Фотомеханическое изготовление рельефных поверхностей или поверхностей с рисунком, например для печати, для изготовления полупроводниковых приборов и материалы для этих целей и оригиналы для этих целей и устройства, специально приспособленные для этих целей (G03F)
G Физика(403185)
G03 Фотография; кинематография; аналогичное оборудование, использующее волны иные, чем оптические; электрография; голография (воспроизведение изображений или образов путем развертки и преобразования в электрический сигнал H04N)
(10965)
G03F Фотомеханическое изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например для печати, для изготовления полупроводниковых приборов; материалы для этих целей; оригиналы для этих целей; устройства, специально приспособленные для этих целей (фотонаборные устройства B41B; светочувствительные материалы или процессы для фотографических целей G03C; электрография, чувствительные слои или процессы G03G)(960)
G03F3 - Цветоделение изображения; исправление тональности негативов или позитивов (устройства для фотопечатания G03B)(120)
G03F5 - Растровые процессы; растры(171)
G03F7 - Фотомеханическое, например фотолитографическое, изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например печатные поверхности; материалы для этих целей, например содержащие фоторезисты; устройства, специально приспособленные для этих целей (использующие фоторезистные структуры для специальных процессов см. соответствующие подклассы, например B44C,H01L, а также рубрики, например H01L21,H05K)(566)
G03F9 - Фиксация или размещение оригиналов, масок, растров, фотографических листов или рельефных или текстурированных поверхностей, например автоматически ( G03F7/22 имеет преимущество, подготовка фотографических масок G03F1; внутри фотопечатающих устройств для изготовления копий G03B27)(30)
Изобретение относится к фоточувствительным композициям и может быть использовано для изготовления термостойких механически прочных трехмерных объектов методом DLP 3D-печати. Фоточувствительные композиции состоят из термостойкого полимера - N-аллил-функционализированного поли-2,2’-(п-оксидифенилен)-5,5’-дибензимидазола со степенью функционализации 50-100% и молекулярной массой 50-120 кДа; тиольного компонента, в качестве которого выступают тетракис(3-меркаптопропионат)пентаэритрит, бис-меркаптоацетат этиленгликоля, 1,3-димеркаптобензол или 1,4-димеркаптобензол; фотоинициатора - бис(2,4,6-триметилбензоил)-фенилфосфиноксида; гидрохинона и растворителя - N-метил-2-пирролидона.
Устройство для электронно-лучевой литографии // 2791181
Изобретение относится к оборудованию для создания устройств микроэлектроники с помощью технологии электронно-лучевой литографии. Устройство для электронно-лучевой литографии (фиг.1) содержит: электронно-оптическую систему 1 с блоком контроля интенсивности электронного луча 2; координатный столик 3 с электроприводом 4 и блоком контроля текущего положения подвижной платформы 5; управляющий компьютер 6; генератор изображений 7; драйвер координатного столика 8; драйвер генератора изображений 9, при этом входы управления параметрами электронного луча электронно-оптической системы 1 подключены к соответствующим выходам генератора изображений 7, вход которого соединён с выходом блока контроля интенсивности электронного луча 2, а порт обмена данными связан по оптоволоконной линии связи через драйвер генератора изображений 9 с управляющим компьютером 6, который другим своим портом обмена данными через драйвер координатного столика 8 соединён с электроприводом координатного столика 4 и блоком контроля текущего положения подвижной платформы 5.
Рентгеновская маска // 2785012
Использование: для создания микроструктур. Сущность изобретения заключается в том, что рентгеновская маска состоит из подложки, утонённой мембраны, топологического рисунка, нанесенного на утоненную мембрану, и знаков совмещения, при этом подложка, утонённая мембрана и знаки совмещения выполнены из одного материала лейкосапфира и представляют собой монолитную конструкцию, на мембрану нанесен тонкий металлический проводящий слой, на тыльную поверхность мембраны нанесен слой, преобразующий поглощенное тепло рентгеновского излучения в инфракрасное излучение.
