Токосъемное устройство для контроля электрических параметров микросхем
Союз Советскмк
Соцмапмстмческми
Республик (112., К АВТОРСКОМУ СВИЯЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. саид-ву— (22) Заявлено 25.05. 79 (21) 276о378/24-07 с присоединением заявки М— (23) Приоритет—
Опубликовано 15.02.82. Бюллетень ме 6/
Дата опубликования описания 1 7. 02. 82 (51)М. Кл.
Е1 01 Н 29/04
Гаоударствеииый комитет
СССР
IIo делам изаоретеиий и открытий (5Ç) УДК 621. 316. .542(088.8) Д.Е, Михайлов, Е.В. Никольский и А.Б. ивчиков--! (72) Авторы изобретения 1, . с
В инст тут связи:-Ленинградский электротехнический им. проф. N.A. Бонч-Бруевича (71) Заявитель (54) ТОКОСЬЕМНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ
Э1!ЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ МИКРОСХЕМ характеристик.
Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано для контроля электрических параметров электросхем.
Известно токосъемное устройство для контроля электрических параметров
S микросхем, содержащее токоподводящий элемент, взаимодействующий с контактной площадкой микросхем.и выполненный в виде иглы, изготовленной из
IÎ бронзы, которая с некоторым усилием устанавливается на контактной площадке (! 1.
Недостатком такого устройства явля ется нестабильнос ть к онтак тных
IS характеристик, обусловленная нестабильностью контактного нажатия, притуплением иглы, образованием царапин на контактной площадке, наличием
Окисных пленок, как на самой игле, так и на контактной площадке и т.д.
Целью изобретения является обеспечение стабильности контактных
Поставленная цель достигается тем, что в устройстве, содержащем токподводящий элемент, взаимодействующий с контактной площадкой микросхемы, указанный токоподводящий элемент выполнен в виде герметичного сосуда с капиллярной трубкой,на конце, заполненного жидким металлом, а контактная площадка микросхемы покрыта . пленкой пироуглерода.
На чертеже представлено конструктивное выполнение устройства.
Устройство состоит из токоподводящего элемента, выполненного в виде герметичного сосуда 1 с трубкой капиллярного сечения на конце. Сосуд
1 заполнен жидким металлом 2, в которьп": погружен своим концом электрод 3, другой конец которого подключен к измерительной аппаратуре.
Давление в сосуде 1 регулируется любым извесным способом. Жидкий металл 2 взаимодействует с контакт905968 ной площадкой 4 микросхемы через пленку пироуглерода 5, Устройство работает следующим образом.
3 исходном состоянии жидкий металл 5
2 полностью находится в капиллярной трубке сосуда и контактная система разомкнута. Для замыкания системы увеличивают давление в сосуде с помощью устройства .для регулирования 10 давления. При этом на конце капилляра образуется капля жидкого металла, с помощью которого осуществляется электрический контакт с контактной площадкой 4 микросхемы через защит- 15 ную пленку пироуглерода 5, При этом ток течет через контактную площадку
4, жидкий металл 2, твердометаллический электрод 3 к контрольно-измери тельной аппаратуре. 20
После снятия необходимых электрических параметров уменьшают давление в сосуде 1, капля втягивается в капилляр, и контактная система приходит в исходное состояние. 25
На конце капиллярной трубки в месте непосредственного контакта жидкого металла с атмосферой образуется окисная пленка, которая разрушается в момент контактирования с площадкой микросхемы за счет увеличения площади поверхности капли, что приводит к контактированию через чистый жидкий металл. С другой стороны, пленка пироуглерода, которая наносится в вакууме на контактную площадку микросхемы, не позволяет окисляться последней и предохраняет ее от химичес— кого взаимодействия с жидким металлом. Совокупность указанных признаков позволяет осуществлять неразрушающий контроль микросхем и обеспечить стабильность контактных характеристик.
Формула изобретения
Токосъемное устройство для контроля электрических параметров микросхем
t содержащее токоподводящий элемент, взаимодействующий с контактной площадкой микросхемы, о т л и ч а ю— щ е е с я тем, что, с целью обеспечения стабильности контактных ха рактеристик, токоподводящий элемен выполнен в виде герметичного сосуд, с капиллярной трубкой на конце, заполненного жидким металлом, а контактная площадка микросхемы покрыта пленкой пироуглерода.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Смирнов В,И., Иатта Ф.!9. Теория и конструкция контактов в электронной аппаратуре. И., "Советское радио", 1974.
h NÎíï pþëüèðU5iYPPQwpëüíî аппаратуре
Бу ноя
Составитель A. Голосов
Редактор Т. Веселова Техред А.Бабинед Корректор Л. Бокшан
Заказ 388/69 Тираж 757 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР < по делам изобретений и открытий !
13035 Иосква Ж-35 Раушская наб. д. 4/5
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4