Устройство для многопозиционного измерения давления разреженного газа

 

Оп ИСАНИИ

И ЗОВРЕТЕ Н ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советсиик

Социалистически«

Рес убли в 960564 (61; свид-ву(22)Заявлено 09. 02. 81 (21) 3246415/18-10 с присоединением заявки М (23) Приоритет (5! )М. Кл.

G 01 L 21/34

)Ьеударствв«вй кеи«тет

СССР пе делам «зебрете«и«

«открыт«В

Опубликовано 23.09.82. Бюллетень М 35 .Дата опубликования описания 23.09 . 82 (5Ç) УЛК 531.787 (088. 8) Н. В. Вдовина, Е. ф, Комаров, С.В. Кудряшов, Е.А. Пенчко и В.Н.Проказин (72) Авторы изобретения 54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИНОГОПОЗИЦИОННОГО

ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ РАЗРЕЖЕННОГО ГАЗА

Изобретение относится к контроль но-измерительной технике, а именно к устройствам для многопозиционного измерения давления разреженных газов.

Известно устройство для многопо5 зиционного измерения давления на базе вакуумметра ВИБД-1, содержащее в каждой точке измерения магнитный электроразрядный преобразовател ь, балластный резистор, выпрямитель и повышающйй трансформатор. В этом устройстве длинная низковольтная линия соединяет первичную обмотку трансформатора с источником напряжения и измерителем разрядного тока, находящими.ся на контрольном пульте, а коммутатор соединяет выход аналоговых сигналов измерителей разрядного тока с регистрирующим прибором 1.1). го

Недостатком этого устройства является наличие емкостных токов, создающих фон, эквивалентный давлениям порядка 0,1- 1 Па, Компенса2 ция емкостных токов позволяет расши. рить рабочий диапазон до 10 -10 lla.

Наиболее близким к предлагаемому является устройство для многопоь зиционного дистанционного измерения давления., содержащее электроразрядные преобразователи, источник высокого напряжения и коммутатор.

Каждый из преобразователей с последовательно соединенным балласт.ным резистором установлен в своей точке измерения. С помощью подвижных контактов цепочка из преобразователя и резистора соединяется с двумя шинами, одна из которых высоковольтная соединена с общим источником высокого напряжения, а другая, состоящая из отрезков между разными точками измерений, соединена с контрольной аппаратурой. В промежутке между отрезками установлены зануленные отрезки шин, исключающие ложный отсчет при смене позиций и погасание разря64 4

Формула изобретения

3. 9605 да на позициях, где не требуется измерение .давления (2 ).

Недостатком известного устройства является инерционность измерения давления, связанного с тем, что при переходе манометрического преобразователя с зануленной шины на позицию измерения давления требуется относительно большое время для установления необходимого входного напряжения, соответствующего разрядному току, Цель изобретения - повышение быстродействия измерения давления разреженного газа. 15

Указанная цель достигается тем, что в устройство для. многопозиционного измерения давления разрежейного газа введены источник напряжения и .вентильные элементы, количество которых равно количеству преобразователей, причем.вентильные элементы включены последовательно с преобразователями, одноименные электроды которых соединены и подключены к источнику напряжения, полярность которого одинакова с полярностью напряжения на: входе измерителя, а потенциал больше потенциала на входе измерителя, при этом переключатель коммутатора соединен с измерителем разрядного тока, 30 а коммутируемые точки — с соответствующими цепями между преобразователем и вентильным элементом. Повышение быстродействия измерения давления разреженного газа дости- З гается в этой схеме незначительным изменением потенциала в линии измерения разрядного тока при подключении к измерителю различных преобразователей.

На чертеже приведена принципиальная электрическая схема устрой ства.

Устройство содержит магнитные электроразрядные преобразователи 1, высоковольтный источник 2 напряжения, 4> высоковольтную линию- 3, измеритель

4 разрядного тока, вентильные элементы 5 прямой проводимости, установленные между каждым из преобразователей и зануленным источником 6 на- 50 пряжения, допускающим прохождение встречного тока, и коммутатор 7, соединяющий измеритель 4 с цепями пре- образователь -. вентильный элемент.

Устройство работает следующим образом, Высокое напряжение от источника

2 подается по линии 3 на манометрические преобразователи 1 через балластные резисторы 8, расположенные вблизи преобразователей 1 во избежание релаксационных колебаний при длинной линии. Безразрывный опрос обеспечивается подпором напряжения от источника 6, более высоким, чем напряжение на входе измерителя 4 при одинаковой полярности зануленных выводов источника напряжения и измерителя разрядного тока. Например, при контроле разрядного тока измерительным блоком вакуумметра ВМВ-8, входное напряжение которого достигает +17 В, напряжение подпирающего

„источника должно быть около +20 В.

Более высокое напряжение источника не оправдано из-3а роста обратных токов. При подсоединении измерителя

4 к цепи преобразователь 1 - вентильный элемент 5 разрядный ток идет по измерительной цепи, а ток от источника 6 не проходит через вентильный элемент 5, включенный навстречу, В линии, отключенной от измерителя 4, разрядный ток проходит через вентильный элемент 5 и источник 6, допускающий прохождение встречного тока. Безразрывная система KQM мутаций обеспечивает непрерывную работу всех преобразователей.

ЭФФектиBHocTь этого устройства состоит в увеличении быстродействия измерения давления разреженного газа по сравнению с известным устройством.

Устройство для многопозиционного измерения давления разреженного газа, содержащее магнитные электроразрядные преобразователи, присоединенные к источнику высокого напряжения, измеритель разрядного тока и коммутатор, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения быстродействия, в него введены источник напряжения и вентильные элементы, количество которых равно количеству преобразователей, причем вентильные элементы включены последовательно с преобразователями, одноименные электроды которых соединены и подключены к источнику напряжения„полярность которого одинакова с полярностью напряжения на входе измерителя, а потенциал больше потенциала на

9&0564

Составитель А.Зражевский

Редактор Я. Козориз Техред М. Надь Корректор В. Бутяга

Тираж 7 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. "/5

Заказ 72 9/

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 5 входе измерителя, при. этом переключитель коммутатора соединен с измерителем разрядного тока, а коммутируемые точки - с соответствующими. цепями между преобразователем и вентильным элементом.

И ст очни ки и нфор маци и, принятые во внимание при экспертизе

1, Депонированная рукопись ДЭ.У 1525 в институте "Электроника".

2. Электронная прои шленность, Научно-технический сборник. 1975, М 9, с. 38-51 (прототип).