Антиотражающее покрытие // 2784314
Изобретение относится к получению антиотражающих покрытий полупроводниковой подложки в процессах формирования топологических элементов микроэлектронных устройств с использованием фотолитографии. Антиотражающее покрытие для фотолитографии включает пленкообразующий полимер, сшивающий агент, термический генератор кислоты и органический растворитель.
Изобретение относится к устройствам лазерного наноструктурирования поверхности с использованием массива упорядоченных диэлектрических мезомасштабных фокусирующих устройств, формирующих максимумы распределения интенсивности лазерного поля, где происходит формирование структур с масштабами, меньшими длины волны исходного используемого излучения, и может быть использовано для создания материалов с новыми свойствами и представляет собой устройство обработки поверхности твердого материала с получением на этой поверхности структур с чешуйками субмикронной толщины и микронными размерами и/или с субмикронными трещинами и щелями между упомянутыми чешуйками и/или участками поверхности с характерными субмикронными перепадами по высоте рельефа.
Изобретение относится к материалам для генетического секвенирования. Предложена смоляная композиция для получения проточной ячейки для генетического секвенирования, включающая отверждаемую свободнорадикальную смоляную матрицу, включающую замещенный акрилокси- или метакрилокси-группами полисилоксан или акрил-замещенный полиэдрический олигомерный силсесквиоксан, свободнорадикальный фотоинициатор, матрицу из эпоксидной смолы и генератор фотокислоты.
Изобретение относится к области оптического приборостроения и касается способа изготовления волоконно-оптического датчика температуры на базе кремниевого оптического резонатора Фабри – Перо. Способ включает создание маски на верхней стороне полированной кремниевой подложки, закрепляемой на удерживающем основании нижней стороной, травление кремниевой подложки на всю глубину по маске с получением кремниевых оптических резонаторов Фабри - Перо нужной формы, закрепленных на удерживающем основании, отделение каждого оптического резонатора Фабри - Перо от удерживающего основания и его соединение с оптическим волокном.
Изобретение относится к области создания материалов для биологических исследований и касается смоляной композиции. Смоляная композиция включает матрицу из эпоксидной смолы, свободнорадикальный фотоинициатор, выбранный из группы, состоящей из 2-этил-9,10-диметоксиантрацена, 2,2-диметокси-2-фенилацетофенона, 2-этокси-2-фенилацетофенона и фосфиноксида, и генератор фотокислоты.
Изобретение относится к области средств для детектирования ядерных излучений - твердотельных трековых детекторов (ТТД), конкретно представляет собой способ получения нитроцеллюлозного ТТД альфа-частиц, который широко используется в РФ и за рубежом для мониторинга природной радиоактивности, в частности в радоновых измерениях.
Изобретение относится к способам очистки подложки. Способ очистки подложки включает сканирование лазерным излучением поверхности с остатками, нагревая указанные поверхность и остатки.
Изобретение относится к литографическим шаблонам. Активный литографический шаблон характеризуется тем, что он содержит элементы в виде островков и окон, причем элементы в виде островков выполнены с возможностью совершать микромеханическое движение на расстояния от 1 нм до 500 мкм на этапе формирования шаблона и/или на этапе нанесения слоя/слоев целевого материала через данный шаблон, причем указанное движение обусловлено релаксацией механических напряжений в островках шаблона, механические напряжения, в свою очередь, вызваны протеканием физической и/или химической реакции в веществе островков шаблона, инициируемой внешним физическим и/или химическим воздействием.
