Для полупроводниковых пластин (B65G49/07)
B65 Транспортировка, упаковка и хранение грузов или материалов, в том числе тонких и нитевидных(54153)
B65G Устройства для хранения или транспортировки, например конвейеры для загрузки или разгрузки опрокидыванием, конвейерные системы для магазинов, цехов и т.п.; пневматические трубчатые конвейеры (устройства для транспортировки или хранения, используемые для специального манипулирования или обработки изделий или материалов, см. соответствующий подкласс, например при металлообработке B21D43,B23Q7, B23Q41/02; автомобильный, железнодорожный, водный или воздушный транспорт B60- B64;системы транспортировки, специально предназначенные для сборочных линий самоходных или прицепных транспортных средств B62D65/18; для упаковки B65B; манипулирование тонкими или нитевидными материалами B65H; подъемные устройства, например механические погрузчики для
(29950)
B65G49 Системы конвейеров специального назначения, не отнесенные к другим группам (для перемещения листового материала B65H)
(419)
B65G49/07 Для полупроводниковых пластин (устройства для крепления или установки полупроводниковых пластин во время изготовления H01L21/68)(1)
Изобретение относится к устройству для разъединения и транспортировки подложек. .
