Устройство для съема деталей
ОП ИСАНИЕ
ИЗОВЕИтЮНИЯ
- К АВТОРСКОМУ, СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советскик Социалистические Респубики (6l ) Дополнительное к авт. свнд-ву— (22) Заявлено 13,05.81 (2! ) 3285853/18 21 с присоединением заявки,%— (23) Приоритет— Опубликовано 23.12.82. Бюллетень № 47 Дата опубликования описания 23. 12.82 (5 I j M. Кл. Н 01 L 21/68 3Ъеударетееннмй комитет СССР (53) УДК621 382 (088.8) ео делам нзооретенкй н открытий Л. В. Кузнецов, Г. М. Григорьев, С. С. Стаховский и А. Я. Сорокин (72) Авторы .изобретения (7 I ) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СЪЕМА ДЕТАЛЕЙ Изобретение относится к технологическому оборудованию для съема и укладки полупроводниковых кристаллов и предназначено для производства полупроводниковых приборов. Известно устройство для подачи мелких деталей, в частности полупроводниковых кристаллов с эластичной липкой пленки, содержащее инструмент присоску, выталкиватель и прижимной элемент, выполненный в виде соединенной с приводом возвратно-поступательного движения рамки с отверстием по форме кристалла, ° снабженной фланцем, высота которого превышает толщину кристалла на 0,3 0,5 мм (13. Недостатком устройства является его r сложность за счет введения дополнительной рамки с приводом возвратно-поступательного движения, а также возможность о повреждения соседних периферийных кристаллов при захвате основного кристалла. Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому усявляется уст2 ройство для съема деталей, преимуц ественно полупроводниковых кристаллов с эластичной липкой пленки, содержащее присоску, опорный столик для эластичной липкой пленки, вакуумную камеру, соединенную с каналами, выполненным в опорном столике, и выталкиватель. В известном устройстве механизм перемещения вытапкивателя механический(2). Недостатком этого устройства являет ся то, что устройство ненадежно в работе, а именно, в отсутствии зависимости меж-. ду подъемом выталкивателя и прижимом эластичной диафрагмы к поверхности опорного столика. Отсутствие такой зависимости приводит к тому, что подъем выталкивателя может производиться, когда эластичная диафрагма не прижата вакуумом к опорному столику. А это, в свою очередь, приводит к смешению и отрыву от эластичного носителя соседних кристаллов и следовательно, к увеличению брака, 983837 Бель изобретения — повышение надежности работы. Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для съема деталей, преимущественно полупроводниковых кристал- з лов с эластичной липкой пленки, содержащем присоску, опорный столик для размещения эластичной липкой пленки, вакуумную камеру, соединенную с каналами, выполненными в опорном столике, и выталкиватель, выталкиватель закреплен на дне вакуумной камеры. Причем вакуумная камера выполнена в виде сильфона. На фиг. 1 изображено предлагаемое 15 устройство, общий вид; на фиг, 2 — то же, в рабочем положении. Устройство для объема мелких деталей содержит присоску 1, опорный столик 2 для размещения эластичной липкой плен-20 ки 3, на которой расположены кристаллы 4 и общую вакуумную камеру 5. Опорный столик 2 снабжен каналами 6, от которого отходят сквозные отверстия 7. Каналы 6 сообщаются с общей вакуумной камерой 25 5, через полость которой проходит выталкиватель 8. Он закреплен одним концом на днище вакуумной камеры 5 и снабжен пружиной 9. Вакуумная камера 5 служит одновременно для присасывания диафрагмы ц и перемещения выталкивателя 8. Устройство работает следующим образом. Разделенная на кристаллы 4 полупроводниковая пластина закрепляется на элас35 тичной липкой пленке 3. При объеме кристаллов пленки 3 перемещается относительно опорного столика 2, снабженного вакуумными отверстиями 7. После совмещения оси кристалла 4 с осью выталкивате«40 ля 8 на кристалл опускается инструментприсоска 1. При этом торец инструментаприсоски не доходит до поверхности кристалла. В этот момент в полость камеры 5 и в отверстия 7 опорного столика 2 по- 45 дается вакуум. При наличии надежного прижима диафрагмы с кристаллами к not верхности опорного столика 2 камера 5 сжимается и поднимает выталкиватель 8. Если же пленка 3 не прижата к опорному столику, то при подаче вакуума воздух будет через отверстия 7 отсасываться из атмосферы, а камера 5 сжиматься не будет и не будет подниматься выталкиватель 8, т. е. выталкиватель 8 и сжатие камеры 5 возможно только при хорошо прижатой пленке к опорному столику. Кристалл, находящийся над выталкивателем поднимается и захватывается присоской. Затем вакуум отключается, камера 5 и выталкиватель 8 возвращается в первоначальное положение под действием пружины 9. После этого производится ориентация следующего кристалла. Бикл пов торяе тся. Использование предлагаемого устройс1 ва повышает надежность работы и исключает брак. Выход годных кристаллов на. операции съема увеличился с 99,5% до 99, 9%. формула изобретения 1. Устройство для съема деталей, пре имущественно полупроводниковых кристаллов с эластичной липкой пленки, содержащее присоску, опорный столик для размещения эластичной липкой пленки, вакуумную камеру, соединенную с каналами,выполненными в опорном столике, и выталкиватель, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности работы, выталкиватель закреплен на дне вакуумной камеры. 2. Устройство по и. 1, о т л и ч a— ю ш е е с я тем, что вакуумная камера выполнена в виде сильфона. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № 562884, кл. Н 01 «21/68, 20.04.75. 2, Патент Швейцарии № 548112, кл. Н 01 l. 7/66, опублик. 11.04.74. 983837 Составитель 3. Яшина Редактор А, Шандор Техред М.Надь Корректор H. Король Заказ 9939/65 Тираж 761 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4