Изобретение относится к рентгенолитографии. Способ изготовления самонесущего рентгеношаблона включает процессы формирования литографическими способами на одной из поверхностей металлической фольги защитной маски из металла, имеющего малую по сравнению с металлом фольги скорость травления в соответствующем составе химически активной плазмы, травящей металл фольги, процессы предварительного принудительного распрямления фольги и ее фиксации посредством клеящего вещества на металлической шайбе, устанавливаемой на рабочем столике установки плазмохимического травления, процесс сквозного травления фольги через защитную маску в установке плазмохимического травления, при этом согласно изобретению в качестве клеящего вещества фиксирующего фольгу на металлической шайбе используют жидкий металл галлий с последующим его отвердеванием при охлаждении сборки: фольга, металл галлий, металлическая шайба - до температуры ниже температуры плавления галлия (Тпл.=29,78°С).
Изобретение относится к области нанотехнологий, а именно к способам формирования наноматериалов в виде нанолитографических рисунков с упорядоченной структурой со сверхразвитой поверхностью, и может быть использовано для получения устройств нано- и микроэлектроники нового поколения.
Устройство для нанесения нагруженной ультрафиолетовым излучением жидкой среды на подложку // 2756470
Раскрыто устройство для нанесения нагруженной ультрафиолетовым излучением жидкой среды на подложку. Устройство (1) содержит корпус (114, 14) с вытянутой камерой (122, 22), по меньшей мере, одним впускным отверстием, которое расширяется в направлении камеры (122, 22), и с, по меньшей мере, одним расположенным против впускного отверстия, имеющим форму шлица выпускным отверстием (21), которое простирается на протяжении длины камеры (122, 22).
Изобретение относится к головке для обработки, системе для обработки и способу обработки локальной области поверхности подложки с использованием плазмы. Головка для обработки области поверхности подложки содержит корпус, имеющий основную поверхность, выполненную с возможностью размещения рядом с подлежащей обработке областью поверхности подложки и обращенную к этой области; вытяжное отверстие, выполненное в основной поверхности корпуса, способное соединяться с вытяжным устройством посредством канала для вытягивания газа, образованного по меньшей мере в части корпуса; радиационный нагреватель, размещенный в корпусе, предназначенный для испускания теплового излучения через отверстие для выхода излучения, выполненное в основной поверхности; источник плазмы, размещенный в корпусе, для выпуска струи плазмы через отверстие для выхода плазмы, выполненное в основной поверхности; выпускное отверстие в основной поверхности корпуса, способное соединяться с источником газа посредством газового канала, образованного по меньшей мере в части корпуса.
Изобретение относится к области радиоэлектроники, в частности к радиочастотной (РЧ) системе, включающей в себя планарные РЧ устройства, связанные друг с другом посредством негальванического соединения. Техническим результатом является снижение сложности и уменьшение размеров, а также повышение надежности и технологичности соединения между элементами РЧ системы.
Устройство для выдавливания рельефа // 2753172
Использование: для выдавливания рельефа. Сущность изобретения заключается в том, что устройство для выдавливания рельефа включает кремниевый эталон, который содержит совокупность элементов нанорельефа.
Подложка с наноотпечатком // 2748273
Подложки с наноотпечатком часто используются при изготовлении миниатюризованных устройств для применения в электрических, оптических и биохимических приложениях. Технологии формирования таких отпечатков, например нанопечатная литография, могут оставлять на поверхности подложек остатки материала, что оказывает влияние на технологию соединения и снижает качество готовых устройств.
Изобретение относится к области органических светочувствительных регистрирующих сред и касается жидкой композиции для фотополимеризационноспособной пленки для оптической записи, которая формирует изображение за счет модуляции показателя преломления при экспозиции активирующим облучением с длиной волны в диапазоне 500-550 нм.
Изобретение относится к держателю для размещения и защиты стороны фотошаблона или фотошаблона с мембраной относительно очищающей среды, к способу очистки стороны фотошаблона или фотошаблона с мембраной, а также к устройству для открывания и закрывания держателя ранее указанного типа.
