Способ травления монокристаллов метаниобата лития

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских. Соцк алистическик

Республик . (u)990892 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 17.09.81 (2I)3/38572/23-26 (ф } М К 3

С 30 В 33/00

С 30 В 29/30 с йрисоединением заявки HP(23) Приоритет—

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (%3} УДК 621. 315. 592 (088. 8) Опубликовано 2М1.83. Бюллетень Йо 3

Дата опубликования описания 23.01. 83

Н.Ф. Евланова (72) Автор . изобретения

° 1

Московский ордена Ленина, ордена Октябрьской, Революции и ордена Трудового Красного Знамени г сударственный университет им. М.В. Ломоносова. (71) Заявитель (54) СПОСОБ ТРАВЛЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ hKTAHHOBATA ЛИТИЯ

Изобретение относится к области . выявления внутренней доменной и дис-, локационной структуры кристаллов метаниобата лития .и может быть использовано при изготовлении материалов для квантовой электроники.

Известен способ травления кристаллов ниобата лития в смеси 2 ч. 30%-ной перекиси водорода и 1 ч. гидроокиси натрия при 50оC fl).

Недостатком этого способа является нечеткая. картина травления.

Известен также способ травления ниобата лития в расплаве гидроокиси калия при 400 С (1).

К недостаткам этого способа также можно отнести не очень четкую картину травления. Кроме того, будучи высокотемпературным, этот способ не может применяться к крупным (около

5 мл) кристаллам из-за возникновения раэрушакзцих термических напряжений.

Наиболее близким к изобретению является способ травления кристаллов метаниобата лития в смеси 1 об.ч. плавиковой кислоты и 2.об. ч. азотной кислоты при температуре кипения. ,смеси. Этот способ. дает четкую картину травления (1).

Однако вследствие достаточно высокой температуры процесса этот способ также .неприменим к крупным кристаллам. Осуществление -известного способа требует использования тиглей иэ платины или иридия..

Целью изобретения является травление крупных кристаллов и исключение возникновения термических напряжений.

Поставленная цель достигается способом травления монокристаллов метаниобата лития в смеси плавиковой и азотной кислот, при этом процесс ве" дут в смеси, содержащей 1 об.ч. пла;

IS виковой и 3,2-4 об.ч. азотной кислот при комнатной температуре в течение

18-20 ч.

Травление в течение времени менее

18 ч дает менее четкую картину травления, а при травлении более 20 ч четкость картины травления также падает из-за появления вуалирующего слоя.

Пример 1. Образец„с полированными поверхностями размером

5х5х2 мм погружают в травитель состава 1 об.ч. HF и 3,2 об.ч. HN0 при комнатной температуре на 18 ч.

По окончании процесса образец.про990892

Формула изобретения

- Составитель A Коломийцев .

Редактор H. Рогулич ТехредЙ.Гергель Корректор М. Шароши Ю

Заказ 67/41 Тираж 368 Подпи сиое

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4 бывают дистиллированной водой и осушают Фильтровальной бумагой.

В результате травления достаточно четко выявляется доменная структура образца.

Пример 2. Образец с полированными поверхностями размером 5х5х х2 мм погружают в травитель состава

1 об.ч. HF н 3,5 об. ч. HNO при комнатной температуре на 20 ч. По окончании процесса образец промывают дистиллированной водой и осушают

Фнльтровальной бумагой. В результате травления четко выявляется домен-, ная структура образца.

Пример 3. Образец с полированными поверхностями погружают в травитель состава 1 об.ч. HF u

4,0 об.ч. HN+ при комнатной температуре на 19 ч. По окончании процесса образец промывают дистиллированной водой и осушают фильтровальной бумагой. В результате травления доменная структура образца выявляется нечетко, особенно на поверхностях Х и У-среза.

Преимущества предлагаемого способа химического травления монокристал лов метаниобата лития заключается в том, что возникает возможность травления больших монокристаллов, раз ме- ром более 2х5х5 мм (кристаллы не растрескиваются при травлении), а также отпадает необходимость употребления дорогостоящих неактивных температуроустойчивых материалов, таких как платина, иридий. Травление можно: проводить в сосудах из пластмассы.

Способ травления монокристаллов метаниобата лития в смеси плавиковой и азотной кислот, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью обеспечения травления крупных кристаллов и исключения возникновения термических напряжений, процесс ведут в смеси, содержащей 1 об. ч. плавиковой и 3,24 о6.ч. азотной кислоты, при комнатной температуре в течение 18-20 ч. !

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Nassau К. а1 ай1.. Ferroelectric Lithium hiobate.1. Growth

domain structure, dislocations and

etching — 3 Phys. Chem ° Solids

1966, 27, 9 6/7(прототип) °