Способ распыления экзотермических газопоглотителей в электровакуумных приборах

 

О П И А Н И Е »936085

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Co89TcKHx

Социалистических

Респубпнк (61) Дополнительное к авт, свид-sy (22) Заявлено 15. 08. 80 (21) 2975139/18-2 1 с присоединением заявки И (51)Wl. Кл.

Н 01 q 7/18

1Ъвудлротввикый комитат

СССР до делам изобретений н открытий (23) ПриоритетОпубликовано 15 ° 06 ° 82 Бюллетень № 22

Дата опубликования описания 15.06.82 (.53) УДК 621 ° 3.032.

° 94 (088. 8) Л. И.Курницкий, .Ю. Р. Сосновый и; .А. Свистун, а

1 (72) Авторы изобретения (7!) Заявитель (54) СПОСОБ РАСПЫЛЕНИЯ ЭКЗОТЕРИИЧЕСКИХ ГАЗОПОГЛОТИТЕЛЕЙ

В ЭЛЕКТРОВАКУУИНЫХ ПРИБОРАХ

Изобретение относится к производству электровакуумных приборов, s частности к процессу распыления экзотермических газопоглотителей, который осуществляется путем разогрева высокочастотной энергией контейнера с газопоглотителем в течение времени ст и собственно распыления газопоглотителя в течение времени

Известен способ распыления газопоглотителей, заключающийся в выборе оптимальных значений времени разогреаа t и суммарного времени разогрева и распыления t + t (1).

Однако этот способ не обеспечивает постоянства выхода активного ве/ щества, так как время распыления ввиду непостоянства времени разогрева t„,âåëè÷èíà, изменяющаяся от прибора к прибору. 20

Наиболее бли з ким к предла гаемому изобретению является способ распыления экзотермических газопоглотителей в электровакуумных приборах, заклю2 чающийся в подаче высокочастотной мощности к газопоглотителю, регистрации момента начала распыления и стабилизации режима распыления на уровне постоянства произведения времени распыления на величину подводимой мощности для данного типа прибора.

8 известном способе постоянство подводимой к газопоглотителю энергии, а следовательно, температуры распыления осуществляется путем изменения продолжительности времени распыления t< при постоянной величине подводимой высокочастотной мощности f 23, Однако для обеспечения высокой сорбционной активности и большой скорости сорбции напыленная пленка бария должна обладать рыхлой структурой, а продолжительный нагрев газопоглотителя, т.е. увеличение t, неблагоприятно влияет на структуру пленки бария, так как к концу распыления, вследствие уменьшения интенсивности испарения, рыхлая структура

93608

Формула изобретения

Составитель A.Kèñeëeâ

Техред 3. Палий Корректор10.Макаренко

Редактор Т.Веселова

Заказ 4228/59 Тираж 761 П рдписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, N-35, Раушская наб., д, 4/5 филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная, 4 засевается более мелкими частицами бария, т.е. образуется мелкозернис" тая структура бариевой пленки, кроме того, при продолжительном нагреве нагреваются близлежащие поверхности электровакуумного прибора,что также способствует образованию мелкозернистой структуры. Таким образом, известное техническое решение не обеспечивает необходимых вакуумных усло- Ю вий в приборе, а следовательно, при водит к недостаточной долговечности прибора и к браку по эмиссионным параметpaM.

Целью изобретения является увеличение срока службы и снижение эмиссионного брака.

Поставленная цель достигается тем, что согласно способу распыления экзотермических газопоглотителей, заключающемуся в подаче высокочастотной мощности к газопоглотителю, регистрации момента начала распыления и стабилизации режима распыления на уровне постоянства произведения времени на величину подводимой мощности для данного типа прибора, поддержание режима распыления осуществляют за счет изменений в подводимой мощности. 30

Пример. Для каждого типа прибора предварительно выбирают эталонное значение подводимой высокочастотной энергии (произведение подводимой мощности на время распыления tZ), 35 обеспечивающее оптимальную температуру распыления, и соответствующее этой энергии эталонное время начала распыления t< Для конкретного обрабатываемого прибора регистрируют отк о лонение времени начала распыления газопоглотителя от эталонного и в зависимости от знака и величины отклонения производят изменение мощности высокочастотных колебаний так, чтобы

O 45 количество высокочастотнои энергии, S ф потребляемое газопоглотителем за время распыления, осталось постоянным от прибора к прибору. Если время начала распыления больше эталонного, то по истечении эталонного времени подводимую к газопоглотитепю .мощность повышают.

Обеспечивая распыление газопоглотителей при постоянной потребляемой мощности, предлагаемый способ позволяет значительно уменьшить разброс выхода активного вещества от прибора к прибору и, как следствие, увеличить выход активного вещества в "зеркало", а значит, повысить вакуум в приборе и снизить эмиссионный брак.

Способ распыления экзотермических газопоглотителей в электровакуумных приборах, заключающийся в подаче высокочастотной мощности к газопоглотителю, регистрации момента начала распыления и стабилизации режима распыления на уровне постоянства произведения времени распыления на величину мощности для данного типа прибора, отличающийся тем, что, с целью увеличения срока службы и снижения эмиссионного брака, поддержание режима распыления осуществляют за счет изменений в подводимой мощности .

Источники информации принятые во внимание при экспертизе

1. Барановский В.И. Технология производства приемных электроннолучевых трубок. М., "Энергия", 1970, с. 276 - 281.

2. Пивоваров Г.Я. Технологические процессы электровакуумного производства. М., "Энергия", 1964, с. 246

251 (прототип) .