Способ удаления загрязнений с поверхности подложек кинофотоматериалов
А. В. Иевченко, IO. И. Лазарев, и В. М. Овсяник (72) Авторы изобретения
ЬЬ
В
Специальное конструкторско-техно
Химико-фотографической промыш (7I ) Заявитель (54) СПОСОБ УДАЛЕНИЯ ЗАГРЯЗНЕНИЙ С ПОВЕРХНОСТИ
ПОДЛОЖЕК КИНОФОТОМАТЕРИАЛОВ
Изобретение относится к способам удаления загрязнений с поверхности подложек кинофотоматериалов и может быть использовано в химико-фотографической промышленности, а также в фотолитографических процессах при изготовлении полупроводниковых приборов в микроэлектронике и радиотехнике.
Известен способ удаления загрязнений с поверхности подложек кинофотоматериалов путем обработки поверхнос10 ти струей поверхностно-активного вещества, имеющей скорость 130 м/с и удаления его остатков воздушной струей 1 1.
Недост ат ком известного способа является его неудовлетворительная эффективность: на подложке остается большое количество загрязнений в виде пыли, что приводит к снижению, например, качества фотошаблонов, изготавливаемых из фотоматериалов.
Цель изобретения - повышение эф" .фективности способа.
Поста вленная цель дости гает ся тем, что поверхностно-активное вещество (ПАВ) подают на поверхность подложки кинофотометериалов в виде струи аэрозоля со скоростью 180-220 и/с..
На чертеже схематически изображено предлагаемое устройство.
Устройство содержит опорный валик
1 для подложки 2. Вдоль подложки,опирающейся на валик 1, направлены выходные щели аэрозольной 3 и воздухонагнетающей 4 головки. Аэрозольная головка 3 содержит распределительную камеру 5 для воздуха и распределительную камеру 6 для. моющей жидкости . Воздухонагнетающая головка 4 имеет воздухораспределительную камеру 7.
Возле выходной щели головки 3 имеется камера отсоса аэрозоля 8, а возле выходной щели головки 4 - камера отсоса 9. Заборный патрубок воздушного насоса 10 соединен с камерами отсоса 9 и 10. Выходной патрубок насоса 10 через влагоотделитель 11 и
3849
Т абли ца озТриацетатцел- 0 53-ный раствор
18 люлозная СВ-102
180
250
3,6
9,5i-ный раствор
СВ-105
180
250
3,6
0,53-ный раствор
СВ-1147
250
200
3,6
13-ный раствор этилового спирта
Триацетатцеллюлозная
280
200
6,0
0,5Æ-ный раствор
СВ-105
280
200
6,0
3 88 фильтр 12 соединен с воздухораспределительными камерами 7 и 5 головок
3 и 4. Бак 13 для моющей жидкости через насос 14 и фильтр 15 соединен с распределительной камерой 6 для моющей жидкости, Устройство работает следующим об- . разом.
Подложка 2 равномерно движется, опираясь на валик 1. Моющая жидкость
ПАВ из бака 13 подается насосом 14 через фильтр 15 в распределительную камеру 6 аэрозольной головки 3. В газораспределительную камеру 5 этой же головки воздушным насосом 10 через влагоотделитель 11 -и фильтр
12 подается воздух. Воздух, проходя через выходную щель головки 3, смешивается с ПАВ из камеры,6, таким образом, на выходе головки 3 получается струя аэрозоля ПАВ. Частицы аэро. золя бомбардируют и открывают загрязнения с подложки 2. Избыток аэрозоля отсасывают из камеры 8 насосом 10.
ПАВ из отсасываемого аэрозоля отделяют во влагоотделителе 11 и снова подают в бак 13. Сжатый воздух от насоса 10 поступает также в камеру 7 воздухонагнетающей головки 4. Струя воздуха, выходя из щели головки 4, обдувает поверхность подложки 2 и удаляет с нее оставшееся ПАВ. Образующийся при этом туман отсасывают из камеры 9 насосом 10.
Пример. На подложку кинсфотоматериала наносят частицы мелкодисЗ персной сажи. Длина участка загрязняемой подложки составляет 200 мм. С помощью микроскопа подсчитывают число частиц сажи на.загрязненном участке
Затем подложку протягивают через ис-,. В пытываемую установку, к двухколлекторной головке, к которой подсоединены насос для подачи моющей жидкости и воздуходувка. Подсчитывают количество частиц после очистки струей аэрозоля.
1 Вычисляют отношение разности чиспа частиц на загрязненном участке до и после прогона через обеспыливающую установку к числу частиц до прогона.
Для сравнения подложку с загряз20 ненным участком такой же длины протягивают через испытуемую установку, у которой от двухколлекторной головки отключена воздуходувка и очистку ведут сплошной струей жидкости. Эффек2S тивность очистки определяют, как и в предыдущем случае.
При испытании меняют состав ПАВ, его расход, скорость истечения струи аэрозоля, скорость движения очищаемой зо подложки и другие параметры. Примеры конкретного выполнения способа сведены в табл. 1.
883849
Продолжение табл. 1
0,5ь-ный раствор
СВ-1147
280
200
6,0
14-ный р,аствор этилового спирта
Т риац ет атц еллюлозная
280
220
9,0
0,54-ный раствор
СВ-105
280
220
0,54-ный раствор
СВ-1147
280
220
9,0
Табли ца 2
Отношение числа удаленных частиц к общему числу частиц, 4
Скорость протяжки подложки, м/мин
Очистка аэрозолем Очистка сплошной струей жидкости
71.
30
69
68
Формула изобретения
Результаты, полученные при скорости продвижения подложки 18,30 и
Как следует из приведенных данных, предлагаемый способ является бопее эффективным по сравнению с известным и позволяет более полно удалять за40 грязнения с поверхности подложек кинофотоматериалов, что значительно повышает качество материалов.
Способ удаления загрязнений с поверхности подложек кинофотоматериалов путем обработки поверхности по45 м/мин и при использовании различных
ПАВ, сведены в тбал. 2. верхностно-активным веществом и удаления его остатков воздушной струей, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности способа, обработку поверхности осуществляют струей аэрозоля поверхностноактивного вещества, которую подают со скоростью 180-220 м/с.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Заявка ФРГ N 2056571, кл, 57 в 1/74, опублик. 1971 (прототип), 883849
Составитель А. Круглов
Редактор H. Рогулич Техред А. Савка . Корректор О. Билак
Заказ 10227/71 Тираж 509 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
1 13035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП "Патент",г. Ужгород, ул. Проектная, 4.
