5-дибром-0-крезолсульфофталеин) пурпурный; .«ол (тимолсульфофталеин) синий; бромтимол (дибромтимолсульфофталеин) синий.
В качестве пластификатора предложенный лак может содержать касторовое масло, в качестве растворителей- этилгликоль, ацетон, в качестве красителя — основной фиолетовый
50 и другие обычно используемые соединения.
Пример 1. Готовят лак следующего состава> вес. ч.:
Продукт осаждения хлороцинк ата п-.диэтиламинобензолдиазония и сульфированного новолака 4
Этмленгликоль 45
Ацетон 40
4 м- Крезолформальдегидный новолак
Касторовое масло
Основной фиолетовый
2-Аминонафталиндисульфокислоты-5,7 (сухое вещество или 6,7 ный раствор 7,2 г кислоты в 100 мл воды) 1 1
0,4
0,2
0,04
Продукт осаждения соли диазония растворяют в этилгликоле, а новолак-в ацетоне. Оба раствора соединяют и смешивают с остальными компонентами Готовый к употреблению позитивный фотокопировальный лак при хранении в холодном защищенном от света месте в коричневых стеклянных бутылках показывает приблизительно в 3 раза большую стойкость при хранении, чем известный образец, который не содержит 2-аминонафталиндисульфокислоты.
Кашированные медью проводниковые пластины, которые при помощи обычных методов для изготовления печатных схем покрывают. этим лаком, экспонируют в соответствии с оригиналом и проявляют, получают изображения с четкими краями без отслоенных или провалившихся участков.
Пример 2. Готовят лак по примеру 1, но вместо 2- аминонафталиндисульфокислоты-5,7 добавляют одинаковое количество 2-аминонафтол-1-сульфокислоты-5 в виде раствора или в твердой форме.
Пример 3. Готовят лак по примеру
1, но вместо 0,04 вес.ч. 2-аминонафталиндисульфокислоты-5,7 добавляют 0,08 весл. тимолового синего.
Пример 4. Готовят лак по примеру 1, но вместо 0,04 вес.ч. 2-аминонафталиндисульфокислоты-5,7 добавляют 0,08 вес.ч. крезолового красного. Полученный таким путем narc npu хранении в коричневых стеклянных бутылках в холодном, защищенном от света месте показывает в 3 раза большую стойкоть> чем сравнительные образцы без стабилизатора (крезолового красного). Кашированные медью полупроводниковые пластины, которые при помощи обычных методов для изготовления печатных схем покрывают этим лаком, экспонируют в соответствии с оригиналом и проявляют, изображения при этом получают с четкими краями беэ отслоенных или провалившихся участков.
Пример 5. Готовят лак состава, вес.ч.:
Продукт осаждения п-морфолииобензодиаэонийборфторида и сульфированного новолака 4
Этиленгликоль 45
Ацетон 40
862107
2 80Ра
$0>Na
СК, СН 6 ьюк
5 м- Креэолформальдегилный новолак 12
Касторовое масло 0,4
Основной фиолетовый 0,2
Продукт конденсации 1-п5
-бутилнафталинсульфокислоты-4 и формальдегида, растворенного в небольшом количестве метанола 0,1
Переработку этих компонентов в готовый к упортеблению лак производят аналогично примеру 1. После хранения в течение 8 мес. при температурах ниже +15 C этим лаком покрывают пластины из меди, хрома и алюминия, экспонируют и проявляют. Полученные таким путем иэображения имеют резкие края и не имеют отслоенных или провалившихся участков, При обработке триметаллических пластин (хром/цинк/медь), которые применяют в графической технике, последующим травлением получают печатные формы высокого качества.
П р н м е р 6. Готовят лак по примеру 5, но вместо 0,1 вес. ч. продукта конденсации
1-и-бутилнафталинсульфокислоты-4 и формальдепща добавляют 0,05 вес. ч. 1-.аминонафтол-2-сульфокислоты-5 в виде водного раствора или в твердой форме.
Пример 7. Готовят лак по примеру 5, но вместо 0,1 вес.ч. продукта конденсации
1-и-бутилнафталиисульфокнслоты-4 и формальцегида добавляют 0,05 вес.ч. 1-аминонафтол-4-сульфокислоты-8 в виде водного раствора или в твердой форме.
Пример 8. Готовят лак состава, вес.ч.:
Продукт осаждения хлорцинката и-диэтиланобензолдиазония и нолистиролсульфокислоты
Этиленгликоль
Ацетон м- Крезолформальдегидный
40 нов олак 10
Касторовое масло 0,3
Основной фиолетовый 0,2
2-Аминонафтол-1-дисульфокислцта-5,7 0,5 45
Переработку этих компонентов в готовый к употреблению лак производят аналогично примеру 1. После хранения в защищенном от света месте пРи темпеРатУРах ниже +15оС в течение 10 мес. этим лаком покрывают пластины иэ меди, хрома и алюминия, экспонируют и проявляют. Полученные таким путем изображения имеют резкие края беэ отслоенных или провалившихся участков изображения.
Пример 9. Готовят лак состава, вес. ч.:
Продукт осаждения и-морфолинобензолдиазонийборфторида и сульфированного новолака 4
Этнленгликоль 48
Аи-тон 42 м-. Крезолформалъдегидный новолак 1S
Касторовое масло 0,5
Основной фиолетовый 0,3
2-Аминонафталиндисульфокислота -6,8 0,08
Переработку этих компонентов в .готовый к употреблению лак производят аналогично примеру 1; После хранения в защищенном от света месте при температуре ниже +15 С в теФ чение 8 мес. этим лаком покрывают кашированные медью проводниковые пластины обычными методами, экспонируют за opnrmгл;ч и проявляют. Полученные таким путем рельефные изображения имеют резкие края беэ отслоенных или провалившихся участков.
Пример 10. Готовят лак по примеру
9, но вместо 0,08 вес.ч, 2-аминонафталиндисульфокислоты-6,8 добавляют 0,06 вес.ч. бромкрезолового зеленого, Лак, полученный по примерам 1 — 10, имеет в 3 раза большие стойкость при хранении и прочность сцепления по сравнению с известным лаком, Формула изобретения
Позитивный фотокопировальный лак, включающий продукт осаждения сульфированного новолака или полистиролсульфокислоты и соли диазония, м-крезолформальдегидный новолак, пластификатор, краситель и растворитель, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения стойкости при хранении и адгеэии к подложке, он дополнительно содержит одно из соединений общих формул (2) или (II) или (И1).
З1 (6о,и) (>
10,00 — 15,00
0,30 — 0,50
0,10-0,50
Составитель А. Круглов
Редактор H. Потапова Техред С. Мигунова Корректор С Ро о
Заказ 6609/42 Тираж 506 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретении и открытий
113035. Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4
7 862107 8 где я и я — водород, окси- или аминогруппа „м- Крезолформальдегидный новолак и — алкильный остаток С вЂ” С4, Пластифика тор
m — 1 или 2; с
Краситель
Соединение общей формулы причем компоненты взяты в следующем соот0,40 — 0,10 нощении, вес.ч.:
Растворитель 85 00-90,00
Продукт осаждения сульфи- Источиики информации, роваиного новолака или поли- принятые во внимание прн экспертизе стиролсульфокислоты m соли 1о 1 Патент ГДР 1Р 69262, кл, 57 d 2/01, диазония 4,00 опублик. 1969 (прототип) .
