Интерферометр для контроля выпуклых поверхностей линз большого диаметра

 

Сеюэ Советсиик

Соцнапистнчасиик

Респубпин

ОП ИСАНИЕ

H306PETE Н ИЯ

К АВТОРСКОМУ. СВИДЕТЕЛЬСТВУ (и)890067 (6!) Дополнительное к авт. свнд-ву— (22) Заявлено 040779 (21) 2789981/25-28 с присоединением заявки М— (23) Приоритет

Опубликовано 1 5.1 281. Бюллетень М46

Дата опубликования описания 15.1231 (51)M. Хл.

G 01 В 9/02

6Ьеударетеекемй канитет

СССР вв аеааи вэебретенкй и вткрытий (53) УДК531 715. .1 (088. 8) 72) Авторы (54) ИНТЕРФЕРОИЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ВЫПУКЛЫХ

ПОВЕРХНОСТЕЙ ЛИНЗ БОЛЬШОГО ДИАИЕТРА

Изобретение относится к оптическому приборостроению и предназначено для контроля выпуклых сферических и асфери че ских по верхн остей .

Известен интерферометр для контроля формы выпуклых сферических поверхностей, содержащий источник излучения, гюследовательно установленные телескопическую систему, полупрозрачное зеркало,. объектив, компенсатор и сферическое зеркало P1).

Недост ат ком из вестного интерферометра является невысокая точность контроля, обусловленная высокими требованиями, предъявляемыми к компен". сатору в части его остаточных аберраций.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является интерферометр для контроля качества выпуклых поверхностей линз. большого диаметра, содержащий источник излучения и фокусирующую систему, образующие осветительную ветвь, объектив и регистратор интерференционной картины, образующие наблюдательную ветвь, элемент разделения светового потоМа на .два, в одном иэ которых расположено эталонное сферическое зеркало, являющееся эталонной ветвью, а в другом компенсатор и жидкостная линза, образующие рабочую ветвь j2$.

Этому интерферометру присуща недостаточно высокая точность контроля вследствие значительной удаленности эталонной ветви от рабочей, а также. вследствйе применения иммерсионной жидкости со строго определенным показателем преломпения.

13

Цель изобретения - повышение точности и производительности контроля, а также расширение диапазона контролируемых поверхностей.

Указанная цель достигается тем, что жидкостная линза выполняется с показателем преломления, отличным от .показателя преломления контролируемой линзы, и располагается между кон3 89006 тролируемой линзой и компенсатором, компенсатор выполнен с вогнутой поверхностью и обращенным вогнутой поверхностью к источнику излучения,а последовательно расположенные по ходу излучения компенсатор, контролируемая и жидкостная линзы образуют систему с отрицательной оптической силой, Кроме того, интерферометр снабжен щ линзой, установленной с возможностью перемещения вдоль оптической оси интерферометра между компенсатором и элементом разделения светового потока на два. 15

Йа чертеже представлена оптическая схема интерферометра.

Интерферометр содержит источник l излучения и фокусирующую систему 2, образующие осветительную ветвь, объектив 3 и регистратор 4 интерференционной картины, образующие наблюдательную ветвь, элемент 5 разделения све, тового потока на два, в одном из которых расположено эталонное сферическое зеркало 6, являющееся эталонной ветвью, а в другом — компенсатор 7 и жидкостная линза 8, выполненная из иммерсионной жидкости с показателем преломления, отличным от показателя преломления контролируемой линзы 9, и расположенная между контролируемой линзой 9 и компенсатором 7, выполненным с вогнутой поверхностью 10 и обращенным вогнутой поверхностью к источнику 1 излучения, а последо35 вательно располагаемые по ходу излучения компенсатор 7, контролируемая линза 9 и жидкостная линза 8 образуют систему с отрицательной оптической силой, и линзу 11, установленную с

40 возможностью перемещения вдоль оптической оси интерферометра между компенсатором 7 и элементом 5 разделения светового потока на два.

Интерферометр работает следующим образом., Излучение от источника 1 под действием элементов 2,5,7,11 и поверхности контролируемой линзы 9, контактирующей с жидкостной линзой 8, падает 5О нормально на=.. контролируемую поверхность К линзы 9, частично отражается от нее, а частично проходит к эталонной поверхности Э эталонного сферического зеркала 6.

Волновой фронт, созданный излучением, отраженным от контролируемой поверхности К линзы 9, интерферирует

7 4 с эталонным волновым фронтом, идущим от поверхности Э. По виду интерференционной картины, для регистрации которой используют объектив 3 и регистратор 4 интерференционной картины, судят о форме контролируемой поверхности К., Перемещением линзы 11 вдоль оптической оси при смене контролируемых линз достигается устранение остаточных аберраций, выз ванных изме нени ем конструкти вных элементов контролируемой линзы, что повышает производител ьност ь контроля.

Таким образом, повышение точности контроля достигнуто за счет совмещения эталонной и рабочей ветвей интеоферометра, так как эталонное сферическое зеркало расположено непосредственно за контролируемой поверхностью поэтому остальные элементы ин7 терферометра практически не вносят погрешности в результаты контроля. а также за счет снижения требований к показателю преломления иммерсионной жидкости. Кроме того, данный интерферометр позволяет контролировать высокоапертурные сферические поверхности, что расширяет диапазон

его применения.

Формула изобретения

1. Интерферометр для контроля выпуклых поверхностей линз большого диаметра, содержащий источник излучения и фокусирующую систему, образующие осветительную ветвь, объектив и регистратор интерференционной картины, o6pазующие наблюдательную ветвь, элемент разделения светового потока на два, в одном из которых расположено эталонное сферическое зеркало, являющееся эталонной ветвью, а в другом - компенсатор и жидкостная линза, образующие рабочую ветвь, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности и производительности контроля, а также расширения диапазона контролируемых поверхностей, жидкостная линза выполняется с показателем преломления, отличным от показателя преломпения контролируемой линзы, и располагается между контролируемой линзой и компенсатором, компенсатор выполнен с вогнутой поверхностью и обращенным вогнутойповерхностью к источнику излучения, 89006 7 .. 4 оптической оси интерферометра между компенсатором и элементом разделения светового потока на два.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР и 448347, кл. С 01 В 9/02, 15.12.74.

2. Авторское свидетельство СССР N 415482 кл. С 01 В 9/02, 10.07.74 (прототип). а последовательно располагаемые по хрду излучения компенсатор, контролируемая и жидкостная линзы образуют систему с отрицательной оптической силой.

2. Интерферометр по и. 1, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения производительности контроля, он снабжен линзой, установленной с возможностью перемещения вдоль

Заказ 10948/62 Тираж 645 Под пи сное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Составитель Н. Захаренко

Редактор Л. Алексеенко Техред Л. Пекарь Корректор В. Синицкая