Способ изготовления миры, заключающийся в том, что на пластину из материала, имеющего свойство анизотропного травления с окисным покрытием, наносят слой фоторезиста, экспонируют фотошаблон с изображением отверстий совмещения и протравливают их в фоторезисте, отличающийся тем, что, с целью получения высокоразрешающих мир, на одну сторону пластины наносят и сушат защитный лак, протравливают сквозные отверстия совмещения в пластине, удаляют лак, на другую сторону пластины наносят фоторезист и проводят процесс фотолитографии с получением изображения площади миры, наносят защитный лак на первую сторону пластины, протравливают площадь миры до остаточной толщины пластины 1,5 - 5 мкм, удаляют лак, затем наносят фоторезист на одну из сторон, на другую - защитный лак, проводят процесс фотолитографии с получением изображения структуры миры, в соответствии с которым протравливают сквозные окна в пластине.
Похожие патенты:
Изобретение относится к композиции для фиксирования галогенсеребряных фотографическиих материалов, конкретно к композициям для фиксирования бромосеребряных материалов, чувствительных к ультрафиолетовой (УФ) области спектра, и может быть использовано при химико-фотографической обработке фотоматериалов в химико-фотографической промышленности, прикладной и научной фотографии
Изобретение относится к фотографии, в частности, для обработки черно-белых галогенсеребряных фотографических материалов различного назначения (негативных и позитивных фотопленок, фотобумаг, фотопластинок) и может быть использовано в процессе химико-фотографической обработки
Изобретение относится к испытаниям светочувствительных материалов
Изобретение относится к области испытания светочувствительных материалов, в частности к средствам резольвометрии с использованием когерентных источников света, и обеспечивает повышение производительности получения резольвограмм, возможность автоматизации и расширение перечня тестируемых светочувствительных материалов
Изобретение относится к фотографической химии, а именно к способам химико-фотографической обработки рентгенографических фотоматериалов, включающим экспонирование, проявление в проявителе состава, г/л: смесь гидрохинона и метилфенидона 3-15, сохраняющее вещество 20-80, ускоряющее вещество 20-75, смесь бромида калия и бензотриазола 3,1-6,0, вода до 1 л, промывку и фиксирование в растворе состава, г/л: растворитель галогенида серебра 80-250, кислотный реагент 2-80, дубящее вещество 5-50, вода до 1 л, промывку и сушку
Изобретение относится к способу химико-фоотографической обработки галогенсеребряных фотографических материалов, которые могут быть использованы для регистрации следов однозарядных частиц релятивисткой энергии при исследовании взаимодействия ядерно-активных частиц (адронов) с нуклонами
Изобретение относится к способу усиления серебряного изображения на радиографических материалах посредством его отбеливания в растворе, содержащем хлорид или бромид натрия или калия, гексацианоферрат (III) калия, триоксокарбонат натрия безводный, гидроксид калия или натрия и воду, с последующей обработкой в восстанавливающем растворе, содержащем хлорид олова (II) дигидрат, N, N,N ,N - этилендиаминотетраацетат натрия, гидроксид натрия или калия, 1,2 - этилендиамин (50% водный раствор), тиоцианат калия и воду
Изобретение относится к области испытания светочувствительных материалов, а именно к методам и средствам резольвометрии с использованием когерентных источников света, и может быть использовано в автоматизированных системах тестирования фоторегистрирующих материалов и сред