Изобретение относится к прибору и способу для очистки части площади подложки, в частности фотошаблона. Прибор содержит чистящую головку, имеющую нижнюю поверхность, выполненную с возможностью размещения над подлежащим очистке участком подложки и в непосредственной близости от него, причем нижняя поверхность имеет образованное в ней центральное отверстие, первую кольцеобразную канавку, окружающую центральное отверстие, и по меньшей мере вторую канавку, расположенную между первой кольцеобразной канавкой и центральным отверстием, причем первая кольцеобразная канавка соединена по текучей среде с первым отверстием, обеспечивающим соединение с внешним источником подачи, а вторая кольцеобразная канавка соединена по текучей среде со вторым отверстием, обеспечивающим соединение с внешним источником подачи, механизм подачи ленты, расположенный с возможностью подачи абразивной ленты к центральному отверстию в нижней поверхности чистящей головки, так что часть абразивной ленты выступает из центрального отверстия, и трубопровод для жидкой среды, имеющий выход, предназначенный для подачи жидкости к тыльной стороне абразивной ленты в центральном отверстии или вблизи него.
Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к технологии формирования GaN транзисторов различного назначения (мощных и СВЧ транзисторов) и, в частности, к созданию термостабильных меток совмещения, подходящих для электронной литографии и фотолитографии.
Система позиционирования // 2745686
Система позиционирования относится к декорированию и может быть использована для точного размещения нескольких разновеликих декоративных накладных элементов в местах, заданных художественным замыслом автора, монтируемых начисто с точным расположением, на любой поверхности, при декорировании торцов зданий и открытых брандмауэров, в том числе, на высоте в труднодоступных местах.
Изобретение относится к композиции краски для впечатывания, пригодной для впечатывания в структурированную поверхность эластомерного штампа. Композиция краски для впечатывания содержит наночастицы оксида переходного металла.
Изобретение относится к штампу для способа импринт-литографии, к способам изготовления такого штампа и к способам импринтинга, использующим штамп, или к использованию такого штампа в способе импринтинга.
Изобретение относится к области микро- и нанотехнологии, в частности к применению полисахарида хитозана и его соединений в качестве резистов для электронно-лучевой литографии и фотолитографии для изготовления микро- и нано- электронных и оптических компонентов.
Способ создания трехмерного предмета // 2726524
Изобретение относится к способу создания трехмерного предмета. В стереолитографическом процессе во временной последовательности отверждается множество слоев (30), так что их совокупность образует трехмерный предмет.
Изобретение относится к способу изготовления рентгеношаблона. Способ изготовления рентгеношаблона включает в себя процессы формирования топологического маскирующего рентгенопоглощающего слоя путем перфорации металлической фольги и ее фиксации в опорном кольце.
Настоящее изобретение относится к способу создания трехмерного объекта, пригодной для печати композиции и к стереолитографическому устройству. Указанный способ включает стадии, на которых а) обеспечивают пригодную для печати композицию; b) селективно отверждают пригодную для печати композицию с образованием изделия, представляющего форму трехмерного объекта; с) удаляют значительное количество временного растворителя из изделия; и d) необязательно отверждают незаполимеризованный полимеризуемый компонент, оставшийся до или после стадии с).
Светоизлучающее устройство // 2713080
Изобретение относится к области оптико-электронного приборостроения и касается светоизлучающего устройства. Светоизлучающее устройство содержит светоизлучающую структуру, слой обработки и оптическую структуру.
Лазерный рентгеновский излучатель // 2707174
Лазерный рентгеновский излучатель относится к радиационной физике, а именно к области лазерных рентгеновских излучателей, и может быть использован в научных исследованиях в физике, химии, биологии, применен в различных областях промышленности и медицины.
Изобретение относится к области микро- и нанотехнологий и может быть использовано для изготовления упорядоченного массива субмикронных отверстий в тонких металлических пленках, предназначенных для создания устройств микроэлектроники, фотоники, наноплазмоники, а также квантовых вычислительных устройств.
Вакуумный держатель для подложек // 2702995
Изобретение относится к технологической оснастке. Вакуумный держатель для подложек выполнен в виде стола, на поверхности которого выполнены сквозные отверстия, соединенные с камерой низкого давления.
