Установка для локального гальванопокрытия

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

<>953013 (Рл -.ь. А (61) Дополнительное к авт. свид-ву Р 642382 (22) Заявлено 31 ° 03.81 (21)3267275/22-02 с присоединением заявки ¹(23) Приоритет

Опубликовано 230882. Бюллетень ¹ 31

Дата опубликования описания 23.08 ° 82

Р11М К„з .

С 25 D 5/02.

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий

153) УДК 621.357. .7(088.8) (72) Авторы изобретения

В.Е.Лукьянчиков, И.В.Б вйдалинов и M.Я.Селиванов ю

Ф"

l г

/ ". е (71) Заявитель (54) УСТАНОВКА ДЛЯ ЛОКАЛЬНОГО

ГАЛЬВАНОПОКРЫТИЯ

Изобретение относится к технике гальванопокрытий в производстве полупроводниковых приборов и микросхем и может быть использовано в гальванических цехах при обработке корпусов и отрезков лент полупроводниковых приборов и микросхем.

По основному авт.св. 9 642382 известна установка, содержащая корпус, в котором смонтирован гальванический блок, кассеты с механизмом прижима обрабатываемых изделий, ванна для электролита, насос для подачи электролита и блоки электроавтоматики, в которой кассеты с механизмом прижима смонтированы на корпусе установки с возможностью вертикального перемещения и поворота вокруг гори-зонтальной оси и выполнены в виде корпуса с шарнирно-поворотными пальцами и тягами. Корпус каждой поворотной кассеты выполнен в виде удли ненного параллелепипеда с полыми цапфами на концах.

Данное выполнение кассет позволяет одновременно устанавливать обрабатываемые иэделия, по крайней мере, на двух горизонтально-параллельных. плоскостях параллелепипеда. В установке поворотные кассеты выполняют роль несущего элемента конструкции для обрабатываемых изделий и роль прижима, содержащие герметизирующие эластичные прокладки.

При этом маскирующие элементы, которые определяют форму, размеры и точность расположения зоны обработки, расположены на неподвижной части-установки непосредственно под поворотными кассетами (1) .

Такое компановочное решение не обеспечивает достаточной точности нанесения покрытия при обработке изделий малых- размеров, например корпусов, а также отрезков лент с повышенными требованиями по точности расположения эон обработки.

Целью изобретения является поВышение качества покрытия за счет повышения точности совмещения маскирующих элементов с зонами локального нанесения металла на изделиях.

Поставленная цель достигается тем, что в установке маскирующие элементы смонтированы с воэможностью поворота относительно горизонтальной оси в вертикальной плоскости на каждой из рабочих плоскостей поворотной кассеты над эластичными прижим953013

Изобретение позволит выполнить совмещение зон обработки на изделиях с отверстиями маскирующих элементов до поворота кассет на 180 и до перемещения их в крайнее нижнее положение. Это значительно повысит точность совмещения, так как оно в данном случае не зависит от качества и точности изготовления направляющих и точности взаимного расположения подвижной и неподвижной кассет.

Крепление маскирующих элементов непосредственно на поворотных кассетах позволит расширить номенклатуру изделий, обрабатываемых на установке, дополнительно снизить расход ными прокладками, а установка снабжена кронштейном, установленным на одном конце каждой кассеты с возможностью взаимодействия с маскирующим элементом для удержания маскирующего элемента в горизон- 5 тальном положении, установленным на другом конце каждой кассеты.

На фиг.1 изображена конструктивно-функциональная схема установки; на фиг.2 — кинематическая схема меха- о низма прижима. установка для локального гальванопокрытия состоит из корпуса 1, на котором смонтированы поворотные кассеты 2 с маскирующими элементами 3, )5 обрабатываемыми иэделиями 4, эластичными прокладками 5, осями 6, кронштейнами 7, посредством которых каждый маскирующий элемент 3 связан шарнирно с корпусом кассеты 2, фиксаторами 8 и установочными штифтами 9, гальванический блок 10 с соплами 11, анодом 12 и насосом 13 для подачи электролита, механизм прижима изделий, выполненный в виде 25 редукторов 14 с приводными рычагами

15. Ведущие валы редукторов жестко связаны между собой общим валом 16.

