Волноводный измерительный преобразователь

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советсинк

Социалистичесиии

Рес убл и 873061 (6I ) Дополнительное к авт. саид-ву 11 589571 (22) Заявлено ) 5.08. 79 (21) 2820986/18-09 с присоединением заявки М— (23) Приоритет

Опубликовано 15.10.81. Бюллетень Ря 38

Дата опубликования описания 1 7. 10.81 (5! )М. Кл.

О 01 И гг/00

Ркуаарстеапе11 квинтет

СССР ао аелаи язевретенкк н ютериткв (53) УЛК 621.317. .39 (088.8) (72) Авторы изобретения

С.Ю. Русманнс, М.К. Дагилис, В.М. Поринь и 1З.К. Григулис

1 с

Физико-энергетический институт АН Латвийской CCP ! (71) Заявитель (54) ВОЛНОВОДНЫЙ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ

Изобретение относится к радиоизмерительной технике.

По основному авт.св. N 589571 известен волноводный измерительный преобразователь, содержащий переходной фланец и отрезок волноводного тракта, на конце которого установлена отражающая поверхность 11).

Однако этот волноводный измерительный преобразователь не обеспечивает высокую точность.

Цель изобретения — повышение точности

Поставленная цель достигается тем, что в волноводном измерительном пре13 образователе, содержащем переходной фланец н отрезок волноводного тракта, на конце которого установлена отражающая поверхность, на наружной стороне отражающей поверхности сймиет- рично относительно оси отрезка волновод20 ного тракта выполнен кольцевой паз, соединенный через отверстия с введенной вакуумной камерой. Кроме того, диаметр отверстий не превышает ширину кольце-. вого паза.

На чертеже приведена конструкция волноводного измерительного преобразователя.

Волноводный измерительный преобразователь содержит переходной фпанец

1 и отрезок 2 волноводного тракта, на конце которого установлена отражающая поверхность 3, на наружной стороне которой симметрично относительно оси отрезка 2 волноводного тракта выполнен кольцевой паз 4 и отверстия 5 соединяющие кольцевой паз 4, например, через трубочки 6 с вакуумной камерой 7, при этом диаметр отверстий 5 не превышает ширину кольцевого паза 4.

Волноводный измерительный преобразователь работает следующим образом.

Исследуемая плоская полупроводниковая структура 8 накладывается на отражающую поверхность 3 волноводного измерительного преобразователя, 87306 и в случае полупроводниковой структуры 8 с размерами, превышающими размеры отражающей поверхности 3, в вакуумной камере 7 устанавливается разрежение порядка 0,2 атм . Это позволяет проводить измерения электрофизических параметров полупроводниковой структуры 8 при постоянной силе прижатия и устранить влияние непостоянства зазоров на результаты измерений, возникаю- о щих в случае некачественной поверхности, например, загрязнения или слунайного искривления полупроводниковой структуры 8.

Предлагаемый волноводный измери15 тельный преобразователь по сравнению с известным имеет более высокую точность.

Формула изобретения

1. Волноводный измерительный преобразователь по авт.св. Ф 589571, 1 ф отличающийся тем, что, с целью повышения точности, на наружной стороне отражающей поверхности симметрично относительно оси отрезка волноводного тракта выполнен кольцевой паз, соединенный через . отверстия с введенной вакуумной камерой.

2. Преобразователь по п.1, о тл и ч а ю шийся тем, что диаметр отверстий не превышает ширину кольцевого паза, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

- 589571, кл. G 01 N 23/34, 1977 (прототип) .

Составитель А. Кузнецов

Редактор И. Каоарда Техред Т,Маточка Корректор М. Демчик

Заказ 9019 66 Тираж 910 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР и по делам изобретений и открытий

113035, Москва Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4