Способ относится к оптическому приборостроению и может быть использован для создания дифракционных оптических элементов видимого и ультрафиолетового диапазона - линз Френеля, корректоров и др. Способ изготовления фазовых дифракционных решеток, микроструктур и контактных масок включает в себя магнетронное осаждение пленки молибдена на поверхность диэлектрической подложки, формирование топологического рисунка оптического элемента с последующей выдержкой в муфельной печи при температуре 500°С в течение 0,5-3,5 мин.
Изобретение относится к микросистемной технике и технологии, а именно к изготовлению высокоаспектных микроструктур, и может быть использовано для изготовления структурированных сцинтилляционных экранов.
Способ переноса, а также устройство и компьютерный программный продукт для его осуществления // 2701780
Настоящее изобретение относится к способу механического контактирования гибкого штампа с подложкой при их точном совмещении, а также к способу, в котором используют указанный способ контактирования для впечатывания шаблона на гибком штампе в слой на подложке, в который выполняют впечатывание.
Изобретение относится к отверждаемым полимерным композициям, включающим фотополимеризующиеся компоненты, отверждаемые под действием излучения ультрафиолетового диапазона с образованием отвержденных продуктов.
Изобретение относится к способу обжига покрытия подложки печатной формы. Способ обжига покрытия подложки печатной формы, выполненной из алюминия или алюминиевого сплава, включает нагрев до температуры отжига подложки, выдержку при этой температуре в течение заданного времени и охлаждение, при этом по меньшей мере, в диапазоне температур от 150°C до температуры обжига разница температур металла печатной формы, измеренная вдоль линии в продольном направлении печатной формы во время нагрева и во время охлаждения, составляет максимум 40°C на длине 40 см, а разница температур металла печатной формы, измеренная вдоль линии перпендикулярной продольному направлению, составляет менее 10°C во время нагрева и во время охлаждения.
Изобретение относится к способу изготовления печатающего штампа для формирования рисунка на профилированной поверхности, печатающему штампу как таковому и использованию печатающего штампа для печати. Раскрыт способ изготовления штампа с рисунком (100) для формирования рисунка на профилированной поверхности (10).
Изобретение относится к фоторезистивным композициям и может быть использовано в электроннолучевой литографии, в рентгеновской литографии при производстве интегральных схем с субмикронными размерами элементов.
Изобретение относится к способу стереолитографического производства. Жидкая фотоотверждаемая смоляная композиция для стереолитографии, содержащая (i) по меньшей мере одно радикально полимеризуемое соединение (А), представленное следующей общей формулой (I): R4O-CO-NH-R2-NH-CO-O-R1-O-CO-NH-R3-NH-CO-OR4 (I), где R1 представляет собой остаток линейного или разветвленного политетраметиленгликоля со средней молекулярной массой от 200 до 3000 г/моль; R2 представляет собой остаток диизоцианатного соединения; R3 представляет собой остаток диизоцианатного соединения, такой же как или отличный от R2; a R4 выбран из AcrO-CH2-CH2-; (AcrO-CH2)2CH-; (AcrO-CH2)3C-CH2-; AcrO-CH2-CHCH3-; AcrO-СН2-СНС2Н5- и (AcrO-СН2)2С(С2Н5)СН2-, предпочтительно из AcrO-СН2-СН2 и более предпочтительно AcrO-СН2-СН2-; где Acr представляет собой CH2=C(R)-CO- и R представляет собой атом водорода или метильную группу; (ii) по меньшей мере одно радикально полимеризуемое органическое соединение (В), отличное от соединения (А); и (iii) фоточувствительный инициатор радикальной полимеризации (С), причем содержание радикально полимеризуемого соединения (А) варьируется от 5 до 70 мас.% от общего количества соединений (А) и (В).
