Последовательное экспонирование с различных участков одного и того же негатива одной и той же поверхности (G03F7/22)
G03F7 Фотомеханическое, например фотолитографическое, изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например печатные поверхности; материалы для этих целей, например содержащие фоторезисты; устройства, специально приспособленные для этих целей (использующие фоторезистные структуры для специальных процессов см. соответствующие подклассы, например B44C,H01L, а также рубрики, например H01L21,H05K)
(566) G03F7/22 Последовательное экспонирование с различных участков одного и того же негатива одной и той же поверхности ( G03F7/207 имеет преимущество)(4) 
Service Desk для клининга