Ведомые валы редукторов, содержащие эксцентричные пальцы 17, шарнирно связаны посредством тяг 18, пружин 1 9, упорных шайб 20 и регу,лировочных гаек 21 с шарнирно-поворотными пальцами 22, которые подвижно с возможностью поворота вставлены в отверстия полых цапф кассет 2. З5

Наружными поверхностями полых цапф каждая кассета соединена с ползунами 23, которые имеют возможность вертикального перемещения в направляющих 24.

Для фиксации рабочих плоскостей кассет 2 в горизонтальной плоскости после каждого поворота на 180 о ползуны 23 содержат Фиксаторы, состоящие из регулировочной пробки 25, 45 .пружины 26, а на наружных поверхностях полых цапф кассет выполнены отверстия 28.

Гальванический блок 10 смонтирован так, что нижняя его часть расположена в гальванической ванне 29. установка работает следующим образом.

На обращенную вверх рабочую поверхность каждой .кассеты 2, на эластичную прокладку 5 и установочные штифты 9 укладывают обрабатываемое изделие 4 (при этом маскирующие элементы 3 находятся в вертикальном положении) и маскирующими элементами 3, поворачивая их на оси 6 относительно кронштейна 7, обрабатываемые иэделия прижимают к эластичным прокладкам 5, фиксатором 8 удерживают маскирующие элементы в горизонтальном положении.

Приводной рычаг 15 поворачивают в положение, соответствующее верхнему крайнему положению кассет 2;При этом общий вал 16 передает крутящий момент одновременно на оба ведущих вала редукторов 14. Ведомые валы редукторов, на которых закреплены эксцентричные пальцы 17, поворачиваясь, перемещают тяги 18 вверх.

Кассеты занимают крайнее верхнее по" ложение. После этого каждую кассету

2 поворачивают на 180 и рычагами 15 опускают в крайнее нижнее положение до контакта маскирующих элементов с гальваническим блоком 10.

Таким образом, загруженная изделиями плоскость каждой кассеты готова к обработке, а противоположные стороны кассет, обращенные вверх, готовы к перезагрузке.

Включают привод насоса 13 и электролит из ванны 29 нагнетается в гальванический блок 10 и через сопла 11, отверстия в гальваническом блоке и отверстия в маскирующих элементах 3 входит в контакт с обрабатываемыми иэделиями 4. Электрическая цепь анод-катод замыкается и начинается осаждение металла на изделия.

При этом прокачка электролита осуществляется непрерывно по схеме: гальваническая ванна 29»насос 13 гальванический блок 10»сопла 1Ъизделие 4- гальваническая ванна 29...

Одновременно с процессом осаждения металла на изделия, находящиеся в нижнем положении (в контакте с электролитом), верхние плоскости кассет перезагружаются новой партией изделий.

После окончания процесса осаждения металла, прекращается подача электролита через насос 13, размыкается электрическая цепь анод-катод, поворотом рычагов 15 кассеты 2 поднимают в верхнее положение, поворачивают их на 180 и рычагом вновь опускают в нижнее положение, после чего включают подачу электролита и цикл повторяется.

953013

Формула изобретения

Катод фиг.! драгоценных металлов при обработке деталей, например корпусов и отрезков лент, с повышенными требованиями к точности расположения зон с нанесенным металлом.

При обработке корпусов возможно снижение расхода металла (золота) до 80% по сравнению с сплошным золочением и до 25% на отрезках лент по сравнению с полосчатым золочением.

10 установка для локального гальванопокрытия по авт.св. Р 642382, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества покрытия за счет повышения точности совмещения маскирующих элементов с зонами локального нанесения металла на изделиях, маскирующие элементы смонтированы с возможностью поворота относительно горизонтальной оси в вертикальной плоскости на каждой из рабочих плоскостей поворотной кассеты над эластичными прижимными прокладками, а установка снабжена кронштейном, установленным на одном конце каждой кассеты с возможностью взаимодействия с маскирующим элементом для удержания маскирующего элемента в горизонтальном положении, установленным на другом конце каждой кассеты.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 642382. кл, С 25 D 5/02, 1976.

953013

Составитель Н.Петров

Техред.М. Рейвес Корректор М.Демчик

Редактор О.Половка

Закаэ 6222/45 Тираж 686 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

1I3035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4