Высоковакуумное быстродействующее откачное устройство

 

(1898122

ОП ИКАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К ЬатОРСКОМЬ СВИДЕтЕЛЬСтеу

Союз Советских

Социалистических

Республик

;Ф (6! ) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 15.05.75 (21) 2133545/25-06 с присоединением заявки №вЂ” .(51) М. Кл.

F 04 F 9/00 (53) УДК 621.527.. (088.8) Опубликовано 15.01.82. Бюллетень № 2

Дата опубликования описани 15.01.82 па делам изобретений

И OTKPhlTHH

Е. Н. Мартинсон, А. Г. Нестеренко, Е. С. Захарова, „

В. М. Дубова и Г. А. Корецкий /

/ .. = j ,! т

l -" / (72) Авторы изобретении (7! ) Заявитель (54) ВЫСОКОВАКУУМНОЕ БЫСТРОДЕЙСТВУЮЩЕЕ

ОТКАЧНОЕ УСТРОЙСТВО

ГооХдаРстеенный комитет (23) Приоритет—

Изобретение относится к вакуумной тех нике, а именно к быстродействующим откачным устройствам.

Известны высоковакуумные быстродействующие откачные устройства, содержащиедиффузионный насос с тарельчатым затвором и соединенный с ним трубопроводом форвакуумный насос с расположенными на входе поворотной заслонкой и сорбционной ловушкой (! I .

Недостатками известных устройств являются ограниченная производительность, а также значительное загрязнение откачиваемого объема парами рабочих жидкостей насосов вследствие их миграции.

Целью изобретения является повышение производительности и исключение миграции паров рабочих жидкостей насосов в откачиваемый объем.

Указа иная цель достигается тем, что затвор дополнительно снабжен сорбционной ловушкой, размещенной в выполненном в тарели отверстии, и поворотная заслонка имеет капиллярное отверстие.

На чертеже представлена схема устройства.

Высоковакуумное быстродействующее от дачное устройство содержит диффузионный насос 1 с тарельчатым затвором 2 и соединенный с ним трубопроводом 3 форвакуумный насос 4 с расположенными на входе поворотной заслонкой 5 и сорбционной ло-. вушкой 6, причем затвор 2 дополнительно снабжен сорбционной ловушкой 7, размещенной в выполненном в тарели отверстии, и поворотная заслонка 5 имеет капиллярное отверстие 8. Устройство соединяется с отка10 чиваемым объемом 9, имеющим напускной вентиль 10.

Устройство работает следующим образом

Газ из откачиваемого объема 9 удаляется диффузионным насосом с рабочей жидкостью, стойкой к воздействию атмосферы в трубопровод 3, и оттуда — форвакуумным насосом 4. При необходимости кратковременной разгерметизации рабочего объема, например, для замены какого-либо изделия, тарельчатый затвор 2 и поворотная заслонка 5 находятся в положении «закрыто».

При этом через отверстие 8 B форвакуумный ,насос 4 .поступает ограниченное количество газа, что не приводит к срыву рабочего °

3 режйма насоса. После герметизации объема 9 газ откачивается диффузионным насосом через ловушку 7, что позволяет практически исключать миграцию паров рабочих жидкостей в откачиваемый объем. По достижении в объеме диффузионного насоеа давления, обеспечивающего нормальную работу форвакуумного насоса, заслонка 5 открывается, а по достижении давления в откачиваемом объеме, обеспечивающего нормальную работу диффузионного насоса, открывается затвор 2. Таким образ1зм, затвор 2 работает в положении «открыто» как механическая ловушка, а в положении

«закрыто» как сорбционная, что позволяет изменять ее проводимость в зависимости

m условий работы диффузионного насоса снижая тем самым загрязнение откачивае мого объема парами рабочих жидкостей.

Формула изобретения

Высоковакуумное быстродействую1цее otкачное устройство, содержащее диффузионный насос с тарельчатым затвором и соединенный с ним трубопроводом форвакуум5 ный насос с расположенными на входе поворотной заслонкой и сорбционной ловушкой отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и исключения миграции паров рабочих жидкостей насосов в откачиваемый объем, затвор дополнительно снабжен сорбционной ловушкой, размещенной в выполненном в тарелн отверстии, и поворотная заслонка имеет капилляриое отверстие.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Пауэр Б. Д. Высоковакуумные откачные устройства. М., «Энергия», 1969, с. 148.

Составитель В. Криковкнн

Редактор Л. Повхан Техред А. Бойкас Корректор Н. Швыдкаи

Заказ l1915/50 тираж б70 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская иаб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4