Изобретение относится к жидкой фотополимеризующейся композиции (ФПК) для лазерной стереолитографии. Композиция содержит 96-98 вес.% смеси ди(мет)-акриловых олигомеров и (мет)акрилового мономера и 2-4 вес.% фотоинициатора 2,2′-диметокси-2-фенилацетофенона.
Устройство относится к средствам формирования однократных высоковольтных микросекундных импульсов на низкоомных нагрузках и может быть использовано для запуска управляемых вакуумных разрядников, входящих в состав батареи магнитного поля (БМП) мощных лилейных индукционных ускорителей.
Фотополимерная композиция для изготовления термостойких объектов методом лазерной стереолитографии // 2684387
Изобретение относится к фотополимеризующимся композициям для использования в технологиях быстрого получения термостойких изделий методом лазерной стереолитографии. Описывается фотополимерная композиция, включающая акриламидные компоненты, фотоинициатор - 2-бензил-2-диметиламино-1-(4-морфолинофенил)-бутанон-1 и поли-м-фениленизофталамид в качестве термостойкой матрицы.
Настоящее изобретение относится к светочувствительной смоляной композиции для оригинальной формы для высокой печати, а также к полученной из нее оригинальной формы для высокой печати. Светочувствительная смоляная композиция для оригинальной формы для высокой печати содержит в качестве основных компонентов растворимый в воде или диспергируемый в воде полиамид, фотополимеризуемое ненасыщенное соединение и инициатор фотополимеризации, содержание в полиамиде алициклических структурных звеньев, полученных из диамина, и алициклических структурных звеньев, полученных из дикарбоновой кислоты, составляет от 30 до 90 мол.%, при этом среди алициклических структурных звеньев полиамида содержание алициклических структурных звеньев, полученных из дикарбоновой кислоты, составляет 20 мол.% или более, а также оригинальная форма для высокой печати с использованием указанной композиции.
Изобретение относится к способам обработки подложек. Способы включают этап обеспечения протекания водосодержащей жидкой среды через канал для потока и по меньшей мере одну выпускную щель на подложку, подлежащую обработке, а также облучение водосодержащей жидкой среды ультрафиолетовым излучением с заданной длиной волны по меньшей мере на участке канала для потока, непосредственно прилегающем к по меньшей мере одной выпускной щели, и после прохождения водосодержащей жидкой среды через выпускное отверстие в направлении подложки и, таким образом, перед нанесением и во время нанесения водосодержащей жидкой среды на поверхность подложки, подлежащей обработке.
Устройство для нанесения жидкой среды, подвергаемой ультрафиолетовому облучению, на подложку // 2680059
Изобретение относится к устройству для нанесения жидкой среды, подвергаемой ультрафиолетовому облучению, на подложку. Устройство содержит: кожух, имеющий продолговатую камеру, по меньшей мере одно впускное отверстие, которое открыто в камеру, и по меньшей мере одно щелевое выпускное отверстие, противоположное впускному отверстию, которое проходит по длине камеры.
Изобретение относится к способу изготовления элемента для печати рельефных изображений из светоотверждающейся заготовки печатающего элемента. Техническим результатом является улучшение отверждения поверхности элементов для цифровой печати рельефных изображений.
Изобретение относится к пленкообразующим для фоторезистов на основе алкилфенолоформальдегидных смол. Пленкообразующую составляющую для фоторезистов на основе алкилфенолоформальдегидной смолы получают конденсацией смеси алкилфенола и формальдегида в присутствии бензолсульфокислоты в качестве кислотного катализатора в среде уксусной кислоты в качестве органического растворителя при нагревании с последующим выделением смолы на охлажденную до 5-10°С дистиллированную воду, в качестве мономеров используются коксохимические фракции дикрезол и трикрезол, мольное соотношение мономер/формальдегид составляет 1/(0,57-1).
Изобретение относится к технологии получения оптических полимерных материалов и может быть использовано для формирования оптических элементов методом трехмерной (3D) печати. Люминесцентная фотополимерная композиция состоит из эпоксиакрилатной композиции (84,0-97,0 масс.
