Способ активного контроля толщины пленки

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскик

Социалистическик

Республик рц974!20 (6t) Дополнительное к авт. свид-ву М 777413 (22) Заявлено 23.05.79(21) 2773013/18-28 (31) M. Кл.

G 01 В 15/02 сприсоединениемзаявки ¹

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 15.1182.Ьюллетень ¹42

Дата опубликования описания 15.11.82 (53! УДК б 20.179. . 14 (088.8) (72) Авторы изобретения

B 11. Тучин, A И.Гуров и В.И.Захаров с., . с -- ), -,! . . /

Московский авиационный технологический институт.. им. К.3 ..Циолковского (71) Заявитель (54) СПОСОБ ЛКТИВНОГО КОНТРОЛЯ ТОЛс4ИНЬ) ПЛЕНКИ

30

Изобретение относится к средствам раэмерометрии по электромагнитным параметрам и может быть использовано дпя контроля толщины пленки в процес5 се ее нанесения на подложку. В качест ве последней может быть провод или другой протяженный материал.

Известен способ активного контроля толщины пленки, заключающийся в том, что элемент СВИДЕТЕЛЬ, на который наносят пленку, помещают в сквозной канал СВЧ-четырехполюсника, выполненного в виде отрезка волновода, и по изменению его коэффициента передачи судят о толщине нанесенной 15 пленки (1).

Однако скорость нанесения пленки при этом не контролируется.

Цель изобретения - контроль ско- рости нанесения пленки.

Эта цель достигается тем, что элемент СВИДЕТЕЛЬ протягивают через сквозной канал со -KopQcTbB< соответствующей фиксированному значению коэффициента передачи СВЧ-четырехполюсника.

На чертеже приведен эскиз устройства для реализации способа. устройство содержит отрезок 1 волновода прямоугольного сечения, включенный в схему (на чертеже не показана) для измерения коэффициента передачи СВЧ-четырехполюсника, который представляет этот отрезок волновода, в последнем выполнен сквозной канал 2 и прорезь 3, через канал 2 протягивают элемент СВИдЕ

ТЕЛЬ 4.

Способ реализуется следующим образом.

Отрезок 1 располагают так, чтобы наносимый материал 5 попадал в прорезь 3 и осаждался в виде пленки на элементе СВИДЕТЕЛЕ 4. При этом его протягивают через сквозной канал 2 со скоростью, соответствующей фиксированному значению коэффициента передачи СВЧ-четырехполюсника. По укаэанной скорости протягивания судят о скорости нанесения пленки в зоне осаждения материала 5.

Формула изобретения

Способ активного контроля толщины пленки по авт.св. М 777413, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью контроля скорости нанесения пленки, элемент СВИДЕТЕЛЬ протяги974120

Г

Составитель A.Äóõàíèí

Редактор T. Парфенова Техред M. Tenep

Корректор М. Демчик

Заказ 8675/54 Тираж 614

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, уд. Проектная, 4 вают через сквозной канал со скорос: тью, соответствующей фиксированному значению коэФфициента передачи СВЧчетырехполюсника.

Источники информации, принятие во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

У 777413, кл. G 01 В 15/02 1978,