Устройство для раздува кварцевых изделий

 

1 (72) Авторы изобретения Петр И.- Стефаненко, Павел И. Стефаненко и,Б.В. Пометун (74) Заявитель (Му УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАЗДУВА КВАРЦЕВ6!Х ИЗДЕЛИЙ дачи газов (21.

Изобретение относится к устройствам для раздува стеклоизделий и может найти применение на всех предприятиях страны, на которых производятся полупроводниковые материа5 лы.

Известно устройство для раздува кварцевых изделий, используемое на предприятиях, производящих полупроводниковые материалы, состоящее из горелки и приспособления для подвески инструмента в виде двуплечей стрелы, к концу стрелы подвешен с возможностью вращения вокруг своей вертикальной оси пневмоцилиндр со штоком. На штоке перпендикулярно к нему закреплен вал, на котором установлена горелка 11 1.

Закрепление горелки на приспособлении дает возможность ориентировать пламя горелки в нужном направлении при помощи перемещения самого кварцевого иэделия, что позволяет несколько повысить производительность процесса.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому эффекту является устройство для раздува кварцевых изделий, содержащее корпус, горелку, трубопроводы с вентилями и механизм регулирования поНедостатком устройств для раздува кварцевых иэделий является то, что регулирование количества подаваемых газов на горелку производится вручную открыванием. и прикрыванием вентилей на трубопроводах годачи газов к горелке. Это не позволяет поддерживать оптимальное соотношение количества газов в период раздува кварцевых изделий и приводит к большому расходу технологических газов, а в период включения устройства в работу вызывает "хлопки" и взрывы смеси газов в горелке.

3 92776

Цель изобретения - повышение безопасности и производительности раздува.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для раэдува кварцевых изделий, содержащем корпус, горелку, трубопроводы с вентилями и механизм регулирования подачи газов, последний выполнен в виде соединенных с горелкой камер,,свя- !О занных через емкость с мембраной с пневматическим клапаном, причем каждая камера снабжена золотником со штоком.

Кроме того, устройство дополни- 15 тельно снабжено сильфонами, каждый из которых насажен на шток.

На чертеже изображено устройство для раздува кварцевых изделий, вид в плане. 20

Устройство для раздува кварцевых изделий состоит из корпуса 1 с кронштейном 2, на котором закреплена горелка 3 для раздува кварцевого изделия 4 и механизма регулирования подачи газов, выполненного в виде расположенных на корпусе 1 двух камер 5, в состав которых входит эолот. ник 6, накидная гайка 7, пружина 8, сильфон 9 и шток 10. К камерам 5 технологические газы подводятся по трубопроводам 11 через вентили 12.

Горелка 3 соединена с камерами при помощи трубопроводов 13, на которых расположены регулирующие вентили 14 и приборы 15 учета количества газов.

В нижней части корпуса 1 устройства под камерами 5 размещена емкость 16

I с мембраной 17 и калиброванным отверстием 18. На мембране 17 расположена стойка 19 с планкой 20, к которой закреплены регулирующие винты 21, служащие для установки в нужном положении штоков 10 камер 5. У емкости 16 расположен пневматический клапан 22

45 с педалью 23, служащий для регулирования подачи сжатого воздуха в емкость 16. Пневматический клапан 22 соединяется с емкостью 16 при помощи гибкого шланга 24, а с пневмосистемой — при помощи трубопровода 25..

Перед включением устройства в работу в камере 5, через которую подается горючий гаэ к горелке 3, регулирующим винтом 21 шток 10 поджимают так, чтобы не было зазор в между што- 55 ком 10 и золотником 6 и между штоком 10 и винтом 21. У камеры 5, через которую подается к горелке 3 газ3 4 окислитель, винтом 21 устанавливают зазор между штоком 10 и золотником 6 .

Включение .устройства в работу производится следующим образом.

Открытием вентилей 12 подают технологические газы (горючий газ на1 пример водород, и газ-окислитель, например кислород) к камерам 5 устройства. Затем нажатием ноги на педаль 23 клапана 22 подается сжатый воздух в емкость, который перемеща- ет вверх мембрану, а вместе с ней и винты 21 через стойку 19 и планку 20. Так как в камере, регулирующей подачу горючего газа, шток 10 между золотником 6. и регулирующим винтом располагается без зазора, то при перемещении винта вверх сразу же перемещается вверх и шток, который приподнимает золотник и горючий газ через камеру 5 под золотником по трубопроводу 13 через прибор

15 учета поступает на горелку. Требуемое количество горючего газа, которое необходимо подать на горел" ку с учетом его оптимального соотношения с газом-окислителем, регулируется вентилем 14. Подача горючего газа на горелку 3 исключает

"хлопки" и взрывы смеси газов к ней.

Так как между штоком 10 и золотником в камере 5, через которую поступает гаэ-окислитель к горелке, имеется зазор, то шток начинает приподнимать вверх золотник 6 тогда, когда горючий гаэ через вторую камеру 5 уже идет к горелке. После подьема золотника в этой камере газ-окислитель под золотником 6 по трубопроводу 13 через прибор учета газа поступает на горелку. Требуемое количество газа-окислителя, которое необходимо подавать на горелку с учетом его соотношения с горючим газом, регулируется вентилем 14 Увеличение количества газов на горелку при заданном соотношении производится плавным нажатием ноги на педаль клапана 22. Уменьшение количества газов на горелку производится плавным отпуском педали. Прекращение подачи газов на горелку производится снятием ноги с педали.

Калиброванное отверстие 18 в емкости 16 служит для регулирования выпуска сжатого воздуха из нее. Пламя горелки в нужном направлении ориентируется перемещением самого кварцево-, го изделия.

5 927763 6

Предлагаемое устройство для раз-, пасности .и производительности раэдува кварцевых изделий позволяет дува, механизм регулирования подачи значительно повысить производитель- гаэов .выполнен в виде соединенных с ность процесса, снизить на 2-34 горелкой .камер, связанных через емудельные расходы технологических га- 5 кость с мембраной с пневматическим зов на раздув изделий, повысить ка- клапаном, причем каждая камера снабчество регулирования и обеспечить жена золотником со -штоком. безопасные условия труда. 2. Устройство no n. 1, о т л ич а.ю щ е е с я тем, что оно снаб в жено сильфонами, каждый из которых

Формула изобретения насажен на шток. !

1. Устройство для раздува кварцевых изделий, содержащее корпус, горелку, трубопроводы с вентилями и механизм регулирования подачи газов, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения безоИсточники информации, принятые во внимание при экспертизе

t5 1. Авторское свидетельство СССР

N 307982, кл. С 03 В 9/02, 19?О.

2. Авторское свидетельство СССР

N 191751, кл. C 03 8 9/02, 1965.

927763

Заказ 3157/32 Тираж 507

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Филиал ППП Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, Составитель В. Юдина

Редактор И. Бандура Техред И, Тепер Корректор И. Иуска