Способ изготовления металлокерамических вводов и выводов энергии электровакуумных приборов

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

К, АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ . (61) Дополнительное к авт. саид-ву—

Ф (22) Зая алеко 27.03.81 (21) 3266419/18-21 с присоединением заявки №вЂ” (51)М. Кл.

Н 01 J 23/14

9пударететнный комитет ьССР ао делаи изебретений н открытий (23) Приоритет (5Ç) У,П,К 621.385..032 (088.8) Опубликовано 15.10.82. Бюллетень ¹ 38

Дата опубликования описания 15.10.82 (72) Авторы изобретения

Н. В. Платонова, В. К. Ерошев и С. М. Быстрицкая, т д .Ы!113 . :. < (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕТАЛЛОКЕРАЧИЧЕСКИХ BBOIl08

И ВЫВОДОВ ЭНЕРГИИ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВ

Изобретение относится к электронной тех= нике, в частности к производству электровакуумных приборов.

Известен способ изготовления металлокерамических вводов и выводов энергии, заключающийся в металлизации керамических деталей и пайки их твердыми припоями (1);

Однако керамика обладает весьма высокими значениями коэффициента вторичной эмиссии, при работе прибора с поверхности керамичес10 ких деталей могут возникать значительные потоки вторичных электронов, что приводит к изменению параметров приборов и нарушает стабильность их работы.

Известен также способ изготовления металло1э керамических вводов и выводов энергии электровакуумных приборов, включающий операции металлизации части поверхности керамических деталей, нанесения антидинатронного покрытия на поверхность керамики с после20 дующим его вжиганием и пайки..

При этом в качестве антидинатронного покрытия может быть использовано покрытие на основе нитрида бора (21.

В этом способе, однако, не удается обеспечить высокое качество и надежность соединения пайкой металлокерамических деталей, так как летучие продукты разложения антидинатронного покрытия на основе нитрида бора, возникающие в процессе его вжигания в керамику, активно взаимодействуют с предварительно нанесенным металлизационным слоем, вызывая образование дефектов в слое металлизации, Такие дефекты, проявляющиеся в виде темных пятен или остеклованных участ.<ов металлизированной поверхности, резко снижают надежность соединения металлокерамических деталей, что, с свою очередь, приводит к снижению ресурса электровакуумных приборов.

Цель изобретения — повышение надежности соединения металлокерамических деталей элек- тровакуумных приборов.

Поставленная цель Достигается тем, что согласно способу изготовления металлокерамических вводов и выводов энергии электровакуумных приборов, включающему операции

Способ изготовления металлокерамнческнх вводов и выводов энергии электровакуумных приборов, включающий операции металлиэации части поверхности керамических деталей, нанесения антидинатронного покрытия на поверхность керамики с последующим его вжиганием и пайки, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности соединения керамических деталей, после нанесения на керамчку антидинатроиного покрытия на металлизированную поверхность наносят защитное покрытие в виде суспензии порошка

З алунда в биндере сразмером: зерен 2-10% от толщины защитного покрытия, которое удаляют после вжигания антидинатронного покрытия.

Составитель Е, Пчелов

Техред М.Рейвес

Редактор А. Долинич

Корректор Е. Рошко

Заказ 7889/71

Тираж 761

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и -открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

3 96678 металлизации части поверхности керамическйх деталей, нанесения антидинатронного покрытия на поверхность керамики с последующим его вжиганием и пайки, после нанесения на керамику антидинатронного покрытия на металлизированную поверхность наносят защитное покрытие в циде суслензии порошка . алунда в биндере с размером зерен 2 — 10%

or толщины защитного покрытия, которое . удаляют после вжигания антидинатронного 10 покрытия.

Указанный размер зерен порошка алунда обусловлен тем, что при меньшем размере . зерен частицы алунда припекаются к металлокерамическому покрытию, нарушая его це- д лостность, а .нри большем размере не удается обеспечить достаточно плотную упаковку частиц алунда в защитном покрытии, при которой предотвращен доступ летучих продуктов разложения антидинатронного покрытия к метал о . лизированной поверхности керамики.

Защитное покрытие исключает взаимодей: ствие продуктов разложения антидинатронного покрытия, образующихся в процессе его вжи: гания с металлнзационным покрытием эа счет плотной. упаковки частиц. После вжигания защитное покрытие удаляют. Эта операция может быть осуществлена одновременно с удалением незакрепившегося слоя антндинатронного покрытия, например, смыванием проточной водой.

Предлагаемый сйособ изготовления металлокерамических соединений с антидинатронным ° покрытием позволяет улучшить качество и повысить надежность металлокерамических соединений.

Пример. На вакуумную поверхность

25 керамических деталей наносят антидинатронное покрытие на основе нитрида бора, после чего на металлизированную поверхность этих деталей наносят суспензию, состоящую из порошка алунда и биндера. В качестве биндера используют раствор нитроклетчатки в изоамилацетате. Соотношение алунд биндер = 1:1Размер зерен составляет около 5% от толщины защитного покрытия. Вжигание антидииа-4 тронного покрытия проводят при 960 — 1100 С.

После вжигання незакрепившийся слой анти6 4 динатронного покрытия смывают проточной водой одновременно с защитным покрытием.

Разбраковка показывает, что на металли. зированной поверхности всей партии деталей дефекты не обнаружены. Средняя термостойкость металлокерамических соединений составляет 30 циклов. При параллельном изготовлении керамических деталей без нанесения защитного покрытия наблюдаются дефекты на металлизационном слое. Из партии в 15 штук 5 штук забракованы из-за наличия остеклованных участков на поверхности металлизации. На оставшихся деталях наблюдается занижение термостойкости, которая составляет

23 цикла.

Предлагаемый способ улучшает качество и повышает надежность металлокерамических соединений, Выход годных вводов и выводов энергйи повышается в среднем на 15 — 20%.

Формула изобретения

Источники информации принятые во внимание при экспертизе

1. Ерошев В. К. Металлокерамические вакуумно-плотные конструкции, М., "Энергии", 1970, с. 10-12.

2. Бетыгии В. И., Метелкин И. И., Решетников А. М. Вакуумно-плотная керамика и ее спаи с металлами,М., "Энергии", 1973, с. 33 (пмтотип) .